Goobta tignoolajiyada dhigaalka khafiifka ah ee filimka, xajinta magnetron-ka cylindrical waxay noqotay hab wax ku ool ah oo la taaban karo. Tignoolajiyadan cusubi waxay siisaa cilmi-baarayaasha iyo xirfadlayaasha warshadaha qaab ay ku xareeyaan filimada khafiifka ah oo leh saxnaan gaar ah iyo midnimo. sputtering cylindrical magnetron waxaa si weyn looga isticmaalaa in warshado kala duwan iyo waxa uu wax ka beddelo habka dhigidda filimada khafiif ah.
Silindrical magnetron sputtering, oo sidoo kale loo yaqaano cylindrical magnetron sputtering daahan, waa tignoolajiyada kaydinta uumiga jirka oo isticmaala cathodes magnetron cylindrical. Mabda'a shaqadeeda waxay ku lug leedahay abuurista balasmaha kaas oo ions lagu dedejiyo walxaha la beegsanayo oo laga saaro atamka. Atomyadan ayaa markaa lagu shubaa substrate si ay u sameeyaan filim khafiif ah.
Mid ka mid ah faa'iidooyinka ugu muhiimsan ee cylindrical magnetron sputtering waa awoodda lagu gaaro heerarka dhigaalka sare iyadoo la ilaalinayo tayada filimka heer sare ah. Si ka duwan sida farsamooyinka dhaqameed ee dhaqameed, taas oo inta badan keenta in tayada filimka hoos loo dhigo heerarka sare ee dhigaalka, xajinta magnetron cylindrical waxay hubisaa in sharafta filimka iyo halabuurka la ilaaliyo inta lagu jiro habka dhigista.
Intaa waxaa dheer, naqshadeynta cylindrical ee cathode magnetron waxay u oggolaaneysaa balaasmaha isku midka ah iyo qaybinta magnetic, taas oo kor u qaadeysa isku-duubnaanta filimka. Labbiskani wuxuu muhiim u yahay codsiyada u baahan sifooyinka filimaanta joogtada ah ee dhammaan dusha sare ee substrate-ka. Warshadaha sida muraayadaha, elektiroonigga iyo tamarta qoraxda ayaa si weyn uga faa'iideystey awoodaha horumarsan ee cylindrical magnetron sputtering.
Isticmaalka sputtering magnetron cylindrical ka badan codsiyada dhaqanka. Cilmi-baarayaasha iyo injineerada ayaa si joogto ah u sahaminaya habab cusub oo looga faa'iidaysan karo tignoolajiyadan dhinacyada goynta sida nanotechnology iyo biomedicine. Awoodda si sax ah loo xakameeyo xuduudaha dhigaalka, sida ka kooban gaaska, cadaadiska, iyo awoodda, waxay u oggolaaneysaa abuurista filimo la habeeyey oo leh sifooyin gaar ah oo ku habboon codsiyada gaarka ah.
Soo bandhigida gaasaska fal-celiska ah waxay sii ballaadhinaysaa awoodaha cylindrical magnetron sputtering. Marka la soo bandhigo gaasaska falceliska ah sida nitrogen ama ogsijiinta, isku-dhafka ayaa la dhigi karaa ama isku-dhafka filimada khafiifka ah ee leh sifooyin gaar ah ayaa la soo saari karaa. Tani waxay furaysaa waddooyin cusub oo lagu sahamiyo agabka horumarsan ee leh shaqaynta la xoojiyey, sida iska caabbinta xidhashada oo la roonaaday, adkaanta korodhay ama iska caabbinta daxalka sare.
Intaa waxaa dheer, habka xajinta magnetron ee cylindrical si fudud ayaa loo kordhin karaa, taas oo ka dhigaysa mid ku habboon codsiyada warshadaha ballaaran. Miisaan-qaadkan, oo ay weheliso waxtarkeeda iyo wax-soo-saarkeeda, ayaa horseeday in la kordhiyo qaadashada tignoolajiyadan ee warshadaha u baahan filimada khafiifka ah in la dhigo inta lagu jiro hababka wax soo saarka.
Sida tignoolajiyad kasta oo horumarsan, dadaallada cilmi-baarista ee socda iyo horumarinta ayaa sii wada si kor loogu qaado awoodaha cylindrical magnetron sputtering. Cilmi baadhayaashu waxay ka shaqaynayaan sidii ay u hagaajin lahaayeen halbeegyada habraaca, tayaynta agabka la beegsanayo iyo inay sahamiyaan nashqadaha kale ee cathode si ay u sii wanaajiyaan hufnaanta kaydinta tignoolajiyada iyo guud ahaan waxqabadka.
–Maqaalkan waxa soo saaraysoo saaraha mashiinka daahan vacuumGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Oct-26-2023