Раванди ҷойгиркунии буғи вакуумӣ одатан марҳилаҳоеро дар бар мегирад, ба монанди тоза кардани сатҳи субстрат, омодагӣ пеш аз пӯшиш, ҷойгиркунии буғ, ҷамъоварии пораҳо, коркарди пас аз пӯшиш, озмоиш ва маҳсулоти тайёр.
(1) Тозакунии сатҳи зеризаминӣ. Деворҳои камераи чангкашак, чаҳорчӯбаи зеризаминӣ ва дигар равғанҳои рӯизаминӣ, занг ва маводи боқимондаи рӯйпӯшкунӣ дар вакуум ба осонӣ бухор мешаванд, ки ба тозагии қабати плёнка ва қувваи пайвастшавӣ таъсири мустақим мерасонад ва пеш аз рӯйпӯшкунӣ бояд тоза карда шавад.
(2) Омодагӣ пеш аз пӯшиш. Пӯшонидани вакууми холӣ то дараҷаи мувофиқи вакуум, маводҳои пӯшиш ва субстрат барои коркарди пешакӣ. Гарм кардани субстрат, ҳадаф тоза кардани намӣ ва баланд бардоштани қувваи пайвастшавии пойгоҳи мембрана мебошад. Гарм кардани субстрат дар зери вакууми баланд метавонад гази адсорбсияшударо дар сатҳи субстрат десорбсия кунад ва сипас газро аз камераи вакуумӣ тавассути насоси вакуумӣ берун кунад, ки барои беҳтар кардани дараҷаи вакууми камераи пӯшиш, тозагии қабати плёнка ва қувваи пайвастшавии пойгоҳи плёнка мусоидат мекунад. Пас аз расидан ба дараҷаи муайяни вакуум, аввал манбаи бухоршавӣ бо қувваи пасти барқ, плёнкаро пешакӣ гарм кардан ё пешакӣ об кардан мумкин аст. Барои пешгирӣ аз бухоршавӣ ба субстрат, манбаи бухоршавӣ ва маводи манбаъро бо монеа пӯшонед ва сипас ба қувваи баландтари барқ ворид кунед, маводи пӯшиш зуд то ҳарорати бухоршавӣ гарм карда мешавад, бухоршавӣ ва сипас монеаро хориҷ кунед.
(3) Бухоршавӣ. Илова бар марҳилаи бухоршавӣ, интихоби ҳарорати мувофиқи субстрат, ҳарорати бухоршавии маводи рӯйпӯш берун аз фишори ҳаво низ як параметри хеле муҳим аст. Фишори газ, ки вакууми ҳуҷраи рӯйпӯш аст, диапазони миёнаи озоди молекулаҳои газро, ки дар фазои бухоршавӣ ҳаракат мекунанд ва масофаи муайяни бухоршавӣ дар зери атомҳои буғ ва гази боқимонда ва шумораи бархӯрдҳо байни атомҳои буғро муайян мекунад.
(4) Борфарорӣ. Пас аз он ки қабати плёнка ба талабот ҷавобгӯ бошад, манбаи бухоршавиро бо монеа пӯшонед ва гармкуниро қатъ кунед, аммо фавран ҳаворо роҳнамоӣ накунед, зарурати идома додани хунуккунӣ дар шароити вакуум барои муддати муайян, барои пешгирӣ кардани пӯшиш, маводи боқимондаи пӯшиш ва муқовимат, манбаи бухоршавӣ ва ғайра оксидшавӣ ва сипас қатъ кардани насос ва сипас варам кардан, кушодани камераи вакуумӣ барои гирифтани субстрат.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсоли мошини пӯшонидани вакуумӣр Гуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 23 августи соли 2024