N'imepụta ihe ọgbara ọhụrụ, akụrụngwa mkpuchi ikuku aghọwo ihe dị mkpa maka ụlọ ọrụ dịka eletrọnịkị, optics, ụgbọ ala, semiconductors, na ike anyanwụ. Site na ọganihu teknụzụ na-aga n'ihu, ụdị ngwa mkpuchi ikuku dị iche iche na-egosipụta ụdị dị iche iche na ụkpụrụ usoro, ubi ngwa, na ihe achọrọ maka arụmọrụ. Yabụ, kedu ụdị ngwa mkpuchi ikuku nkịtị, na ihe ndị dị aṅaa ka ha dabara adaba maka ya? Isiokwu a na-enye nyocha zuru ezu nke nhazi na oke ngwa nke ngwa mkpuchi ikuku, yana nkọwa dị mkpirikpi nke ụkpụrụ ha, iji nyere gị aka ime nhọrọ sayensị karịa na ịhọrọ sistemụ mkpuchi.
Nke 1 Ụkpụrụ Ndị Dị Mkpa nke Mkpuchi Uzuzu
Mkpuchi uzuoku na-ezo aka n'usoro nke ịgbanwe ihe ka ọ bụrụ uzuoku ma ọ bụ ọnọdụ plasma site na usoro anụ ahụ ma ọ bụ kemịkalụ n'ime gburugburu ebe ikuku dị elu ma tinye ha n'elu ihe ndị dị n'okpuru ala iji mepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị. Uru ya bụ isi gụnyere akwa ihe nkiri dị oke arọ, njikọta siri ike, ịdị ọcha dị elu, na ndakọrịta na ọgwụgwọ dị iche iche nke ihe.
A na-ekewa mkpuchi ikuku n'ime ụdị abụọ: Ndepụta Uzuoku Anụ Ahụ (PVD) na Ndepụta Uzuoku Kemịkalụ (CVD), yana akụrụngwa pụrụ iche dabere na usoro usoro.
Nkeji nke 2 Isi Nhazi nke Ngwa Mkpuchi Uzuzu
Sistemụ Mmiri Okpomọkụ
Ụkpụrụ: Ọ na-eji ikpo ọkụ na-eguzogide ọgwụ eme ka ihe na-amịpụta mmiri dị elu ka ọ bụrụ nke gas, nke na-agbakọta n'elu ihe ndị dị n'elu ala wee mepụta ihe nkiri.
Oke Ngwa: Ihe mkpuchi ịchọ mma, ihe nkiri anya, ihe nkiri na-egosipụta ọla, wdg, nke dabara adaba karịsịa maka ihe ndị dị n'elu ala dịka plastik na iko.
Atụmatụ: Nhazi dị mfe, ọnụ ala dị ala, dabara adaba maka mmepụta oke n'ime ngwa ebe oke ọkpụrụkpụ fim adịghị oke mkpa.
Sistemụ Mmiri E-beam
Ụkpụrụ: Ìhè elektrọn dị elu na-agbawa ihe a chọrọ, na-eme ka agbaze ma na-ekupụ mmiri n'ebe dị iche iche, nke na-abanyekwa n'elu ihe ndị dị n'okpuru ala.
Oke Ngwa: Mkpuchi nke ihe ndị na-agbaze agbaze dị elu (dịka ọmụmaatụ, Ti, W, SiO₂), nke a na-ejikarị eme ihe na ngwa anya ziri ezi, sistemụ ihe nkiri dị iche iche, na ihe nkiri dị gịrịgịrị na-arụ ọrụ.
Atụmatụ: Ọkwa dị elu nke ikuku na-amịpụta, ojiji ihe dị elu, na ịdị ọcha dị mma nke ihe nkiri.
Sistemụ Mbupu Magnetron
Ụkpụrụ: Ion dị na plasma na-atụba ihe a na-achọ, na-eme ka atọm "gbasaa" n'elu ihe ndị dị n'elu ala ahụ n'ọkwa atọm.
Oke Ngwa: Mkpuchi siri ike (dịka ọmụmaatụ, TiN, CrN), ihe nkiri semiconductor, panel mmetụ aka, ihe nkiri dị gịrịgịrị nke anyanwụ, wdg.
Atụmatụ: Akwa ihe nkiri dị otu, njikọta siri ike, njikwa dị elu, dabara adaba maka ọrụ buru ibu na nke dị mgbagwoju anya.
Sistemụ CVD
Ụkpụrụ: Gas ndị na-emegharị ahụ na-enweta mmeghachi omume kemịkalụ n'oge okpomọkụ dị elu, na-emepụta ngwaahịa ndị e tinyere n'elu ala.
Oke Ngwa: Nkwadebe nke ihe nkiri bara uru maka ngwaọrụ semiconductor, silicon carbide (SiC), silicon nitride (Si₃N₄), wdg.
Atụmatụ: Na-enweta otu ihe dị elu, njupụta dị elu, na mkpuchi dị mgbagwoju anya, nke dabara adaba maka ngwa dị oke nkenke.
Sistemụ CVD (PECVD) Emelitere na Plasma
Ụkpụrụ: Na-ewebata plasma RF iji kpalite gas ndị na-emegharị ahụ, na-emepụta ihe nkiri dị gịrịgịrị na obere okpomọkụ.
Oke Ngwa: OLEDs, mkpụrụ ndụ anyanwụ, MEMS, mkpuchi eriri anya, wdg.
Atụmatụ: Usoro okpomọkụ dị ala, mkpuchi nzọụkwụ dị mma, dabara adaba maka ihe ndị nwere mmetụta okpomọkụ.
Nke 3 Otu esi ahọrọ ngwa mkpuchi ikuku ziri ezi?
Mgbe ị na-ahọrọ akụrụngwa mkpuchi vacuum, a ga-atụle ihe ndị a nke ọma:
Ụdị na Ọdịdị nke ihe e ji mee ihe n'okpuru ala: dịka ọmụmaatụ, ihe owuwu dị mgbagwoju anya dịka ígwè, iko, plastik, ma ọ bụ usoro geometric dị mgbagwoju anya.
Ihe achọrọ maka ọrụ ihe nkiri: Ma ọ dị mkpa ka e nwee ike ịrụ ọrụ nke ọma, ma ọ bụ ịrụ ọrụ nke ọma, ma ọ bụ ịrụ ọrụ nke ọma.
Ọnụọgụ Mmepụta na Mmefu Ego: Mmepụta akpaaka buru ibu na mkpuchi nkenke obere.
Ndakọrịta Usoro: Ma ọ dị mkpa ka e jikọta ya na ahịrị mmepụta dị ugbu a ma ọ bụ ka e nwee ike ịhazi ya n'ọdịnihu.
Ụdị ngwa mkpuchi ihe mkpofu dị iche iche nwere isi ihe dị iche iche na ụkpụrụ usoro, ihe ndị dị mkpa, na ụlọ ọrụ ndị a na-elekwasị anya. Site n'inweta nghọta miri emi nke njirimara teknụzụ na oke ngwa nke sistemụ ọ bụla, ụlọ ọrụ nwere ike ime ka arụmọrụ mmepụta na asọmpi ahịa dịkwuo mma ma na-ahụ na ịdị mma. Site na mmepe na-aga n'ihu nke mmepụta ihe dị elu, akụrụngwa mkpuchi ihe mkpofu ga-aga n'ihu na-agbanwe gaa na nkenke dị elu, ọgụgụ isi, na ọtụtụ ọrụ, na-aghọ ihe dị mkpa maka nkwalite ụlọ ọrụ mmepụta ihe.
—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara ya akụrụngwa mkpuchi agụụonye nrụpụta Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Julaị-19-2025