Wax soo saarka casriga ah, qalabka dahaarka faakuumka ayaa noqday hanti muhiim ah oo lagama maarmaan u ah warshadaha sida elektarooniga, indhaha, baabuurta, semiconductors, iyo tamarta qorraxda. Iyada oo la horumarinayo tignoolajiyada joogtada ah, noocyada kala duwan ee qalabka dahaarka faakuumka waxay muujiyaan isbeddello kala duwan oo ku yimaada mabaadi'da habka, goobaha codsiga, iyo shuruudaha waxqabadka. Haddaba, waa maxay noocyada caadiga ah ee qalabka dahaarka faakuumka, iyo xaalado noocee ah ayay ku habboon yihiin? Maqaalkani wuxuu bixinayaa falanqayn faahfaahsan oo ku saabsan kala soocidda iyo baaxadda codsiga ee qalabka dahaarka faakuumka, oo ay weheliso sharraxaad kooban oo ku saabsan mabaadi'dooda, si uu kaaga caawiyo inaad sameyso doorasho cilmiyeysan oo ku saabsan xulashada nidaamyada dahaarka.
Mabaadi'da Aasaasiga ah ee Lambarka 1aad Dahaarka faakuumka
Dahaarka faakuumka waxaa loola jeedaa habka loo beddelo walxaha xaalad uumi ama balaasma ah iyada oo loo marayo habab jireed ama kiimiko ah oo ku jira jawi faakuum sare leh oo lagu shubo dusha sare si loo sameeyo filimaan khafiif ah. Faa'iidooyinkeeda ugu muhiimsan waxaa ka mid ah lakabyada filimka cufan, dhejiska xooggan, daahirnimada sare, iyo la jaanqaadka daaweynta dusha sare ee walxaha kala duwan.
Dahaarka faakuumka waxaa inta badan loo qaybiyaa laba qaybood: Dhigista Uumiga Jirka (PVD) iyo Dhigista Uumiga Kiimikada (CVD), iyadoo qalab gaar ah si dheeraad ah loogu kala saaray iyadoo lagu saleynayo hababka habka.
Kala-soocidda Ugu Muhiimsan ee Qalabka Dahaadhka Faakuumka
Nidaamka Uumiga Kulaylka
Mabda': Wuxuu adeegsadaa kuleyl iska caabin ah si uu u nuugo walxaha uumiga una beddelo marxalad gaas ah, taas oo markaa ku ururta dusha sare ee substrate-ka si ay u sameyso filim.
Baaxadda Codsiga: Dahaarka qurxinta, filimada indhaha, filimada milicsiga birta ah, iwm., gaar ahaan ku habboon walxaha sida balaastikada iyo galaaska.
Astaamaha: Qaab-dhismeed fudud, kharash yar, oo ku habboon wax soo saarka ballaaran ee codsiyada halkaas oo saxnaanta dhumucda filimka sare aysan muhiim ahayn.
Nidaamka Uumiga E-beam
Mabda': Falaadhaha elektarooniga ah ee tamarta sare leh ayaa duqeeya walxaha la beegsanayo, taasoo keenta dhalaalid iyo uumi-bax deegaan ah, kaas oo markaa ku shubma dusha sare ee substrate-ka.
Baaxadda Codsiga: Dahaarka agabka dhalaalka sare leh (tusaale ahaan, Ti, W, SiO₂), oo si ballaaran loogu isticmaalo muraayadaha indhaha ee saxda ah, nidaamyada filimada lakabka badan leh, iyo filimada khafiifka ah ee shaqeynaya.
Astaamaha: Hufnaan uumi-baxa oo sareysa, isticmaalka agabka oo sareeya, iyo daahirnimo filim oo aad u fiican.
Nidaamka Buufinta Magnetron
Mabda': Aayooyinka ku jira balaasmaha ayaa duqeeya walxaha la beegsanayo, taasoo keenta in atamka "lagu shubo" substrate-ka heer atom ah.
Baaxadda Codsiga: Dahaarka adag (tusaale ahaan, TiN, CrN), filimada semiconductor-ka, muraayadaha taabashada, filimada khafiifka ah ee qorraxda, iwm.
Astaamaha: Lakabyo filim oo isku mid ah, dhejis adag, xakameyn sare, oo ku habboon shaqooyinka baaxadda leh iyo kuwa qaabaysan ee isku dhafan.
Nidaamka CVD
Mabda': Gaasaska fal-celinta leh waxay maraan fal-celin kiimiko ah heerkul sare, iyagoo soo saara badeecooyin dhigista dusha sare ee dhulka.
Baaxadda Codsiga: Diyaarinta filimada shaqeynaya ee aaladaha semiconductor-ka, silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si₃N₄), iwm.
Astaamaha: Waxay gaartaa isku midnimo sare, cufnaan sare, iyo dahaadh qaabaysan oo adag, oo ku habboon codsiyada saxnaanta sare leh.
Nidaamka CVD-ga ee La Kordhiyay Balaasmaha (PECVD)
Mabda': Waxay soo bandhigtaa balaasmaha RF si ay u kiciso gaasaska falgalka ah, iyadoo sameysa filimaan khafiif ah heerkul hoose.
Baaxadda Codsiga: OLEDs, unugyada qorraxda, MEMS, dahaarka fiber-ka indhaha, iwm.
Astaamaha: Habka heerkulka hooseeya, daboolida tallaabada oo aad u fiican, oo ku habboon agabka xasaasiga u ah kulaylka.
No.3 Sidee loo Xushaa Qalabka Dahaadhka Faakuumka ee Saxda ah?
Marka la dooranayo qalabka dahaarka faakuumka, arrimaha soo socda waa in si buuxda loo tixgeliyaa:
Nooca iyo Qaabka Substrate-ka: tusaale ahaan, qaab-dhismeedyada joomatari ee isku dhafan sida birta, galaaska, balaastikada, ama qaab-dhismeedka joomatari ee isku dhafan.
Shuruudaha Shaqada Filimka: Haddii ay adag tahay, iftiimin sare, gudbin, ama waxqabad indho-indheyn ah ayaa loo baahan yahay.
Miisaaniyadda iyo Miisaaniyadda Wax-soo-saarka: Wax-soo-saar otomaatig ah oo baaxad weyn leh iyo dahaarka saxda ah ee dufcad yar.
Iswaafajinta Habka: Haddii loo baahan yahay isku-darka khadadka wax soo saarka ee jira ama ballaarinta mustaqbalka.
Noocyada kala duwan ee qalabka dahaarka faakuumka waxay leeyihiin xoogag gaar ah oo ku saabsan mabaadi'da habka, agabka khuseeya, iyo warshadaha bartilmaameedka ah. Iyagoo helaya faham qoto dheer oo ku saabsan astaamaha farsamada iyo baaxadda codsiga ee nidaam kasta, shirkaduhu waxay kor u qaadi karaan hufnaanta wax soo saarka iyo tartanka suuqa iyagoo hubinaya tayada. Iyada oo la horumarinayo si joogto ah oo wax soo saar heer sare ah, qalabka dahaarka faakuumka ayaa sii wadi doona inuu u gudbo saxnaanta sare, sirdoonka, iyo shaqada badan, taasoo noqonaysa suurtogal muhiim ah oo loogu talagalay casriyeynta warshadaha.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Luulyo-19-2025