PRODUKTA PRISKRIBO

La tegaĵlinio adoptas modulan strukturon, kiu povas pligrandigi la ĉambron laŭ la procezo kaj efikecaj postuloj, kaj povas esti tegita ambaŭflanke, kio estas fleksebla kaj oportuna. Ekipita per jona puriga sistemo, rapida hejta sistemo kaj kontinukurenta magnetrona ŝprucsistemo, ĝi povas efike deponi simplan metaltegaĵon. La ekipaĵo havas rapidan baton, oportunan fiksadon kaj altan efikecon.

La tegaĵlinio estas ekipita per jona purigado kaj alt-temperatura baka sistemo, do la adhero de la deponita filmo estas pli bona. La malgrandangula ŝprucado kun rotacianta celo favoras la demetadon de filmo sur la interna surfaco de malgranda aperturo.

1. La ekipaĵo havas kompaktan strukturon kaj malgrandan plank-areon.
2. La vakua sistemo estas ekipita per molekula pumpilo por aerekstraktado, kun malalta energikonsumo.
3. Aŭtomata reveno de materiala rako ŝparas laborforton.
4. La procezaj parametroj povas esti spuritaj, kaj la produktada procezo povas esti monitorita dum la tuta procezo por faciligi la spuradon de produktadaj difektoj.
5. La tegaĵlinio havas altan gradon de aŭtomatigo. Ĝi povas esti uzata kun la manipulilo por konekti la antaŭajn kaj malantaŭajn procezojn kaj redukti la laborkoston.