ថ្នាំកូត PVD គឺជាបច្ចេកវិទ្យាសំខាន់មួយសម្រាប់រៀបចំសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើង
ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តផ្តល់ឱ្យផ្ទៃផលិតផលជាមួយនឹងវាយនភាពលោហៈ និងពណ៌សម្បូរបែប ធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពធន់នឹងការពាក់ និងធន់នឹងច្រេះ និងពន្យារអាយុសេវាកម្ម។
Sputtering និងការហួតដោយសុញ្ញកាសគឺជាវិធីសាស្រ្តសំខាន់ពីរនៃថ្នាំកូត PVD ។
1. និយមន័យ
ការទម្លាក់ចំហាយរាងកាយគឺជាប្រភេទនៃវិធីសាស្ត្រលូតលាស់នៃប្រតិកម្មចំហាយរាងកាយ។ដំណើរការប្លាស្មាត្រូវបានអនុវត្តក្រោមលក្ខខណ្ឌនៃការបង្ហូរឧស្ម័នដោយខ្វះចន្លោះ ឬសម្ពាធទាប ពោលគឺនៅក្នុងប្លាស្មាសីតុណ្ហភាពទាប។
ប្រភពសម្ភារៈនៃថ្នាំកូតគឺជាសម្ភារៈរឹង។បន្ទាប់ពី "ការហួត ឬហៀរទឹកចេញ" ថ្នាំកូតសម្ភារៈរឹងថ្មីមួយដែលខុសគ្នាទាំងស្រុងពីដំណើរការសម្ភារៈមូលដ្ឋានត្រូវបានបង្កើតនៅលើផ្ទៃនៃផ្នែក។
2, ដំណើរការជាមូលដ្ឋាននៃថ្នាំកូត PVD
1. ការបំភាយភាគល្អិតចេញពីវត្ថុធាតុដើម (តាមរយៈការហួត, sublimation, sputtering និង decomposition);
2. ភាគល្អិតត្រូវបានដឹកជញ្ជូនទៅកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោម (ភាគល្អិតប៉ះទង្គិចគ្នាទៅវិញទៅមក បណ្តាលឱ្យមានអ៊ីយ៉ូដ ការផ្សំឡើងវិញ ប្រតិកម្ម ការផ្លាស់ប្តូរថាមពល និងការផ្លាស់ប្តូរទិសដៅចលនា);
3. ភាគល្អិតបង្រួម, nucleate, លូតលាស់ និងបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី៣១ ខែមករា ឆ្នាំ២០២៣