กระบวนการตกตะกอนไอระเหยในสุญญากาศ

กระบวนการเคลือบด้วยไอระเหยในสุญญากาศโดยทั่วไปประกอบด้วยขั้นตอนต่างๆ เช่น การทำความสะอาดพื้นผิววัสดุ การเตรียมพื้นผิวก่อนการเคลือบ การเคลือบด้วยไอระเหย การหยิบชิ้นงาน การบำบัดหลังการเคลือบ การทดสอบ และผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป
(1) การทำความสะอาดพื้นผิวของวัสดุรองรับ ผนังห้องสุญญากาศ โครงของวัสดุรองรับ และพื้นผิวอื่นๆ ที่มีน้ำมัน สนิม และวัสดุชุบตกค้างจะระเหยได้ง่ายในสุญญากาศ ซึ่งส่งผลโดยตรงต่อความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์มและแรงยึดเกาะ จึงต้องทำความสะอาดก่อนการชุบ
(2) การเตรียมการก่อนการเคลือบ การเคลือบต้องทำการดูดสุญญากาศให้ได้ระดับสุญญากาศที่เหมาะสม เพื่อเตรียมพื้นผิวและวัสดุเคลือบ การให้ความร้อนแก่พื้นผิวมีจุดประสงค์เพื่อกำจัดความชื้นและเพิ่มแรงยึดเกาะของฐานฟิล์ม การให้ความร้อนแก่พื้นผิวภายใต้สุญญากาศสูงจะช่วยขับก๊าซที่ดูดซับอยู่บนพื้นผิวของพื้นผิวออกไป จากนั้นจึงดูดก๊าซออกจากห้องสุญญากาศโดยใช้ปั๊มสุญญากาศ ซึ่งเอื้อต่อการปรับปรุงระดับสุญญากาศของห้องเคลือบ ความบริสุทธิ์ของชั้นฟิล์ม และแรงยึดเกาะของฐานฟิล์ม หลังจากถึงระดับสุญญากาศที่กำหนดแล้ว จึงใช้แหล่งระเหยที่มีกำลังไฟฟ้าต่ำกว่าในการอุ่นหรือหลอมฟิล์มเบื้องต้น เพื่อป้องกันการระเหยไปยังพื้นผิว ให้ปิดแหล่งระเหยและวัสดุด้วยแผ่นกั้น จากนั้นจึงใช้กำลังไฟฟ้าที่สูงขึ้น เพื่อให้วัสดุเคลือบร้อนขึ้นอย่างรวดเร็วจนถึงอุณหภูมิการระเหย ระเหยแล้วจึงเอาแผ่นกั้นออก
(3) การระเหย นอกจากการเลือกอุณหภูมิพื้นผิวที่เหมาะสมในขั้นตอนการระเหยแล้ว อุณหภูมิการระเหยของวัสดุเคลือบภายนอกความดันอากาศในการตกตะกอนก็เป็นพารามิเตอร์ที่สำคัญมากเช่นกัน ความดันก๊าซในการตกตะกอน ซึ่งก็คือสุญญากาศในห้องเคลือบ จะกำหนดระยะการเคลื่อนที่เฉลี่ยของโมเลกุลก๊าซในพื้นที่การระเหย และระยะการระเหยที่แน่นอนภายใต้อะตอมของไอและก๊าซที่เหลืออยู่ รวมถึงจำนวนการชนกันระหว่างอะตอมของไอ
(4) การนำออก หลังจากที่ความหนาของชั้นฟิล์มเป็นไปตามข้อกำหนดแล้ว ให้ปิดแหล่งระเหยด้วยแผ่นกั้นและหยุดการให้ความร้อน แต่ห้ามนำอากาศออกทันที จำเป็นต้องระบายความร้อนต่อไปภายใต้สภาวะสุญญากาศเป็นระยะเวลาหนึ่งเพื่อให้เย็นลง เพื่อป้องกันการเกิดการชุบ การเกิดวัสดุชุบตกค้าง และความต้านทาน การเกิดออกซิเดชันของแหล่งระเหย เป็นต้น จากนั้นจึงหยุดการสูบอากาศ แล้วจึงสูบอากาศออก เปิดห้องสุญญากาศเพื่อนำแผ่นรองพื้นออก

–บทความนี้เผยแพร่โดยการผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศr กวางตุ้ง Zhenhua