| Typ | Name | Prinzip | Arbeitsdruckbereich |
| Mechanische Pumpe | Mechanische Pumpe mit Einzelmaschinenöldichtung | Maschinelles Komprimieren und Ablassen von Gas | 105--101 |
| Mechanische Pumpe mit doppelter Maschinenöldichtung | 105--102 | ||
| Molekularpumpe | 101--108 | ||
| Wälzkolbenpumpe | 103--102 | ||
| Dampfeinspritzpumpe | Öleinspritzpumpe | Mitreißen des Gases durch den Impuls des Dampfstrahls | 101--107 |
| Öldiffusionspumpe | 101--106 | ||
| Quecksilberdiffusionspumpe | 101--105 | ||
| Trockenpumpe | Sputter-Ionenpumpe | Absorption und Entfernung von Gasen durch einen absorbierenden Film, der durch Sublimation oder Sputtern gebildet wird | 101--108 |
| Titan-Sublimationspumpe | 101--109 | ||
| Adsorptionspumpe | Gasentfernung durch physikalische Adsorption auf Niedertemperaturoberflächen | 106--102 | |
| Kondensatpumpe | 102--1011 | ||
| Kondensatadsorptionspumpe | 102--1010 |
Beitragszeit: 08.11.2022