I. Pregled
Velika planarna optična prevleka je naprava za enakomerno nanašanje tanke plasti na površino planarnega optičnega elementa. Te plasti se pogosto uporabljajo za izboljšanje delovanja optičnih komponent, kot so odbojnost, prenos, protiodbojnost, antirefleksne funkcije, filtri, zrcala in druge funkcije. Oprema se uporablja predvsem v optični, laserski, zaslonski, komunikacijski, vesoljski in drugih industrijah.
Drugič, osnovno načelo optičnega premaza
Optično nanašanje premaza je tehnika, ki spreminja optične lastnosti optičnega elementa (kot je leča, filter, prizma, optično vlakno, zaslon itd.) z nanašanjem ene ali več plasti materiala (običajno kovine, keramike ali oksida) na njegovo površino. Te plasti premaza so lahko odsevna folija, transmisijska folija, antirefleksna folija itd. Pogoste metode nanašanja premaza so fizično nanašanje s paro (PVD), kemično nanašanje s paro (CVD), naprševanje, nanos z izhlapevanjem in tako naprej.
Tretjič, sestava opreme
Oprema za veliko planarno optično prevleko običajno vključuje naslednje glavne dele:
Komora za nanašanje premaza: To je osrednji del postopka nanašanja premaza in je običajno vakuumska komora. Nanašanje premaza se izvaja z nadzorom vakuuma in atmosfere. Za izboljšanje kakovosti premaza in nadzor debeline filma je potrebno natančno nadzorovati okolje v komori za nanašanje premaza.
Vir izhlapevanja ali vir razprševanja:
Vir izhlapevanja: Material, ki ga je treba nanašati, se segreje do uparjenega stanja, običajno z izhlapevanjem z elektronskim žarkom ali termičnim izhlapevanjem, nato pa se v vakuumu nanese na optični element.
Vir razprševanja: Z udarcem visokoenergijskih ionov na tarčo se atomi ali molekule tarče razpršijo, ki se sčasoma odložijo na optično površino in tvorijo film.
Vrteči se sistem: Optični element je treba med postopkom nanašanja prevleke vrteti, da se zagotovi enakomerna porazdelitev filma po površini. Vrteči se sistem zagotavlja enakomerno debelino filma skozi celoten postopek nanašanja prevleke.
Vakuumski sistem: Vakuumski sistem se uporablja za zagotavljanje nizkotlačnega okolja, običajno s črpalnim sistemom za vakuumiranje komore za nanos, s čimer se zagotovi, da procesa nanosa ne motijo nečistoče v zraku, kar ima za posledico visokokakovosten film.
Merilni in krmilni sistemi: vključno s senzorji za spremljanje debeline filma (kot so senzorji QCM), nadzor temperature, regulacija moči itd., za natančen nadzor postopka nanašanja premaza.
Hladilni sistem: Toplota, ki nastane med postopkom nanašanja premaza, lahko vpliva na kakovost filma in celovitost optičnega elementa, zato je za vzdrževanje stabilnega temperaturnega okolja potreben učinkovit hladilni sistem.
4. Področje uporabe
Proizvodnja optičnih komponent: Oprema za nanašanje premazov se pogosto uporablja pri proizvodnji optičnih komponent, kot so optične leče, mikroskopi, teleskopi in objektivi kamer. Z različnimi vrstami premazov je mogoče optične elemente optimizirati za protiodsevno, antirefleksno, zrcalno odbojno delovanje, filtriranje itd., da se izboljša kakovost slike, svetlost in kontrast.
Tehnologija prikaza: V proizvodnem procesu zaslonov s tekočimi kristali (LCD), organskih svetlečih diod (OLED) in drugih zaslonov se uporablja tehnologija premazov za izboljšanje učinka prikaza, izboljšanje barv, kontrasta in odbojnosti.
Laserska oprema: V proizvodnem procesu laserjev in laserskih optičnih komponent (kot so laserske leče, ogledala itd.) se tehnologija premazovanja uporablja za prilagajanje odbojnih in prenosnih lastnosti laserja, da se zagotovi izhodna energija in kakovost prenosa laserja.
Sončna fotovoltaika: Pri proizvodnji sončnih panelov se za izboljšanje učinkovitosti fotoelektrične pretvorbe uporablja optični premaz. Na primer, nanos plasti antirefleksne folije na površino fotovoltaičnih materialov lahko zmanjša izgubo svetlobe in s tem izboljša delovanje sončnih celic.
Letalstvo: Na področju letalstva in vesolja je treba optične leče, optične senzorje, teleskope in drugo opremo prevleči, da se izboljša njihova odpornost proti sevanju, odpornost na visoke temperature in protiodsevni učinek, da se zagotovi normalno delovanje opreme v zahtevnih okoljih.
Senzorji in instrumenti: Uporabljajo se za izdelavo preciznih instrumentov, infrardečih senzorjev, optičnih senzorjev in druge opreme, premaz pa lahko izboljša njihovo delovanje. Na primer, infrardeči senzorji pogosto potrebujejo poseben filmski premaz, da lahko učinkovito filtrirajo in prepuščajo določene valovne dolžine svetlobe.
V. Tehnološki izzivi in razvojni trendi
Nadzor kakovosti filma: Pri veliki opremi za planarno optično nanašanje je zagotavljanje enakomernosti in konsistence filma tehnični problem. Majhna nihanja temperature, spremembe sestave plina ali nihanja tlaka med postopkom nanašanja lahko vplivajo na kakovost filma.
Tehnologija večplastnega nanašanja premazov: Visokozmogljive optične komponente pogosto zahtevajo večplastne filmske sisteme, oprema za nanašanje premazov pa mora biti sposobna natančno nadzorovati debelino in sestavo materiala vsakega filma, da se doseže želeni optični učinek.
Inteligentno in avtomatizirano: Z napredkom tehnologije bo prihodnja oprema za nanašanje premazov bolj inteligentna in avtomatizirana, sposobna spremljati in prilagajati različne parametre v procesu nanašanja premazov v realnem času, izboljšati učinkovitost proizvodnje in kakovost izdelkov.
Varstvo okolja in varčevanje z energijo: Zaradi strogih zahtev okoljskih predpisov mora oprema za optične premaze zmanjšati porabo energije in emisije škodljivih snovi. Hkrati je razvoj okolju prijaznejših materialov in postopkov premazovanja pomembna smer trenutnih raziskav.
Oprema za neprekinjeno magnetronsko razprševanje optičnih premazov SOM2550
Prednosti opreme:
Visoka stopnja avtomatizacije, velika nosilnost, odlična filmska zmogljivost
Prepustnost vidne svetlobe je do 99 %
Supertrda trdota AR + AF do 9H
Uporaba: V glavnem proizvaja AR/NCVM+DLC+AF, pa tudi inteligentna vzvratna ogledala, zaščitno steklo za avtomobilske zaslone/zaslone na dotik, ultra trde filtre za AR kamere, IR-CUT in druge filtre, prepoznavanje obrazov in druge izdelke.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 24. januar 2025