Tlhahisong ea sejoale-joale, lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum li fetohile letlotlo la bohlokoa bakeng sa liindasteri tse kang lisebelisoa tsa elektroniki, optics, likoloi, li-semiconductors le matla a letsatsi. Ka tsoelo-pele e tsoelang pele ea theknoloji, mefuta e fapaneng ea lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum e bontša mekhoa e fapaneng melaong ea ts'ebetso, masimo a ts'ebeliso le litlhoko tsa ts'ebetso. Joale, mefuta e tloaelehileng ea lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum ke efe, 'me ke maemo afe a loketseng? Sengoloa sena se fana ka tlhahlobo e qaqileng ea karohano le boholo ba ts'ebeliso ea lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum, hammoho le tlhaloso e khutšoanyane ea melao-motheo ea tsona, ho u thusa ho etsa khetho ea mahlale haholoanyane ho khetheng litsamaiso tsa ho koahela.
Nomoro ea 1 Melao-motheo ea Motheo ea Sekoahelo sa lephaka
Ho koahela ka vacuum ho bolela ts'ebetso ea ho fetola thepa hore e be mouoane kapa maemo a plasma ka mekhoa ea 'mele kapa ea lik'hemik'hale tikolohong e nang le vacuum e ngata le ho e beha holim'a libaka tsa substrate ho etsa lifilimi tse tšesaane. Melemo ea eona ea mantlha e kenyelletsa likarolo tse teteaneng tsa filimi, ho khomarela ho matla, bohloeki bo phahameng, le ho lumellana le mekhoa e fapaneng ea phekolo ea bokaholimo ba thepa.
Ho koahela ka vacuum ho arotsoe haholo-holo ka mekhahlelo e 'meli: Ho tlosoa ha mouoane ka mokhoa oa 'mele (PVD) le ho tlosoa ha mouoane ka lik'hemik'hale (CVD), 'me lisebelisoa tse itseng li arotsoe ka mokhoa o itseng ho latela mekhoa ea ts'ebetso.
Lihlopha tse 2 tse ka Sehloohong tsa Lisebelisoa tsa ho Koahela ka Vacuum
Sistimi ea ho Mouoane oa Thermal
Molao-motheo: E sebelisa mocheso o thibelang ho futhumatsa ho etsa hore thepa ea mouoane e be karolo ea khase, ebe e kopana holim'a substrate ho etsa filimi.
Sebaka sa Tšebeliso: Liaparo tse khabisitsoeng, lifilimi tsa optical, lifilimi tse bonahatsang tsa tšepe, jj., tse loketseng haholo-holo lintho tse kang polasetiki le khalase.
Likarolo: Sebopeho se bonolo, theko e tlase, se loketse tlhahiso ea bongata lits'ebetsong moo ho nepahala ha botenya ba filimi ho seng bohlokoa.
Sistimi ea ho mouoane ea E-beam
Molao-motheo: Mahlasedi a dielektrone a matla a mangata a hlasela thepa e rerilweng, e leng se bakang ho qhibiliha le ho fetoha mouoane sebakeng seo, ebe e dula hodima bokaholimo ba substrate.
Sekgahla sa Tshebediso: Ho kwahela thepa e nang le ntlha e phahameng ya ho qhibiliha (mohlala, Ti, W, SiO₂), e sebediswang haholo ho di-optics tse nepahetseng, ditsamaisong tsa difilimi tse nang le mekhahlelo e mengata, le difiliming tse tshesane tse sebetsang.
Likarolo: Bokgoni bo phahameng ba ho fetoha mouoane, tšebeliso e phahameng ea thepa, le bohloeki bo botle ba filimi.
Sistimi ea ho Hlakola ea Magnetron
Molao-motheo: Li-ion tse ka har'a plasma li hlasela thepa e reriloeng, e leng se etsang hore liathomo li "tšoaetsoe" holim'a substrate boemong ba athomo.
Sebaka sa Tšebeliso: Liaparo tse thata (mohlala, TiN, CrN), lifilimi tsa semiconductor, liphanele tsa ho ama, lifilimi tse tšesaane tsa letsatsi, jj.
Likarolo: Mealo e tšoanang ea lifilimi, ho khomarela ho matla, ho laola habonolo, ho loketse libaka tse kholo le tse rarahaneng tsa mosebetsi.
Sistimi ea CVD
Molao-motheo: Likhase tse arabelang li etsa liketso tsa lik'hemik'hale mochesong o phahameng, li hlahisa lihlahisoa tsa ho boloka holim'a substrate.
Sebaka sa Ts'ebeliso: Ho lokisa lifilimi tse sebetsang bakeng sa lisebelisoa tsa semiconductor, silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si₃N₄), jj.
Likarolo: E fihlella ho tšoana ho hoholo, ho ba le sekgahla se phahameng, le ho koaheloa ka sebopeho se rarahaneng, e loketse lits'ebetso tse nepahetseng haholo.
Sistimi ea CVD e Ntlafalitsoeng ke Plasma (PECVD)
Molao-motheo: E hlahisa plasma ea RF ho tsosa likhase tse arabelang, e etsa lifilimi tse tšesaane mochesong o tlase.
Sebaka sa Kopo: Li-OLED, lisele tsa letsatsi, MEMS, liaparo tsa faeba ea optical, jj.
Likarolo: Ts'ebetso ea mocheso o tlase, tšireletso e ntle ea mehato, e loketse lisebelisoa tse utloang mocheso haholo.
Tjhe. 3 Mokhoa oa ho Khetha Lisebelisoa tse Nepahetseng tsa ho Koahela ka Vacuum?
Ha o khetha lisebelisoa tsa ho roala ka vacuum, lintlha tse latelang li lokela ho nahanoa ka botlalo:
Mofuta le Sebopeho sa Substrate: mohlala, tšepe, khalase, polasetiki, kapa meaho e rarahaneng ea jeometri.
Litlhoko tsa Mosebetsi oa Filimi: Hore na ho hlokahala ho ba thata haholo, ho bonahatsa khanya haholo, ho tsamaisa khanya, kapa ts'ebetso ea mahlo.
Sekala sa Tlhahiso le Tekanyetso: Tlhahiso e iketsang ka bongata bo boholo khahlanong le ho penta ka nepo ha sehlopha se senyenyane.
Ho Tsamaellana ha Ts'ebetso: Hore na ho kopanngoa le mela e teng ea tlhahiso kapa ho katolosoa nakong e tlang hoa hlokahala.
Mefuta e fapaneng ea lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum e na le lintlha tse ikhethang melao-motheong ea ts'ebetso, thepa e sebetsang, le liindasteri tse reriloeng. Ka ho fumana kutloisiso e tebileng ea litšobotsi tsa tekheniki le libaka tsa ts'ebeliso ea sistimi ka 'ngoe, lik'hamphani li ka ntlafatsa katleho ea tlhahiso le tlholisano ea' maraka ha li ntse li netefatsa boleng. Ka nts'etsopele e tsoelang pele ea tlhahiso ea maemo a holimo, lisebelisoa tsa ho koahela ka vacuum li tla tsoela pele ho fetoha ho ea ho nepahalo e phahameng, bohlale le ts'ebetso e mengata, e be sesebelisoa sa bohlokoa bakeng sa ntlafatso ea indasteri.
—Sengoloa sena se phatlalalitsoe ke lisebelisoa tsa ho roala ka vacuummoetsi oa Zhenhua Vacuum
Nako ea poso: Phupu-19-2025