A. Меъёри баланди пошидан. Масалан, ҳангоми пошидани SiO2, суръати таҳшиншавӣ метавонад то 200 нм/дақ, одатан то 10 ~ 100 нм/дақ бошад. Ва суръати ташаккули филм мустақиман ба қувваи басомади баланд мутаносиб аст. B. Дар часпак байни филм ва субстрат бузургтар аз vap vacuum аст...