Wakuum buglaryny çökdürmek prosesi, adatça substratyň üstüni arassalamak, örtükden öň taýýarlyk, bug çökdürmek, bölekleri ýygnamak, örtükden soňky bejermek, synag we taýýar önümler ýaly ädimleri öz içine alýar.
(1) Substrat ýerüsti arassalamak. Wakuum kamerasynyň diwarlary, substrat çarçuwasy we beýleki ýerüsti ýag, pos, galyndy örtük materialy wakuumda bugarmak aňsat, film gatlagynyň arassalygyna we baglanyşyk güýjüne gönüden-göni täsir edýär, örtükden öň arassalanmalydyr.
(2) Örtükden öň taýýarlyk. Boş vakuumy degişli vakuum derejesine örtmek, deslapky taýýarlamak üçin substrat we örtük materiallary. Substraty gyzdyrmak, maksat çyglylygy aýyrmak we membrananyň esasy baglanyşyk güýjüni ýokarlandyrmak. Substraty ýokary vakuum astynda gyzdyrmak substratyň üstündäki adsorbsirlenen gazy siňdirip biler, soňra bolsa örtük kamerasynyň wakuum derejesini, film gatlagynyň arassalygyny we film bazasynyň baglanyşyk güýjüni ýokarlandyrmaga amatly wakuum nasosy bilen wakuum kamerasyndan gazy çykaryp biler. Belli bir wakuum derejesine ýetenden soň, pes güýji bolan ilkinji bugarmak çeşmesi, filmiň gyzmagy ýa-da öňünden eremegi. Substrata bugarmagyň öňüni almak, bugarmagyň çeşmesini we çeşme materialyny ýapyň we has ýokary elektrik güýjüne girmek üçin örtük materialy bugarmagyň temperaturasyna, bugarmagyna çalt gyzdyrylýar we soňundan aýyrýar.
(3) bugarmak. Degişli substrat temperaturasyny saýlamak üçin bugarmak tapgyryna goşmaça, howa basyşynyň daşynda material bugarmagyň temperaturasy hem möhüm parametrdir. Örtük otagy wakuumy bolan gaz basyşynyň bugarmak giňişliginde hereket edýän gaz molekulalarynyň ortaça erkin aralygyny we bug we galyndy gaz atomlarynyň aşagyndaky belli bir bugarma aralygyny we bug atomlarynyň arasyndaky çaknyşyk sanyny kesgitleýär.
(4) düşürmek. Talaplary kanagatlandyrmak üçin bug gatlagynyň galyňlygyndan soň bugarmak çeşmesini ýapyň we ýylylygy bes ediň, ýöne howany derrew ugrukdyrmaň, wakuum şertlerinde sowuklamagy dowam etdirmeli, örtük, galyndy örtük materialy we garşylyk, bugarmak çeşmesi we ş.m.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürmekr Guangdong Zhenhua
Iş wagty: Awgust-23-2024