Kondiĉoj por kava katoda jontegaĵo

La jenaj kondiĉoj estas necesaj por ekbruligi la kavan katodan arklampon:

1. Kava katoda pafilo farita el tantala tubo estas instalita sur la muro de la tegaĵa ĉambro kaj povas esti uzata por elsendi varman elektronan fluon. La interna diametro de la plata tubo estas φ 6 ~ φ 15 mm, kun mura dikeco de 0,8-2 mm.

1. La elektroprovizo konsistas el arko-startiga elektroprovizo kaj arko-konserva elektroprovizo paralele. La tensio de la arko-startiga elektroprovizo estas 800-1000V, kaj la arko-startiga kurento estas 30-50A; La arko-tensio estas 40-70V, kaj la arko-kurento estas 80-300A.

La procezo de kava katoda arka malŝarĝo sekvas la procezon de konvertado de nenormala ardomalŝarĝo al arka malŝarĝo en la "voltampera karakteriza kurbo". Unue, necesas elektrofonto por provizi 800V starttension por generi ardomalŝarĝon en la tantala tubo. La alt-densecaj argonjonoj ene de la tantala tubo bombardas kaj varmigas la tubon ĝis la temperaturo, kie varmaj elektronoj estas elsenditaj, rezultante en granda kvanto da plasmoelektronfluo kaj subita pliiĝo de la kurento de la kava katoda arko. Poste, ankaŭ necesas alt-kurenta elektrofonto por konservi la arkan malŝarĝon. La procezo de konvertado de ardomalŝarĝo al arka malŝarĝo estas aŭtomata, do necesas konfiguri elektrofonton, kiu povas eligi kaj altan tension kaj altan kurenton.

Se ĉi tiuj du postuloj estas koncentritaj al ununura energifonto, la sekundara elira fino de la potenctransformilo devas esti volvita per tre dikaj dratoj dum multaj turnoj por eligi altan tension kaj altan kurenton, kio estos grandvolumena energifonto. Post jaroj da plibonigo, eblas paraleligi malgrandan arkan startan elektrofonton kun prizorgada arka elektrofonto. La arka starta elektrofonto uzas maldikajn dratojn por bobeni plurajn turnojn, kiuj povas eligi altan tension de 800V por ekbruligi tantalajn tubojn kaj generi ardomalŝargon; La arka elektrofonto povas eligi dekojn da voltoj kaj centojn da amperoj da kurento per volvado de dika drato kun malpli da turnoj por konservi la stabilecon de la kava katoda arka malŝargo. Pro la paralela konekto de du elektrofontoj sur tantalaj tuboj, dum la procezo de konvertado de nenormala ardomalŝargo al arka malŝargo, la du elektrofontoj aŭtomate konektiĝos kaj ŝanĝos de alta tensio kaj malalta kurento al malalta tensio kaj alta kurento.

1. Rapide ĝustigu la vakuonivelon. La vakuonivelo por eklumo en tantalaj tuboj estas ĉirkaŭ 100Pa, kaj la deponita filmstrukturo sub tiaj malaltaj vakuokondiĉoj estas neeviteble malglata. Tial, post ekbruligo de la arka elŝuto, necesas tuj redukti la kvanton da aerfluo kaj rapide ĝustigi la vakuonivelon al 8×10⁻¹~2Pa por atingi fajnan komencan filmstrukturon.

1. La turnplato por la laborpeco estas instalita ĉirkaŭ la tegaĵa ĉambro, kun la laborpeco konektita al la negativa poluso de la polarigita elektrofonto kaj la vakua ĉambro konektita al la pozitiva poluso. Pro la alta kurentdenseco de la kava katoda arko, la polarigita tensio de la jon-kovrita laborpeco ne bezonas atingi 1000V, kutime 50-200V.

5. Metu fokusantan elektromagnetan bobenon ĉirkaŭ la Gan-kolapso, kaj la elektromagneta kampo generita per apliko de kurento al la bobeno povas fokusigi la elektronfaskon ĉe la centro de la metala orbriko, pliigante la potencdensecon de la elektronfluo.