Орчин үеийн үйлдвэрлэлд вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж нь электроник, оптик, автомашин, хагас дамжуулагч, нарны эрчим хүч зэрэг салбаруудад зайлшгүй шаардлагатай гол хөрөнгө болсон. Технологийн тасралтгүй дэвшлийн хамт янз бүрийн төрлийн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж нь үйл явцын зарчим, хэрэглээний талбар, гүйцэтгэлийн шаардлагын хувьд олон янзын чиг хандлагыг харуулдаг. Тэгэхээр вакуум бүрэх тоног төхөөрөмжийн нийтлэг төрлүүд юу вэ, тэдгээр нь ямар нөхцөлд тохиромжтой вэ? Энэхүү нийтлэлд вакуум бүрэх тоног төхөөрөмжийн ангилал, хэрэглээний цар хүрээний нарийвчилсан дүн шинжилгээ, тэдгээрийн зарчмуудын товч тайлбарыг оруулсан бөгөөд энэ нь бүрэх системийг сонгоход илүү шинжлэх ухааны сонголт хийхэд тань туслах болно.
№1 Үндсэн зарчим Вакуум бүрхүүл
Вакуум бүрхүүл гэдэг нь өндөр вакуум орчинд материалыг физик эсвэл химийн аргаар уур эсвэл плазмын төлөвт хувиргаж, суурь гадаргуу дээр байрлуулж нимгэн хальс үүсгэх үйл явцыг хэлнэ. Үүний гол давуу талууд нь нягт хальсан давхарга, хүчтэй наалдац, өндөр цэвэршилт, янз бүрийн материалын гадаргуугийн боловсруулалттай нийцтэй байдал юм.
Вакуум бүрхүүлийг голчлон Физик уурын тунадас (PVD) болон Химийн уурын тунадас (CVD) гэсэн хоёр ангилалд хуваадаг бөгөөд тодорхой тоног төхөөрөмжийг процессын аргад үндэслэн цаашид ангилдаг.
Вакуум бүрэх төхөөрөмжийн №2 үндсэн ангилал
Дулааны ууршилтын систем
Зарчим: Ууршилтын материалыг хийн фаз руу оруулахын тулд эсэргүүцлийн халаалтыг ашигладаг бөгөөд дараа нь энэ нь субстратын гадаргуу дээр конденсацлагдаж хальс үүсгэдэг.
Хэрэглэх хүрээ: Чимэглэлийн бүрээс, оптик хальс, металл тусгал хальс гэх мэт, ялангуяа хуванцар, шил зэрэг суурь материалд тохиромжтой.
Онцлог шинж чанарууд: Энгийн бүтэцтэй, хямд өртөгтэй, өндөр зузаантай хальсны нарийвчлал чухал биш тохиолдолд олноор үйлдвэрлэхэд тохиромжтой.
Цахим цацрагийн ууршуулах систем
Зарчим: Өндөр энергийн электрон цацраг нь бай материалыг бөмбөгдөж, орон нутгийн хайлалт болон ууршилтыг үүсгэдэг бөгөөд дараа нь суурь гадаргуу дээр хуримтлагддаг.
Хэрэглээний хүрээ: Өндөр хайлах цэгтэй материал (жишээ нь, Ti, W, SiO₂)-г бүрэх, нарийн оптик, олон давхаргат хальсан систем, функциональ нимгэн хальсанд өргөн хэрэглэгддэг.
Онцлог шинж чанарууд: Өндөр ууршилтын үр ашиг, өндөр материалын ашиглалт, маш сайн хальсны цэвэршилт.
Магнетрон цацалтын систем
Зарчим: Плазмын ионууд бай материалыг бөмбөгдөж, атомуудыг субстрат дээр атомын түвшинд "цацахад" хүргэдэг.
Хэрэглээний хүрээ: Хатуу бүрхүүл (жишээ нь, TiN, CrN), хагас дамжуулагч хальс, мэдрэгчтэй хавтан, нарны нимгэн хальс гэх мэт.
Онцлог шинж чанарууд: Жигд хальсан давхарга, хүчтэй наалдамхай, өндөр хяналттай, том талбай болон нарийн төвөгтэй хэлбэртэй ажлын хэсгүүдэд тохиромжтой.
Зүрх судасны систем
Зарчим: Урвалд ордог хий нь өндөр температурт химийн урвалд орж, суурь гадаргуу дээр тунадасжилтын бүтээгдэхүүн үүсгэдэг.
Хэрэглээний хүрээ: Хагас дамжуулагч төхөөрөмж, цахиурын карбид (SiC), цахиурын нитрид (Si₃N₄) гэх мэт функциональ хальс бэлтгэх.
Онцлог шинж чанарууд: Өндөр нягтралтай хэрэглээнд тохиромжтой, өндөр жигд байдал, өндөр нягтралтай, нарийн төвөгтэй бүтэцтэй бүрхүүлийг бий болгодог.
Плазмаар сайжруулсан зүрх судасны систем (PECVD)
Зарчим: Бага температурт нимгэн хальс үүсгэхийн тулд RF плазмыг нэвтрүүлж, урвалд ордог хийг өдөөдөг.
Хэрэглээний хүрээ: OLED, нарны зай, MEMS, шилэн бүрхүүл гэх мэт.
Онцлог шинж чанарууд: Бага температурт боловсруулалт, маш сайн шаталсан бүрхүүл, дулаанд мэдрэмтгий материалд тохиромжтой.
№3 Вакуум бүрэх төхөөрөмжийг хэрхэн зөв сонгох вэ?
Вакуум бүрэх төхөөрөмжийг сонгохдоо дараах хүчин зүйлсийг цогцоор нь авч үзэх хэрэгтэй.
Субстратын төрөл ба хэлбэр: жишээ нь металл, шил, хуванцар эсвэл нарийн төвөгтэй геометрийн бүтэц.
Киноны функциональ шаардлага: Өндөр хатуулаг, өндөр тусгал, цахилгаан дамжуулах чанар эсвэл оптик гүйцэтгэл шаардлагатай эсэх.
Үйлдвэрлэлийн цар хүрээ ба төсөв: Том хэмжээний автоматжуулсан үйлдвэрлэл ба жижиг багцын нарийвчлалтай бүрэлт.
Процессын нийцтэй байдал: Одоо байгаа үйлдвэрлэлийн шугамуудтай нэгтгэх эсвэл ирээдүйд өргөтгөх боломжтой байх шаардлагатай эсэх.
Вакуум бүрэх тоног төхөөрөмжийн янз бүрийн төрлүүд нь үйл явцын зарчим, хэрэглэх материал, зорилтот салбаруудад ялгаатай ач холбогдолтой байдаг. Систем бүрийн техникийн шинж чанар, хэрэглээний цар хүрээг гүнзгий ойлгосноор компаниуд чанарыг баталгаажуулахын зэрэгцээ үйлдвэрлэлийн үр ашиг, зах зээлийн өрсөлдөх чадварыг нэмэгдүүлэх боломжтой. Өндөр зэрэглэлийн үйлдвэрлэлийн тасралтгүй хөгжлөөр вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж нь илүү өндөр нарийвчлал, ухаалаг байдал, олон үйлдэлт байдалд үргэлжлүүлэн хөгжиж, үйлдвэрлэлийн шинэчлэлийн гол хүчин зүйл болох болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмжүйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 7-р сарын 19