Mukugadzirwa kwemazuva ano, michina yekuputira vacuum yave chinhu chakakosha mumaindasitiri akadai semagetsi, optics, mota, semiconductors, uye simba rezuva. Nekufambira mberi kwetekinoroji, mhando dzakasiyana dzemidziyo yekuputira vacuum dzinoratidza mafambiro akasiyana-siyana mumisimboti yekushanda, minda yekushandisa, uye zvinodiwa pakushanda. Saka, ndeapi marudzi akajairika emidziyo yekuputira vacuum, uye ndeapi mamiriro akakodzera? Chinyorwa chino chinopa ongororo yakadzama yemhando uye huwandu hwekushandiswa kwemidziyo yekuputira vacuum, pamwe chete netsananguro pfupi yemisimboti yavo, kuti ikubatsire kuita sarudzo yesainzi pakusarudza masisitimu ekuputira.
Nhamba 1 Nheyo Dzekutanga dze Kuputira Vacuum
Kuputira vacuum zvinoreva maitiro ekushandura zvinhu kuita utsi kana plasma kuburikidza nenzira dzepanyama kana dzemakemikari munzvimbo ine vacuum yakawanda uye kuzviisa pamusoro pe substrate kuti zvigadzire mafirimu matete. Zvakanakira zvikuru zvinosanganisira zvidimbu zvemafirimu akakora, kunamira kwakasimba, kuchena kwakanyanya, uye kuenderana nekurapa kwakasiyana-siyana kwezvinhu pamusoro.
Kuputira vacuum kwakakamurwa kuita zvikamu zviviri: Kuisa Vapor Deposition (PVD) uye Kuisa Vapor Deposition (CVD), nemidziyo chaiyo yakarongwa zvichienderana nenzira dzekuita.
Nhamba 2 Magadzirirwo Makuru eMidziyo Yekuputira Vacuum
Sisitimu yeKupisa Kwemvura
Nheyo: Inoshandisa kupisa kunodzivirira kupisa kuti iite kuti zvinhu zvinobuda mumhepo zvive gasi, izvo zvinozobatana pamusoro pe substrate kuti zviite firimu.
Mashandisirwo: Mapendi ekushongedza, mafirimu ekuona, mafirimu esimbi anoratidzira, nezvimwewo, akakodzera zvakanyanya zvinhu zvakaita sepurasitiki negirazi.
Zvinhu: Chimiro chiri nyore, mutengo wakaderera, chakakodzera kugadzirwa kwemazhinji mumashandisirwo ayo ukobvu hwefirimu hwakanyanya husina kukosha.
Sisitimu yeE-beam Evaporation
Nheyo: Matanda emaerekitironi ane simba guru anoputira chinhu chaanoda, zvichikonzera kunyunguduka kwenzvimbo yacho uye kupwanyika kwemvura, izvo zvinozosara pamusoro pevhu.
Kushandiswa Kwazvo: Kuputira zvinhu zvine nzvimbo yekunyunguduka kwepamusoro (semuenzaniso, Ti, W, SiO₂), zvinoshandiswa zvakanyanya mukuona magirazi akajeka, masisitimu emafirimu ane layer yakawanda, uye mafirimu matete anoshanda.
Zvinhu: Kushanda nesimba kwemvura yakawanda, kushandiswa kwezvinhu zvakawanda, uye kuchena kwemafirimu kwakanaka.
Sisitimu yeMagnetron Sputtering
Nheyo: MaIon ari muplasma anoputira chinhu chinonangwa, zvichiita kuti maatomu "adururwe" pachikamu chepasi cheatomu.
Mashandisirwo: Mapendi akaomarara (semuenzaniso, TiN, CrN), mafirimu e semiconductor, mapaneru ekubata, mafirimu ezuva akatetepa, nezvimwewo.
Zvinhu: Mafirimu akafanana, akasimba, anokwanisa kudzorwa zvakanyanya, akakodzera nzvimbo huru uye dzakaomarara dzebasa.
Sisitimu yeCVD
Musimboti: Magasi anokonzera kushushikana anosangana nemakemikari pakupisa kwakanyanya, zvichigadzira zvinhu zvinoisa zvinhu pamusoro pevhu.
Mashandisirwo: Kugadzirira mafirimu anoshanda emidziyo ye semiconductor, silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si₃N₄), nezvimwewo.
Zvimiro: Inoita kuti ive yakafanana zvakanyanya, ine huwandu hwakawanda, uye ine chimiro chakaoma, yakakodzera kushandiswa nemazvo.
Sisitimu yeCVD (PECVD) Inowedzerwa nePlasma
Nheyo: Inounza RF plasma kuti ikurumidzire magasi anochinja-chinja, zvichiita mafirimu matete patembiricha yakaderera.
Mashandisirwo Ekushandisa: OLEDs, masero ezuva, MEMS, machira e optical fiber, nezvimwewo.
Zvinhu Zviripo: Maitiro ekupisa kushoma, kufukidza nhanho kwakanaka, kwakakodzera zvinhu zvinonzwa kupisa zvakanyanya.
Nhamba 3 Ungasarudza Sei Midziyo Yakakodzera Yekuputira Vacuum?
Pakusarudza michina yekuputira vacuum, zvinhu zvinotevera zvinofanirwa kutariswa zvizere:
Rudzi rweSubstrate uye Maumbirwo: semuenzaniso, simbi, girazi, purasitiki, kana maumbirwo akaomarara ejometri.
Zvinodiwa Pakushanda Kwemafirimu: Ingava kuomarara kwakanyanya, kupenya kwakanyanya, kutenderera kwemhepo, kana kushanda kwemaziso kunodiwa.
Chiyero Chekugadzira uye Bhajeti: Kugadzira otomatiki kwakakura zvichienzaniswa nekuputira kwakanyatsojeka kwechikamu chidiki.
Kuenderana Kwemaitiro: Kungave kubatanidzwa nemitsetse yekugadzira iripo kana kuti kuwedzera mune ramangwana kunodiwa.
Mhando dzakasiyana dzemidziyo yekuputira vacuum dzine kusimbiswa kwakasiyana mumisimboti yekushanda, zvinhu zvinoshanda, uye maindasitiri anotarisirwa. Nekuwana kunzwisisa kwakadzama kwehunhu hwehunyanzvi uye mashandisirwo ehurongwa hwega hwega, makambani anogona kuwedzera kushanda zvakanaka kwekugadzira uye kukwikwidzana kwemusika uku achivimbisa mhando. Nekuvandudzwa kuri kuramba kuchiitwa kwekugadzira kwepamusoro-soro, michina yekuputira vacuum icharamba ichishanduka ichienda pakunyatsojeka, njere, uye mashandiro akawanda, ichiva chinhu chakakosha pakuvandudza maindasitiri.
—Nyaya iyi yakaburitswa na midziyo yekunamira ye vacuummugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Chikunguru-19-2025