Ho roala ka PVD ke e 'ngoe ea mahlale a mantlha a ho lokisa lisebelisoa tse tšesaane tsa filimi
Lera la filimi le etsa hore bokaholimo ba sehlahisoa bo be le sebopeho sa tšepe le 'mala o motle, bo ntlafatsa ho hanyetsa ho roala le ho hanyetsa kutu, le ho lelefatsa bophelo ba ts'ebeletso.
Ho fafatsa le mouoane oa vacuum ke mekhoa e 'meli e meholo ea ho roala ea PVD.
1, Tlhaloso
Mouoane oa 'mele ke mofuta oa mokhoa oa ho holisa karabelo ea 'mele.Ts'ebetso ea deposition e etsoa tlas'a vacuum kapa maemo a tlase a khatello ea khase, ke hore, ka plasma ea mocheso o tlase.
Mohloli oa thepa ea ho roala ke thepa e tiileng.Ka mor'a "evaporation kapa sputtering", seaparo se secha se tiileng se fapaneng ka ho feletseng le ts'ebetso ea lisebelisoa tsa motheo se hlahisoa holim'a karolo.
2. Ts'ebetso ea mantlha ea ho roala PVD
1. Ho tsoa ha likaroloana tse tsoang lihlahisoa tse tala (ka mouoane, sublimation, sputtering le decomposition);
2. Likaroloana li isoa substrate (likaroloana li thulana, e leng se fellang ka ionization, recombination, reaction, matla a ho fapanyetsana le phetoho ea tataiso ea motsamao);
3. Likaroloana li kopanya, li nucleate, li hōla 'me li etsa filimi holim'a substrate.
Nako ea poso: Jan-31-2023