Ang mosunod nga mga kondisyon gikinahanglan aron masunog ang hollow cathode arc light:
- Usa ka haw-ang nga cathode gun nga hinimo sa tantalum tube ang gi-install sa coating chamber wall ug mahimong gamiton sa pagpagawas sa init nga electron flow. Ang sulod nga diametro sa patag nga tubo mao ang φ 6~ φ 15mm, nga adunay gibag-on nga kuta nga 0.8-2mm.
- Ang suplay sa kuryente gilangkuban sa usa ka arko nga nagsugod nga suplay sa kuryente ug usa ka arko nga nagmintinar sa suplay sa kuryente nga managsama. Ang boltahe sa arc striking power supply mao ang 800-1000V, ug ang arc striking nga kasamtangan mao ang 30-50A; Ang arc boltahe mao ang 40-70V, ug ang arc kasamtangan mao ang 80-300A.
Ang hollow cathode arc discharge nga proseso nagsunod sa proseso sa pag-convert gikan sa abnormal nga glow discharge ngadto sa arc discharge sa "volt ampere characteristic curve". Una, gikinahanglan ang suplay sa kuryente aron makahatag ug 800V nga sugod nga boltahe aron makamugna og glow discharge sa tantalum tube. Ang high-density argon ions sa sulod sa tantalum tube bombard ug init ang tubo ngadto sa temperatura diin init nga mga electron emitted, nga miresulta sa usa ka dako nga kantidad sa plasma electron dagan ug sa usa ka kalit nga pagtaas sa kasamtangan sa hollow cathode arko. Dayon, gikinahanglan usab ang taas nga suplay sa kuryente aron mapadayon ang arc discharge. Ang proseso sa pag-convert gikan sa glow discharge ngadto sa arc discharge awtomatik, mao nga gikinahanglan ang pag-configure sa usa ka power supply nga maka-output sa high voltage ug high current.
Kung kining duha ka mga kinahanglanon gikonsentrar sa usa ka tinubdan sa kuryente, ang ikaduha nga output nga katapusan sa power transformer kinahanglan nga samad sa baga kaayo nga mga wire alang sa daghang mga turno aron makapagawas sa taas nga boltahe ug taas nga kasamtangan, nga mahimong usa ka dako nga volume nga tinubdan sa kuryente. Pagkahuman sa mga tuig nga pag-uswag, posible nga iparehas ang usa ka gamay nga suplay sa kuryente nga nagsugod sa arko nga adunay suplay sa kuryente sa arko sa pagpadayon. Ang arc nga nagsugod nga suplay sa kuryente naggamit sa nipis nga mga wire sa pagpaandar sa daghang mga liko, nga makapagawas sa usa ka taas nga boltahe sa 800V aron masunog ang mga tubo sa tantalum ug makamugna og glow discharge; Ang suplay sa kuryente sa arko makapagawas ug napulo ka boltahe ug gatusan ka amperes sa kasamtangan pinaagi sa pagpaliko sa usa ka baga nga wire nga adunay gamay nga pagliko aron mapadayon ang kalig-on sa hollow cathode arc discharge. Tungod sa parallel nga koneksyon sa duha ka power supply sa tantalum tubes, atol sa proseso sa pag-convert gikan sa abnormal nga glow discharge ngadto sa arc discharge, ang duha ka power supply awtomatik nga magkonektar ug mobalhin gikan sa taas nga boltahe ug ubos nga kasamtangan ngadto sa ubos nga boltahe ug taas nga kasamtangan.
- Dali nga i-adjust ang lebel sa vacuum. Ang lebel sa vacuum alang sa glow discharge sa tantalum tubes mga 100Pa, ug ang gideposito nga istruktura sa pelikula ubos sa ingon nga ubos nga mga kondisyon sa vacuum dili kalikayan nga coarse. Busa, human sa pagdilaab sa arc discharge, gikinahanglan nga diha-diha dayon makunhuran ang gidaghanon sa agos sa hangin ug dali nga i-adjust ang lebel sa vacuum ngadto sa 8 × 10-1 ~ 2Pa aron makakuha og maayong inisyal nga istruktura sa pelikula.
- Ang workpiece turntable gi-install sa palibot sa coating chamber, nga ang workpiece konektado sa negatibo nga poste sa bias power supply ug ang vacuum chamber nga konektado sa positibo nga poste. Tungod sa taas nga kasamtangan nga Densidad sa hollow cathode arc, ang bias nga boltahe sa ion coated workpiece dili kinahanglan nga moabot sa 1000V, kasagaran 50-200V.
5. Ibutang ang usa ka nagpunting nga electromagnetic coil sa palibot sa Gan pagkahugno, ug ang electromagnetic field nga namugna pinaagi sa pagpadapat sa kasamtangan ngadto sa coil mahimong mag-focus sa electron beam sa sentro sa metal ingot, nga nagdugang sa power density sa electron flow.
Oras sa pag-post: Hul-20-2023