Ni aaye imọ-ẹrọ ifisilẹ fiimu tinrin, cylindrical magnetron sputtering ti di ọna ti o munadoko ati wapọ. Imọ-ẹrọ imotuntun yii n pese awọn oniwadi ati awọn alamọdaju ile-iṣẹ ọna lati fi awọn fiimu tinrin pamọ pẹlu konge iyasọtọ ati isokan. Silindrical magnetron sputtering jẹ lilo pupọ ni ọpọlọpọ awọn ile-iṣẹ ati pe o n ṣe iyipada ilana fifisilẹ fiimu tinrin.
Silindrical magnetron sputtering, tun mo bi iyipo magnetron sputtering cylindrical, jẹ a ti ara iwadi iwadi ọna ẹrọ ti o nlo iyipo magnetron cathodes iyipo. Ilana iṣiṣẹ rẹ pẹlu ṣiṣẹda pilasima ninu eyiti awọn ions ti wa ni isare si ohun elo ibi-afẹde kan ati yọ awọn ọta rẹ jade. Awọn ọta wọnyi yoo wa ni gbigbe sori sobusitireti lati ṣe fiimu tinrin kan.
Ọkan ninu awọn anfani akọkọ ti cylindrical magnetron sputtering ni agbara lati ṣaṣeyọri awọn oṣuwọn ifisilẹ giga lakoko mimu didara fiimu ti o dara julọ. Ko dabi awọn imọ-ẹrọ sputtering ibile, eyiti nigbagbogbo ja si idinku didara fiimu ni awọn oṣuwọn ifisilẹ ti o ga julọ, sputtering magnetron cylindrical ṣe idaniloju pe iduroṣinṣin fiimu ati akopọ ti wa ni itọju jakejado ilana fifisilẹ.
Ni afikun, apẹrẹ iyipo ti magnetron cathode ngbanilaaye fun pilasima aṣọ diẹ sii ati pinpin aaye oofa, nitorinaa imudara isokan fiimu. Iṣọkan yii jẹ pataki fun awọn ohun elo ti o nilo awọn ohun-ini fiimu ti o ni ibamu ni gbogbo dada sobusitireti. Awọn ile-iṣẹ gẹgẹbi awọn opiki, ẹrọ itanna ati agbara oorun ti ni anfani pupọ lati awọn agbara ilọsiwaju ti iyipo magnetron iyipo.
Awọn lilo ti iyipo magnetron sputtering pan kọja ibile ohun elo. Awọn oniwadi ati awọn onimọ-ẹrọ nigbagbogbo n ṣawari awọn ọna tuntun lati lo imọ-ẹrọ yii ni awọn aaye gige-eti gẹgẹbi nanotechnology ati biomedicine. Agbara lati ṣakoso ni deede awọn aye ifisilẹ, gẹgẹbi akopọ gaasi, titẹ, ati agbara, ngbanilaaye ẹda ti awọn fiimu ti a ṣe adani pẹlu awọn ohun-ini ti o baamu ti o dara fun awọn ohun elo kan pato.
Ifilọlẹ ti awọn gaasi ifaseyin siwaju sii faagun awọn agbara ti cylindrical magnetron sputtering. Nipa iṣafihan awọn gaasi ifaseyin gẹgẹbi nitrogen tabi atẹgun, awọn akojọpọ le wa ni ipamọ tabi awọn akojọpọ fiimu tinrin pẹlu awọn ohun-ini alailẹgbẹ le ṣe iṣelọpọ. Eyi ṣii awọn ọna tuntun lati ṣawari awọn ohun elo to ti ni ilọsiwaju pẹlu iṣẹ ṣiṣe imudara, gẹgẹ bi imudara yiya resistance, líle ti o pọ si tabi resistance ipata ti o ga julọ.
Pẹlupẹlu, ilana sputtering magnetron iyipo le jẹ iwọn ni irọrun, ti o jẹ ki o dara fun awọn ohun elo ile-iṣẹ nla. Iwọn iwọn yii, ni idapo pẹlu ṣiṣe ati iṣipopada rẹ, ti yori si gbigba gbigba ti imọ-ẹrọ yii nipasẹ awọn ile-iṣẹ ti o nilo awọn fiimu tinrin lati wa ni ifipamọ lakoko awọn ilana iṣelọpọ.
Gẹgẹbi pẹlu imọ-ẹrọ to ti ni ilọsiwaju eyikeyi, iwadii ti nlọ lọwọ ati awọn igbiyanju idagbasoke tẹsiwaju lati mu awọn agbara ti cylindrical magnetron sputtering sii. Awọn oniwadi n ṣiṣẹ lati ṣatunṣe awọn aye ilana, mu awọn ohun elo ibi-afẹde ṣiṣẹ ati ṣawari awọn apẹrẹ cathode miiran lati mu ilọsiwaju imunadoko imọ-ẹrọ siwaju ati iṣẹ ṣiṣe gbogbogbo.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹwa 26-2023