A linea di rivestimentu adotta una struttura mudulare, chì pò aumentà a camera secondu i requisiti di prucessu è di efficienza, è pò esse rivestita da i dui lati, ciò chì hè flessibile è cunveniente. Equipata cù un sistema di pulizia ionica, un sistema di riscaldamentu rapidu è un sistema di sputtering magnetron DC, pò deposità in modu efficiente un rivestimentu metallicu simplice. L'equipaggiu hà un battitu rapidu, un serraggio cunveniente è una alta efficienza.
A linea di rivestimentu hè dotata di un sistema di pulizia ionica è di cottura à alta temperatura, dunque l'adesione di u film depositatu hè megliu. U sputtering à piccula angulazione cù un bersagliu rotante hè favurevule per a deposizione di u film nantu à a superficia interna di una piccula apertura.
1. L'attrezzatura hà una struttura compatta è una piccula superficia.
2. U sistema di vacuum hè dotatu di pompa moleculare per l'estrazione di l'aria, cù un cunsumu energeticu bassu.
3. U ritornu automaticu di u rack di materiale risparmia a forza lavoro.
4. I parametri di u prucessu ponu esse tracciati, è u prucessu di pruduzzione pò esse monitoratu in tuttu u prucessu per facilità u seguimentu di i difetti di pruduzzione.
5. A linea di rivestimentu hà un altu gradu di automatizazione. Pò esse aduprata cù u manipulatore per cunnette i prucessi anteriori è posteriori è riduce u costu di u travagliu.
Pò rimpiazzà a stampa di pasta d'argentu in u prucessu di fabricazione di condensatori, cù una maggiore efficienza è un costu più bassu.
Hè applicabile à Ti, Cu, Al, Cr, Ni, Ag, Sn è altri metalli simplici. Hè statu largamente utilizatu in cumpunenti elettronichi à semiconduttori, cum'è substrati ceramici, condensatori ceramici, supporti ceramici per LED, ecc.