পদার্থ বিজ্ঞান এবং প্রকৌশলে, ইলেকট্রনিক্স থেকে শুরু করে উন্নত উৎপাদন পর্যন্ত শিল্পে পাতলা ফিল্ম আবরণের ক্ষেত্র গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। উপলব্ধ বিভিন্ন প্রযুক্তির মধ্যে, ভৌত বাষ্প জমা (PVD) স্পুটারিং সাবস্ট্রেটের উপর পাতলা ফিল্ম জমা করার জন্য একটি উদ্ভাবনী এবং দক্ষ পদ্ধতি হিসাবে আবির্ভূত হয়েছে। এই নিবন্ধটি PVD স্পুটারিংয়ের জগতে গভীরভাবে অনুসন্ধান করবে, এর প্রয়োগ, সুবিধা এবং সর্বশেষ উন্নয়ন নিয়ে আলোচনা করবে। PVD স্পুটারিং, যা ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং নামেও পরিচিত, ওয়েফারের উপর পাতলা ফিল্ম জমা করার জন্য সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত একটি কৌশল। এতে একটি লক্ষ্য উপাদান থেকে পরমাণু অপসারণের জন্য প্লাজমা ব্যবহার করা হয়, যা পরে একটি সাবস্ট্রেটের উপর জমা হয়, একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করে।
এই প্রক্রিয়াটি অনেক সুবিধা প্রদান করে, যেমন ফিল্মের পুরুত্বের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ, চমৎকার আনুগত্য এবং ধাতু, অক্সাইড এবং নাইট্রাইড সহ বিভিন্ন উপকরণ জমা করার ক্ষমতা। PVD স্পুটারিংয়ের প্রয়োগ বিস্তৃত এবং বৈচিত্র্যময়। ইলেকট্রনিক্স শিল্পে, এটি সাধারণত অ্যালুমিনিয়াম এবং তামার মতো পরিবাহী উপকরণ জমা করার জন্য ব্যবহৃত হয়, যা ক্ষুদ্র উপাদান এবং সমন্বিত সার্কিট তৈরি করতে সক্ষম করে। এছাড়াও, PVD স্পুটারিং অপটিক্যাল আবরণ শিল্পে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, যেমন লেন্স এবং আয়নাতে প্রতিফলিত বিরোধী আবরণ যা আলোর সংক্রমণ কর্মক্ষমতা উন্নত করে। PVD স্পুটারিং প্রযুক্তির সাম্প্রতিক অগ্রগতি এটিকে আরও বেশি জনপ্রিয় করে তুলছে। একটি উল্লেখযোগ্য উন্নয়ন হল প্রতিক্রিয়াশীল স্পুটারিং প্রবর্তন, যা উন্নত বৈশিষ্ট্য সহ যৌগের পাতলা ফিল্ম জমা করতে পারে। জমার সময় ভ্যাকুয়াম চেম্বারে প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস প্রবর্তনের মাধ্যমে, নির্মাতারা জমা হওয়া ফিল্মগুলির গঠন এবং স্টোইচিওমেট্রি নিয়ন্ত্রণ করতে পারে, উন্নত কর্মক্ষমতা এবং কার্যকারিতা প্রদান করে।
উপরন্তু, টার্গেট উদ্ভাবনগুলি PVD স্পুটারিংয়ের ক্ষমতা প্রসারিত করেছে। উদাহরণস্বরূপ, একাধিক উপকরণ সমন্বিত কম্পোজিট টার্গেট ব্যবহার করে অনন্য বৈশিষ্ট্য সহ অত্যন্ত বিশেষায়িত পাতলা ফিল্ম জমা করা সম্ভব। এটি উন্নত ইলেকট্রনিক্স, শক্তি সঞ্চয় এবং জৈব চিকিৎসা ডিভাইসের জন্য নতুন উপকরণের বিকাশের দরজা খুলে দেয়। সংক্ষেপে, PVD স্পুটারিং একটি শক্তিশালী পাতলা ফিল্ম আবরণ কৌশল যার বিস্তৃত প্রয়োগ এবং সাম্প্রতিক অগ্রগতি রয়েছে। পাতলা ফিল্ম জমার উপর সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ এবং বিভিন্ন উপকরণের সাথে সামঞ্জস্যের সাথে, এটি ইলেকট্রনিক্স এবং অপটিক্সের মতো শিল্পে একটি প্রধান বিষয় হয়ে উঠেছে। PVD স্পুটারিংয়ের ক্ষেত্রে চলমান গবেষণা এবং উদ্ভাবন এর ক্ষমতা আরও উন্নত করবে বলে আশা করা হচ্ছে, নতুন উপকরণ তৈরি করতে সক্ষম করবে এবং প্রযুক্তিগত অগ্রগতির সীমানা ঠেলে দেবে।
–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকঝেনহুয়া ভ্যাকুয়াম।
পোস্টের সময়: মে-২৭-২০২৫