I. Обзор
Большое планарное оптическое устройство покрытия представляет собой устройство для равномерного нанесения тонкой пленки на поверхность планарного оптического элемента. Эти пленки часто используются для улучшения характеристик оптических компонентов, таких как отражение, передача, антибликовое, антиотражающее, фильтрующее, зеркальное и другие функции. Оборудование в основном используется в оптической, лазерной, дисплейной, коммуникационной, аэрокосмической и других отраслях промышленности.
Во-вторых, основной принцип оптического покрытия
Оптическое покрытие — это метод, который изменяет оптические свойства оптического элемента (например, линзы, фильтра, призмы, оптического волокна, дисплея и т. д.) путем нанесения одного или нескольких слоев материала (обычно металла, керамики или оксида) на его поверхность. Эти слои пленки могут быть отражающей пленкой, пропускающей пленкой, антибликовой пленкой и т. д. Распространенными методами нанесения покрытия являются физическое осаждение из паровой фазы (PVD), химическое осаждение из паровой фазы (CVD), напыление, напыление и т. д.
В-третьих, состав оборудования
Крупногабаритное оборудование для нанесения планарных оптических покрытий обычно включает в себя следующие основные части:
Камера для нанесения покрытия: Это основная часть процесса нанесения покрытия, обычно это вакуумная камера. Нанесение покрытия осуществляется путем управления вакуумом и атмосферой. Для улучшения качества покрытия и контроля толщины пленки необходимо точно контролировать среду в камере для нанесения покрытия.
Источник испарения или источник распыления:
Источник испарения: осаждаемый материал нагревается до испаренного состояния, обычно путем электронно-лучевого или термического испарения, а затем осаждается на оптический элемент в вакууме.
Источник распыления: при воздействии на мишень высокоэнергетических ионов происходит распыление атомов или молекул мишени, которые в конечном итоге осаждаются на оптической поверхности, образуя пленку.
Вращающаяся система: Оптический элемент необходимо вращать во время процесса нанесения покрытия, чтобы обеспечить равномерное распределение пленки по его поверхности. Вращающаяся система обеспечивает постоянную толщину пленки в течение всего процесса нанесения покрытия.
Вакуумная система: Вакуумная система используется для создания среды низкого давления, обычно с помощью насосной системы для вакуумирования камеры нанесения покрытия, гарантируя, что процесс нанесения покрытия не будет нарушен примесями в воздухе, что приводит к получению высококачественной пленки.
Системы измерения и контроля: включая датчики для контроля толщины пленки (например, датчики QCM), контроля температуры, регулирования мощности и т. д. для точного управления процессом нанесения покрытия.
Система охлаждения: Тепло, выделяемое в процессе нанесения покрытия, может повлиять на качество пленки и целостность оптического элемента, поэтому для поддержания стабильной температурной среды необходима эффективная система охлаждения.
4. Область применения
Производство оптических компонентов: Оборудование для нанесения покрытий широко используется в производстве оптических компонентов, таких как оптические линзы, микроскопы, телескопы и объективы камер. Благодаря различным типам покрытий оптические элементы могут быть оптимизированы для антибликового, антиотражательного, зеркального отражения, фильтрации и т. д., чтобы улучшить качество изображения, яркость и контрастность.
Технология производства дисплеев: В процессе производства жидкокристаллических дисплеев (ЖК-дисплеев), органических светодиодов (OLED) и других дисплеев используется технология нанесения покрытий для улучшения эффекта отображения, улучшения цвета, контрастности и антибликовой способности.
Лазерное оборудование: В процессе производства лазеров и лазерных оптических компонентов (таких как лазерные линзы, зеркала и т. д.) технология нанесения покрытий используется для регулировки характеристик отражения и пропускания лазера, чтобы обеспечить выходную мощность и качество передачи лазера.
Солнечная фотоэлектрика: При производстве солнечных панелей оптическое покрытие используется для повышения эффективности фотоэлектрического преобразования. Например, нанесение слоя антибликовой пленки на поверхность фотоэлектрических материалов может уменьшить потерю света, тем самым улучшая производительность солнечных элементов.
Авиакосмическая промышленность: В аэрокосмической отрасли оптические линзы, оптические датчики, телескопы и другое оборудование необходимо покрывать для повышения их радиационной стойкости, стойкости к высоким температурам и антибликового эффекта, чтобы обеспечить нормальную работу оборудования в суровых условиях.
Датчики и приборы: Покрытие, используемое для точных приборов, инфракрасных датчиков, оптических датчиков и другого оборудования, может улучшить их производительность. Например, инфракрасные датчики часто требуют специального пленочного покрытия, чтобы иметь возможность эффективно фильтровать и пропускать определенные длины волн света.
V. Технологические проблемы и тенденции развития
Контроль качества пленки: В крупном оборудовании для нанесения планарного оптического покрытия обеспечение однородности и постоянства пленки является технической проблемой. Небольшие колебания температуры, изменения состава газа или колебания давления во время процесса нанесения покрытия могут повлиять на качество пленки.
Технология многослойного покрытия: для высокопроизводительных оптических компонентов часто требуются многослойные пленочные системы, а оборудование для нанесения покрытий должно иметь возможность точно контролировать толщину и состав материала каждой пленки для достижения желаемого оптического эффекта.
Интеллектуальность и автоматизация: с развитием технологий будущее оборудование для нанесения покрытий станет более интеллектуальным и автоматизированным, способным контролировать и регулировать различные параметры процесса нанесения покрытия в режиме реального времени, повышать эффективность производства и качество продукции.
Защита окружающей среды и энергосбережение: В связи со строгими требованиями экологических норм, оптическое оборудование для нанесения покрытий должно снижать потребление энергии и сокращать выбросы вредных веществ. В то же время разработка более экологически чистых материалов и процессов нанесения покрытий также является важным направлением текущих исследований.
Оборудование для нанесения оптических покрытий методом непрерывного магнетронного распыления SOM2550
Преимущества оборудования:
Высокая степень автоматизации, большая загрузочная способность, отличные характеристики пленки
Пропускание видимого света до 99%
Сверхтвердый AR +AF твердость до 9H
Применение: в основном производит AR/NCVM+DLC+AF, а также интеллектуальные зеркала заднего вида, автомобильные дисплеи/стекла для защиты сенсорных экранов, сверхжесткие фильтры дополненной реальности для камер, IR-CUT и другие фильтры, устройства распознавания лиц и другую продукцию.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 24 января 2025 г.