Вакуум ууршуулах үйл явц

Вакуум ууршуулах үйл явц нь ерөнхийдөө суурь гадаргууг цэвэрлэх, бүрэхээс өмнө бэлтгэх, ууршуулах, хэсгүүдийг авах, бүрэх дараах боловсруулалт, туршилт, бэлэн бүтээгдэхүүн зэрэг алхмуудыг агуулдаг.
(1) Субстратын гадаргууг цэвэрлэх. Вакуум камерын хана, субстратын хүрээ болон бусад гадаргуугийн тос, зэв, үлдэгдэл бүрэх материал нь вакуум орчинд амархан ууршдаг тул хальсан давхаргын цэвэр байдал болон холболтын хүчинд шууд нөлөөлдөг тул бүрэхээс өмнө цэвэрлэж байх ёстой.
(2) Бүрэхээс өмнөх бэлтгэл. Хоосон вакуумыг зохих вакуум түвшинд хүртэл бүрэх, суурь болон бүрэх материалыг урьдчилан боловсруулах. Субстратыг халаах зорилго нь чийгийг арилгах, мембраны суурийн холболтын хүчийг нэмэгдүүлэх явдал юм. Субстратыг өндөр вакуум дор халаах нь суурь гадаргуу дээрх адсорбцлогдсон хийг шингээж, дараа нь вакуум насосоор вакуум камераас хийг гадагшлуулж, бүрэх камерын вакуум түвшин, хальсан давхаргын цэвэр байдал, хальсан суурийн холболтын хүчийг сайжруулахад тусалдаг. Тодорхой вакуум түвшинд хүрсний дараа эхлээд бага цахилгаан эрчим хүч бүхий ууршуулах эх үүсвэрийг халаах эсвэл урьдчилан хайлуулах хэрэгтэй. Ууршилтыг суурь руу орохоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд ууршуулах эх үүсвэр болон эх үүсвэрийн материалыг хаалтаар хучиж, дараа нь өндөр цахилгаан эрчим хүч рүү оруулж, бүрэх материалыг ууршуулах температур хүртэл хурдан халааж, ууршуулж, дараа нь хаалтыг авна.
(3) Ууршилт. Тохирох субстратын температурыг сонгох ууршилтын үе шатнаас гадна агаарын даралтын хуримтлалаас гадуур бүрэх материалын ууршилтын температур нь маш чухал параметр юм. Бүрэх өрөөний вакуум болох хийн даралтын хуримтлал нь ууршилтын орон зайд хөдөлж буй хийн молекулуудын дундаж чөлөөт хүрээ болон уур ба үлдэгдэл хийн атомуудын доорх тодорхой ууршилтын зай, уурын атомуудын хоорондох мөргөлдөөний тоог тодорхойлдог.
(4) Буулгах. Кино давхаргын зузааныг шаардлагад нийцүүлэн тохируулсны дараа ууршуулах эх үүсвэрийг хаалтаар таглаж, халаалтыг зогсооно. Гэхдээ агаарыг шууд чиглүүлж болохгүй. Хэрэв вакуум нөхцөлд хөргөж, бүрхүүл үүсэхээс сэргийлж, үлдэгдэл бүрхүүлийн материал болон эсэргүүцэл үүсэхээс сэргийлж, ууршуулах эх үүсвэрийг исэлдүүлж, дараа нь шахах ажиллагааг зогсоож, дараа нь хийлж, вакуум камерыг нээж, суурь материалыг гаргаж авна.

-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэлГуандун Жэнхуа