Cundizioni per u rivestimentu di ioni à catodu cavu

E seguenti cundizioni sò necessarie per accende a luce à arcu à catodu cavu:

1. Una pistola à catodu cavu fatta di tubu di tantalu hè stallata nantu à u muru di a camera di rivestimentu è pò esse aduprata per emette un flussu di elettroni caldi. U diametru internu di u tubu pianu hè φ 6 ~ φ 15 mm, cù un spessore di u muru di 0,8-2 mm.

1. L'alimentazione hè cumposta da un'alimentazione d'avviamentu di l'arcu è un'alimentazione di mantenimentu di l'arcu in parallelu. A tensione di l'alimentazione d'accensione di l'arcu hè 800-1000V, è a corrente d'accensione di l'arcu hè 30-50A; A tensione di l'arcu hè 40-70V, è a corrente d'arcu hè 80-300A.

U prucessu di scarica di l'arcu di u catodu cavu seguita u prucessu di cunversione da una scarica incandescente anormale à una scarica d'arcu in a "curva caratteristica di volt ampere". Prima, hè necessaria una alimentazione per furnisce una tensione di partenza di 800 V per generà una scarica incandescente in u tubu di tantalu. L'ioni d'argon d'alta densità in u tubu di tantalu bombardanu è riscaldanu u tubu à a temperatura induve l'elettroni caldi sò emessi, risultendu in una grande quantità di flussu di elettroni di plasma è un aumentu improvvisu di a corrente di l'arcu di u catodu cavu. Dopu, hè ancu necessaria una alimentazione à alta corrente per mantene a scarica di l'arcu. U prucessu di cunversione da a scarica incandescente à a scarica d'arcu hè automaticu, dunque hè necessariu cunfigurà una alimentazione chì pò pruduce sia alta tensione sia alta corrente.

Sè sti dui requisiti sò cuncintrati annantu à una sola fonte d'alimentazione, l'estremità di uscita secundaria di u trasformatore di putenza deve esse avvolta cù fili assai grossi per parechje spire per pruduce alta tensione è alta corrente, chì serà una fonte d'alimentazione di grande vulume. Dopu anni di miglioramentu, hè pussibule di parallelizà una piccula alimentazione di partenza di l'arcu cù una alimentazione di mantenimentu di l'arcu. L'alimentazione di partenza di l'arcu usa fili fini per avvolgere parechje spire, chì ponu pruduce una alta tensione di 800V per accende i tubi di tantalu è generà una scarica à bagliore; L'alimentazione di l'arcu pò pruduce decine di volt è centinaie di ampere di corrente avvolgendu un filu grossu cù menu spire per mantene a stabilità di a scarica di l'arcu di u catodu cavu. A causa di a cunnessione parallela di dui alimentatori nantu à i tubi di tantalu, durante u prucessu di cunversione da una scarica à bagliore anormale à una scarica d'arcu, i dui alimentatori si cunnetteranu automaticamente è passeranu da alta tensione è bassa corrente à bassa tensione è alta corrente.

1. Ajustate rapidamente u livellu di vacuum. U livellu di vacuum per a scarica à bagliore in i tubi di tantalu hè intornu à 100 Pa, è a struttura di u film depositatu in tali cundizioni di bassu vacuum hè inevitabilmente grossolana. Dunque, dopu avè acceso a scarica à arcu, hè necessariu riduce immediatamente a quantità di flussu d'aria è aghjustà rapidamente u livellu di vacuum à 8 × 10-1 ~ 2 Pa per ottene una struttura iniziale di film fina.

1. U piattu giratoriu di a pezza hè stallatu intornu à a camera di rivestimentu, cù a pezza cunnessa à u polu negativu di l'alimentazione di polarizazione è a camera di vuoto cunnessa à u polu pusitivu. A causa di l'alta densità di corrente di l'arcu catodicu cavu, a tensione di polarizazione di a pezza rivestita di ioni ùn hà micca bisognu di ghjunghje à 1000V, di solitu 50-200V.

5. Pone una bobina elettromagnetica di focalizazione intornu à u colapsu di Gan, è u campu elettromagneticu generatu applicendu a corrente à a bobina pò focalizà u fasciu di elettroni à u centru di u lingotto metallicu, aumentendu a densità di putenza di u flussu di elettroni.