I. Tổng quan
Thiết bị phủ quang học phẳng lớn là thiết bị phủ đồng đều một lớp màng mỏng trên bề mặt của thành phần quang học phẳng. Những lớp màng này thường được sử dụng để cải thiện hiệu suất của các thành phần quang học, chẳng hạn như phản xạ, truyền dẫn, chống phản xạ, chống phản xạ, lọc, gương và các chức năng khác. Thiết bị này chủ yếu được sử dụng trong các ngành công nghiệp quang học, laser, hiển thị, truyền thông, hàng không vũ trụ và các ngành công nghiệp khác.
Thứ hai, nguyên lý cơ bản của lớp phủ quang học
Lớp phủ quang học là một kỹ thuật làm thay đổi các tính chất quang học của một thành phần quang học (như thấu kính, bộ lọc, lăng kính, sợi quang, màn hình, v.v.) bằng cách phủ một hoặc nhiều lớp vật liệu (thường là kim loại, gốm hoặc oxit) lên bề mặt của nó. Các lớp màng này có thể là màng phản quang, màng truyền, màng chống phản xạ, v.v. Các phương pháp phủ phổ biến là lắng đọng hơi vật lý (PVD), lắng đọng hơi hóa học (CVD), lắng đọng phun, phủ bay hơi, v.v.
Thứ ba, thành phần thiết bị
Thiết bị phủ quang học phẳng lớn thường bao gồm các bộ phận chính sau:
Buồng phủ: Đây là phần cốt lõi của quá trình phủ và thường là buồng chân không. Phủ được thực hiện bằng cách kiểm soát chân không và khí quyển. Để cải thiện chất lượng phủ và kiểm soát độ dày của màng, cần phải kiểm soát chính xác môi trường của buồng phủ.
Nguồn bốc hơi hoặc nguồn bắn phá:
Nguồn bay hơi: Vật liệu cần lắng đọng được nung nóng đến trạng thái bay hơi, thường là bằng phương pháp bay hơi chùm tia điện tử hoặc bay hơi nhiệt, sau đó được lắng đọng lên thành phần quang học trong điều kiện chân không.
Nguồn bắn phá: Bằng cách tác động vào mục tiêu bằng các ion năng lượng cao, các nguyên tử hoặc phân tử của mục tiêu bị bắn phá ra ngoài, cuối cùng được lắng đọng trên bề mặt quang học để tạo thành màng.
Hệ thống xoay: Thành phần quang học cần được xoay trong quá trình phủ để đảm bảo màng được phân bố đều trên bề mặt. Hệ thống xoay đảm bảo độ dày màng đồng đều trong suốt quá trình phủ.
Hệ thống chân không: Hệ thống chân không được sử dụng để cung cấp môi trường áp suất thấp, thường thông qua hệ thống bơm để hút chân không buồng phủ, đảm bảo quá trình phủ không bị ảnh hưởng bởi tạp chất trong không khí, tạo ra màng phủ chất lượng cao.
Hệ thống đo lường và điều khiển: bao gồm các cảm biến để theo dõi độ dày màng sơn (như cảm biến QCM), kiểm soát nhiệt độ, điều chỉnh công suất, v.v., để kiểm soát chính xác quá trình phủ.
Hệ thống làm mát: Nhiệt sinh ra trong quá trình phủ có thể ảnh hưởng đến chất lượng của màng phim và tính toàn vẹn của thành phần quang học, do đó cần có hệ thống làm mát hiệu quả để duy trì môi trường nhiệt độ ổn định.
4. Lĩnh vực ứng dụng
Sản xuất linh kiện quang học: Thiết bị phủ được sử dụng rộng rãi trong sản xuất các linh kiện quang học như thấu kính quang học, kính hiển vi, kính thiên văn và thấu kính máy ảnh. Thông qua các loại lớp phủ khác nhau, các thành phần quang học có thể được tối ưu hóa để chống phản xạ, chống phản xạ, phản xạ gương, lọc, v.v., để cải thiện chất lượng hình ảnh, độ sáng và độ tương phản.
Công nghệ hiển thị: Trong quá trình sản xuất màn hình tinh thể lỏng (LCD), điốt phát quang hữu cơ (OLED) và các loại màn hình khác, công nghệ phủ được sử dụng để cải thiện hiệu ứng hiển thị, tăng cường màu sắc, độ tương phản và khả năng chống phản chiếu.
Thiết bị laser: Trong quá trình sản xuất laser và các thành phần quang học laser (như thấu kính laser, gương, v.v.), công nghệ phủ được sử dụng để điều chỉnh các đặc tính phản xạ và truyền dẫn của laser nhằm đảm bảo năng lượng đầu ra và chất lượng truyền dẫn của laser.
Pin mặt trời quang điện: Trong quá trình sản xuất tấm pin mặt trời, lớp phủ quang học được sử dụng để cải thiện hiệu suất chuyển đổi quang điện. Ví dụ, phủ một lớp màng chống phản xạ trên bề mặt vật liệu quang điện có thể làm giảm sự mất mát ánh sáng, do đó cải thiện hiệu suất của pin mặt trời.
Hàng không vũ trụ: Trong lĩnh vực hàng không vũ trụ, ống kính quang học, cảm biến quang học, kính thiên văn và các thiết bị khác cần được phủ lớp phủ để tăng khả năng chống bức xạ, chịu nhiệt độ cao và chống phản xạ nhằm đảm bảo thiết bị hoạt động bình thường trong môi trường khắc nghiệt.
Cảm biến và dụng cụ: Được sử dụng cho các dụng cụ chính xác, cảm biến hồng ngoại, cảm biến quang học và các thiết bị sản xuất khác, lớp phủ có thể cải thiện hiệu suất của chúng. Ví dụ, cảm biến hồng ngoại thường yêu cầu lớp phủ màng cụ thể để có thể lọc và truyền hiệu quả các bước sóng ánh sáng cụ thể.
V. Thách thức công nghệ và xu hướng phát triển
Kiểm soát chất lượng màng: Trong thiết bị phủ quang học phẳng lớn, đảm bảo tính đồng nhất và nhất quán của màng là một vấn đề kỹ thuật. Biến động nhiệt độ nhỏ, thay đổi thành phần khí hoặc biến động áp suất trong quá trình phủ có thể ảnh hưởng đến chất lượng của màng.
Công nghệ phủ nhiều lớp: Các thành phần quang học hiệu suất cao thường yêu cầu hệ thống màng nhiều lớp và thiết bị phủ phải có khả năng kiểm soát chính xác độ dày và thành phần vật liệu của từng màng để đạt được hiệu ứng quang học mong muốn.
Thông minh và tự động hóa: Với sự tiến bộ của công nghệ, các thiết bị phủ trong tương lai sẽ thông minh và tự động hơn, có khả năng giám sát và điều chỉnh nhiều thông số khác nhau trong quá trình phủ theo thời gian thực, nâng cao hiệu quả sản xuất và chất lượng sản phẩm.
Bảo vệ môi trường và tiết kiệm năng lượng: Với yêu cầu nghiêm ngặt của các quy định về môi trường, thiết bị phủ quang học cần phải giảm mức tiêu thụ năng lượng và giảm phát thải các chất độc hại. Đồng thời, việc phát triển các vật liệu và quy trình phủ thân thiện với môi trường hơn cũng là một hướng nghiên cứu quan trọng hiện nay.
Thiết bị phủ quang học phun magnetron liên tục SOM2550
Ưu điểm của thiết bị:
Mức độ tự động hóa cao, khả năng tải lớn, hiệu suất màng tuyệt vời
Độ truyền ánh sáng khả kiến lên tới 99%
Độ cứng AR +AF siêu cứng lên đến 9H
Ứng dụng: Chủ yếu sản xuất AR/NCVM+DLC+AF, cũng như gương chiếu hậu thông minh, kính che màn hình cảm ứng/hiển thị ô tô, camera siêu cứng AR, IR-CUT và các bộ lọc khác, nhận dạng khuôn mặt và các sản phẩm khác.
– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa
Thời gian đăng: 24-01-2025