Per encendre la làmpada d'arc de càtode buit, calen les condicions següents:
- Un canó de càtode buit fet de tub de tàntal està instal·lat a la paret de la cambra de recobriment i es pot utilitzar per emetre un flux d'electrons calents. El diàmetre interior del tub pla és de φ 6 ~ φ 15 mm, amb un gruix de paret de 0,8-2 mm.
- La font d'alimentació està composta per una font d'alimentació d'arrencada d'arc i una font d'alimentació de manteniment d'arc en paral·lel. El voltatge de la font d'alimentació d'encesa d'arc és de 800-1000V i el corrent d'encesa d'arc és de 30-50A; el voltatge d'arc és de 40-70V i el corrent d'arc és de 80-300A.
El procés de descàrrega d'arc de càtode buit segueix el procés de conversió d'una descàrrega luminescent anormal a una descàrrega d'arc a la "corba característica de volt amperes". En primer lloc, es necessita una font d'alimentació per proporcionar una tensió d'inici de 800 V per generar una descàrrega luminescent al tub de tàntal. Els ions d'argó d'alta densitat dins del tub de tàntal bombardegen i escalfen el tub fins a la temperatura on s'emeten electrons calents, cosa que provoca una gran quantitat de flux d'electrons de plasma i un augment sobtat del corrent de l'arc de càtode buit. Aleshores, també es necessita una font d'alimentació d'alt corrent per mantenir la descàrrega d'arc. El procés de conversió de descàrrega luminescent a descàrrega d'arc és automàtic, per la qual cosa cal configurar una font d'alimentació que pugui generar tant alt voltatge com alt corrent.
Si aquests dos requisits es concentren en una única font d'alimentació, l'extrem de sortida secundària del transformador de potència s'ha d'enrotllar amb cables molt gruixuts durant moltes voltes per tal de generar alt voltatge i alt corrent, que serà una font d'alimentació de gran volum. Després d'anys de millora, és possible paral·lelitzar una font d'alimentació d'arrencada d'arc petit amb una font d'alimentació d'arc de manteniment. La font d'alimentació d'arrencada d'arc utilitza cables prims per enrotllar múltiples voltes, que poden generar un alt voltatge de 800 V per encendre tubs de tàntal i generar descàrrega luminescent; La font d'alimentació d'arc pot generar desenes de volts i centenars d'amperes de corrent enrotllant un cable gruixut amb menys voltes per mantenir l'estabilitat de la descàrrega d'arc de càtode buit. A causa de la connexió paral·lela de dues fonts d'alimentació en tubs de tàntal, durant el procés de conversió de descàrrega luminescent anormal a descàrrega d'arc, les dues fonts d'alimentació es connectaran automàticament i canviaran d'alt voltatge i baix corrent a baix voltatge i alt corrent.
- Ajusteu ràpidament el nivell de buit. El nivell de buit per a la descàrrega luminescent en tubs de tàntal és d'uns 100 Pa, i l'estructura de la pel·lícula dipositada en aquestes condicions de baix buit és inevitablement gruixuda. Per tant, després d'encendre la descàrrega d'arc, cal reduir immediatament la quantitat de flux d'aire i ajustar ràpidament el nivell de buit a 8 × 10-1 ~ 2 Pa per obtenir una estructura de pel·lícula inicial fina.
- La plataforma giratòria de la peça s'instal·la al voltant de la cambra de recobriment, amb la peça connectada al pol negatiu de la font d'alimentació de polarització i la cambra de buit connectada al pol positiu. A causa de l'alta densitat de corrent de l'arc del càtode buit, la tensió de polarització de la peça recoberta amb ions no ha d'arribar als 1000 V, normalment entre 50 i 200 V.
5. Col·loqueu una bobina electromagnètica d'enfocament al voltant del col·lapse de Gan, i el camp electromagnètic generat aplicant corrent a la bobina pot enfocar el feix d'electrons al centre del lingot metàl·lic, augmentant la densitat de potència del flux d'electrons.
Data de publicació: 20 de juliol de 2023