Maadaama wax soo saarka casriga ahi uu sii wado inuu u baahdo waxqabad sare qaybaha, gaar ahaan kuwa ka shaqeeya xaaladaha daran sida heerkulka sare, cadaadiska sare, iyo is jiidjiid xooggan, tiknoolajiyada dahaarka ayaa noqotay mid aad muhiim u ah. Adeegsiga dahaarka adag wuxuu door muhiim ah ka ciyaaraa kor u qaadista cimri dhererka qalabka, saxnaanta mishiinka, iyo waxqabadka guud ee wax soo saarka. Tiknoolajiyadda daaweynta dusha sare ee PVD (Physical Upor Deposition) ayaa hormuud ka ah hal-abuurka qaybtan, taasoo horseedda horumarka tikniyoolajiyadda dahaarka.
Lambarka 1aad Waa maxay Habka PVD?
Habka PVD wuxuu ku lug leeyahay isticmaalka hababka jireed si loogu beddelo walxaha dahaarka xaalad adag ama dareere ah xaalad gaas ah, ka dibna lagu shubo dusha sare ee substrate-ka iyada oo loo marayo kaydinta uumiga si loo sameeyo dahaar isku mid ah, adag, oo waara. Marka la barbar dhigo kaydinta uumiga kiimikada dhaqameed (CVD), faa'iidooyinka ugu muhiimsan ee PVD waxay ku jiraan awooddeeda ay ku kaydiso dahaarka heerkul hoose, si sax ah u xakamayso dhumucda dahaarka iyo halabuurka, iyo dabeecaddeeda deegaanka u fiican oo tamarta ku habboon.
Faa'iidooyinka No.2 ee PVD ee Dahaarka Adag
Iyada oo ay ugu wacan tahay faa'iidooyinkeeda gaarka ah, tiknoolajiyada PVD si weyn ayaa loogu aqoonsaday isticmaalka dahaarka adag, gaar ahaan meelaha u baahan adkaanta sare, iska caabinta xirashada aadka u fiican, iyo iska caabinta daxalka oo sareysa. Faa'iidooyinka ugu muhiimsan ee habka PVD waxaa ka mid ah:
1. Adkeysiga iyo iska caabinta xirashada aadka u sarreeya
Dahaarka adag ee PVD wuxuu si weyn u kordhiyaa adkaanta qaybaha. Marka la dhigo agabka sida TiN (Titanium Nitride), TiAlN (Titanium Aluminium Nitride), iyo CrN (Chromium Nitride), adkaanta dahaarka waxay gaari kartaa 25GPa–63GPa ama ka badan. Dahaarkan adag si wax ku ool ah ayuu u hagaajiyaa iska caabbinta xirashada, wuxuu yareeyaa xoqidda dusha sare, wuxuu kordhiyaa iska caabbinta oksaydhka, wuxuuna kordhiyaa cimriga adeegga ee qalabka, caaryada, iyo qaybaha kale.
2. Iska caabin Heerkul Sare oo Aad u Fiican
Dahaarka PVD wuxuu muujiyaa iska caabin heer sare ah, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon qaybaha ay ku dhacaan heerkul aad u daran iyo is jiidjiid badan ama daxal kiimiko ah. Tusaale ahaan, dahaarka TiAlN ma aha oo kaliya inuu bixiyo adkeysi aan caadi ahayn laakiin sidoo kale wuxuu ilaaliyaa xasilloonida qaab-dhismeedka heerkulka sare, taasoo ka dhigaysa mid si weyn loogu isticmaalo qalabka jarista iyo qaababka loogu talagalay codsiyada mashiinka heerkulka sare.
3. Isku-xidhka Hooseeya ee Waxtarka Mashiinka ee Hagaajinta
Dahaarka PVD wuxuu gacan ka geystaa gaaritaanka isku-dhafka is-jiidjiid aad u hooseeya, isagoo yareynaya is-jiidjiid iyo xirashada walxaha, taasoo kor u qaadaysa hufnaanta mashiinka iyo tayada dusha sare. Tani waxay si gaar ah faa'iido ugu leedahay mashiinka saxda ah iyo hababka jarista xawaaraha sare leh.
4. Deegaan ahaan u wanaagsan oo hufan
Marka la barbardhigo farsamooyinka dahaarka dhaqameed, habka PVD uma baahna xaddi badan oo kiimikooyin waxyeello leh, taasoo ka dhigaysa tignoolajiyad deegaanka u fiican. Intaa waxaa dheer, qalabka dahaarka PVD wuxuu ku shaqeeyaa hufnaan sare, taasoo suurtogalinaysa in si degdeg ah loo dhigo si loo daboolo baahiyaha wax soo saarka ee baaxadda weyn.
Lambarka 3aad ee Codsiyada Dahaarka Adag ee PVD
Mashiinnada dahaarka adag ee PVD waxaa si weyn loogu isticmaalaa warshadaha u baahan waxqabadka dusha sare ee sare. Meelaha muhiimka ah ee codsiga waxaa ka mid ah:
1. Qalabka Jarjaridda iyo Qaababka
Qalabka iyo wax soo saarka caaryada, gaar ahaan qalabka jarista ee la kulma heerkulka sare iyo is jiidjiidka, dahaarka PVD wuxuu si weyn u xoojiyaa iska caabbinta xirashada, iska caabbinta daxalka, iyo adkaanta. Dahaarka TiN waxaa badanaa loo isticmaalaa qalabka rogista, jarista shiididda, iyo qodista, halka dahaarka TiAlN si ballaaran loogu isticmaalo codsiyada jarista xawaaraha sare, taasoo si weyn u hagaajinaysa hufnaanta jarista qalabka iyo cimriga adeegga.
2. Qaybaha Gawaarida
Qaybaha matoorada baabuurta sida dhululubada, bistoonada, iyo waalka, dahaarka adag ee PVD wuxuu bixiyaa iska caabin heer sare ah iyo iska caabin xirasho, si wax ku ool ah u yareeya is jiidjiidka, kordhinta cimriga qaybaha, iyo kor u qaadista waxqabadka guud ee gaariga.
4. Hordhaca Qalabka Dahaarka Adag ee Zhenhua FMA0605 PVD
Faa'iidooyinka Qalabka
Shaandheyn hufan oo ah walxaha waaweyn ee arc; Dahaarka Ta-C wuxuu bixiyaa hufnaan sare iyo waxqabad sare labadaba.
Waxay gaartaa adkaansho aad u sarreysa, dahaadh adag oo heerkul sare leh, isku-dhafka is-jiidjiid hooseeya, iyo iska caabin daxaleed oo aad u fiican. Adkaanshaha celceliska wuxuu gaaraa 25GPa–63GPa.
Katoodhku wuxuu qaataa tiknoolajiyad laba-wado ah oo isku daraysa gariirad hore u taagan iyo birlab joogto ah oo is dulsaaran, iyadoo la shaqaynaysa nidaamka qodista ion iyo qalab saddex-geesood ah oo dhinacyo badan leh si loo gaaro dhigaalka hufan.
Waxaa ku qalabaysan qaanso cathodic ah oo dhexroor weyn leh, taas oo hubinaysa sifooyin qaboojin oo aad u fiican xaaladaha hadda jira ee sarreeya. Xawaaraha dhaqdhaqaaqa barta qaansada waa mid degdeg ah, heerka ionization-ku waa sarreeyaa, heerka dhigistana waa mid degdeg ah. Tani waxay suurtogal ka dhigaysaa dhigista dahaarka cufan oo siman oo leh iska caabin oksaydh oo heer sare ah iyo waxqabad heerkul sare leh.
Baaxadda Codsiga:
Qalabku wuxuu dhigi karaa AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, iyo dahaadh kale oo heer sare ah oo u adkaysta heerkulka sare, kuwaas oo si ballaaran loogu isticmaalay qaabab, qalab jarista, feeraha, qaybaha baabuurta, bistoolado, iyo alaabooyin kale.
— Maqaalkan waxaa soo saaray प्रभयोंQalabka dahaarka adag ee PVDFaakiyuum Zhenhua
Waqtiga boostada: Febraayo-20-2025