Για την ανάφλεξη του λαμπτήρα κοίλης καθόδου απαιτούνται οι ακόλουθες συνθήκες:
- Ένα κοίλο πιστόλι καθόδου κατασκευασμένο από σωλήνα τανταλίου είναι εγκατεστημένο στο τοίχωμα του θαλάμου επικάλυψης και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την εκπομπή ροής θερμών ηλεκτρονίων. Η εσωτερική διάμετρος του επίπεδου σωλήνα είναι φ 6~ φ 15mm, με πάχος τοιχώματος 0,8-2mm.
- Το τροφοδοτικό αποτελείται από ένα τροφοδοτικό εκκίνησης τόξου και ένα τροφοδοτικό διατήρησης τόξου παράλληλα. Η τάση του τροφοδοτικού ενεργοποίησης τόξου είναι 800-1000V και το ρεύμα ενεργοποίησης τόξου είναι 30-50A. Η τάση τόξου είναι 40-70V και το ρεύμα τόξου είναι 80-300A.
Η διαδικασία εκκένωσης κοίλης καθοδικής τόξου ακολουθεί τη διαδικασία μετατροπής από ανώμαλη εκκένωση λάμψης σε εκκένωση τόξου στην «χαρακτηριστική καμπύλη βολτ αμπέρ». Πρώτον, απαιτείται τροφοδοτικό για την παροχή τάσης εκκίνησης 800V για τη δημιουργία εκκένωσης λάμψης στον σωλήνα τανταλίου. Τα ιόντα αργού υψηλής πυκνότητας μέσα στον σωλήνα τανταλίου βομβαρδίζουν και θερμαίνουν τον σωλήνα στη θερμοκρασία όπου εκπέμπονται θερμά ηλεκτρόνια, με αποτέλεσμα μια μεγάλη ποσότητα ροής ηλεκτρονίων πλάσματος και μια απότομη αύξηση του ρεύματος του κοίλης καθοδικής τόξου. Στη συνέχεια, απαιτείται επίσης τροφοδοτικό υψηλού ρεύματος για τη διατήρηση της εκκένωσης τόξου. Η διαδικασία μετατροπής από εκκένωση λάμψης σε εκκένωση τόξου είναι αυτόματη, επομένως είναι απαραίτητο να διαμορφωθεί μια τροφοδοσία ρεύματος που μπορεί να παράγει τόσο υψηλή τάση όσο και υψηλό ρεύμα.
Εάν αυτές οι δύο απαιτήσεις επικεντρώνονται σε μία μόνο πηγή ισχύος, το δευτερεύον άκρο εξόδου του μετασχηματιστή ισχύος πρέπει να τυλιχθεί με πολύ χοντρά σύρματα για πολλές σπείρες, προκειμένου να εξάγει υψηλή τάση και υψηλό ρεύμα, κάτι που θα αποτελέσει μια πηγή ισχύος μεγάλου όγκου. Μετά από χρόνια βελτίωσης, είναι δυνατό να παραλληλιστεί μια μικρή τροφοδοσία εκκίνησης τόξου με μια τροφοδοσία συντήρησης τόξου. Η τροφοδοσία εκκίνησης τόξου χρησιμοποιεί λεπτά σύρματα για την περιέλιξη πολλαπλών σπείρων, οι οποίες μπορούν να εξάγουν υψηλή τάση 800V για την ανάφλεξη σωλήνων τανταλίου και την παραγωγή εκκένωσης πυρακτώσεως. Η τροφοδοσία τόξου μπορεί να εξάγει δεκάδες βολτ και εκατοντάδες αμπέρ ρεύματος περιελίσσοντας ένα χοντρό σύρμα με λιγότερες σπείρες για να διατηρήσει τη σταθερότητα της εκκένωσης τόξου κοίλης καθόδου. Λόγω της παράλληλης σύνδεσης δύο τροφοδοτικών σε σωλήνες τανταλίου, κατά τη διαδικασία μετατροπής από ανώμαλη εκκένωση πυρακτώσεως σε εκκένωση τόξου, τα δύο τροφοδοτικά θα συνδεθούν αυτόματα και θα αλλάξουν από υψηλή τάση και χαμηλό ρεύμα σε χαμηλή τάση και υψηλό ρεύμα.
- Ρυθμίστε γρήγορα το επίπεδο κενού. Το επίπεδο κενού για την εκκένωση λάμψης σε σωλήνες τανταλίου είναι περίπου 100Pa και η εναποτιθέμενη δομή μεμβράνης υπό τέτοιες συνθήκες χαμηλού κενού είναι αναπόφευκτα χονδροειδής. Επομένως, μετά την ανάφλεξη της εκκένωσης τόξου, είναι απαραίτητο να μειωθεί αμέσως η ποσότητα ροής αέρα και να ρυθμιστεί γρήγορα το επίπεδο κενού στα 8×10-1~2Pa για να επιτευχθεί μια λεπτή αρχική δομή μεμβράνης.
- Η περιστρεφόμενη πλάκα του τεμαχίου εργασίας εγκαθίσταται γύρω από τον θάλαμο επίστρωσης, με το τεμάχιο εργασίας συνδεδεμένο στον αρνητικό πόλο της τροφοδοσίας πόλωσης και τον θάλαμο κενού συνδεδεμένο στον θετικό πόλο. Λόγω της υψηλής πυκνότητας ρεύματος του κοίλου τόξου καθόδου, η τάση πόλωσης του τεμαχίου εργασίας με επικάλυψη ιόντων δεν χρειάζεται να φτάσει τα 1000V, συνήθως 50-200V.
5. Τοποθετήστε ένα ηλεκτρομαγνητικό πηνίο εστίασης γύρω από την κατάρρευση Gan και το ηλεκτρομαγνητικό πεδίο που παράγεται με την εφαρμογή ρεύματος στο πηνίο μπορεί να εστιάσει τη δέσμη ηλεκτρονίων στο κέντρο του μεταλλικού πλινθώματος, αυξάνοντας την πυκνότητα ισχύος της ροής ηλεκτρονίων.
Ώρα δημοσίευσης: 20 Ιουλίου 2023