I. Visão geral
Um dispositivo de revestimento óptico planar grande é um dispositivo para depositar uniformemente uma película fina na superfície de um elemento óptico planar. Esses filmes são frequentemente utilizados para melhorar o desempenho de componentes ópticos, como reflexão, transmissão, antirreflexo, filtro, espelho e outras funções. O equipamento é utilizado principalmente nas indústrias óptica, laser, displays, comunicação, aeroespacial e outras.
Em segundo lugar, o princípio básico do revestimento óptico
O revestimento óptico é uma técnica que altera as propriedades ópticas de um elemento óptico (como uma lente, filtro, prisma, fibra óptica, display, etc.) depositando uma ou mais camadas de material (geralmente metal, cerâmica ou óxido) em sua superfície. Essas camadas de filme podem ser: filme refletivo, filme de transmissão, filme antirreflexo, etc. Os métodos de revestimento comuns são deposição física de vapor (PVD), deposição química de vapor (CVD), deposição por pulverização catódica, revestimento por evaporação, entre outros.
Terceiro, composição do equipamento
Equipamentos de revestimento óptico planar de grande porte geralmente incluem as seguintes partes principais:
Câmara de revestimento: Esta é a parte central do processo de revestimento e geralmente é uma câmara de vácuo. O revestimento é realizado controlando o vácuo e a atmosfera. Para melhorar a qualidade do revestimento e controlar a espessura do filme, é necessário controlar com precisão o ambiente da câmara de revestimento.
Fonte de evaporação ou fonte de pulverização catódica:
Fonte de evaporação: O material a ser depositado é aquecido até um estado vaporizado, geralmente por evaporação por feixe de elétrons ou evaporação térmica, e então depositado no elemento óptico em vácuo.
Fonte de pulverização catódica: Ao impactar o alvo com íons de alta energia, os átomos ou moléculas do alvo são pulverizados, os quais são eventualmente depositados na superfície óptica para formar um filme.
Sistema rotativo: O elemento óptico precisa ser girado durante o processo de revestimento para garantir que o filme seja distribuído uniformemente em sua superfície. O sistema rotativo garante uma espessura de filme consistente durante todo o processo de revestimento.
Sistema de vácuo: O sistema de vácuo é usado para fornecer um ambiente de baixa pressão, geralmente por meio de um sistema de bomba para aspirar a câmara de revestimento, garantindo que o processo de revestimento não seja perturbado por impurezas no ar, resultando em um filme de alta qualidade.
Sistemas de medição e controle: incluindo sensores para monitorar a espessura do filme (como sensores QCM), controle de temperatura, regulação de energia, etc., para controlar com precisão o processo de revestimento.
Sistema de resfriamento: O calor gerado durante o processo de revestimento pode afetar a qualidade do filme e a integridade do elemento óptico, portanto, um sistema de resfriamento eficiente é necessário para manter um ambiente de temperatura estável.
4. Campo de aplicação
Fabricação de componentes ópticos: Equipamentos de revestimento são amplamente utilizados na produção de componentes ópticos, como lentes ópticas, microscópios, telescópios e lentes de câmeras. Por meio de diferentes tipos de revestimentos, os elementos ópticos podem ser otimizados para antirreflexo, antirreflexo, reflexão especular, filtragem, etc., a fim de melhorar a qualidade da imagem, o brilho e o contraste.
Tecnologia de exibição: No processo de produção de telas de cristal líquido (LCD), diodos orgânicos emissores de luz (OLED) e outras telas, a tecnologia de revestimento é usada para melhorar o efeito da tela, realçar a cor, o contraste e a capacidade antirreflexo.
Equipamentos a laser: No processo de fabricação de lasers e componentes ópticos a laser (como lentes a laser, espelhos, etc.), a tecnologia de revestimento é usada para ajustar as características de reflexão e transmissão do laser para garantir a saída de energia e a qualidade de transmissão do laser.
Energia solar fotovoltaica: Na produção de painéis solares, o revestimento óptico é utilizado para melhorar a eficiência da conversão fotoelétrica. Por exemplo, revestir uma camada de filme antirreflexo na superfície de materiais fotovoltaicos pode reduzir a perda de luz, melhorando assim o desempenho das células solares.
Aeroespacial: No campo aeroespacial, lentes ópticas, sensores ópticos, telescópios e outros equipamentos precisam ser revestidos para aumentar sua resistência à radiação, resistência a altas temperaturas e efeito antirreflexo para garantir a operação normal do equipamento em ambientes adversos.
Sensores e instrumentos: Utilizados na fabricação de instrumentos de precisão, sensores infravermelhos, sensores ópticos e outros equipamentos, o revestimento pode melhorar seu desempenho. Por exemplo, sensores infravermelhos geralmente requerem um revestimento de filme específico para conseguir filtrar e transmitir com eficácia comprimentos de onda específicos da luz.
V. Desafios tecnológicos e tendências de desenvolvimento
Controle de qualidade do filme: Em grandes equipamentos de revestimento óptico planar, garantir a uniformidade e a consistência do filme é um problema técnico. Pequenas flutuações de temperatura, alterações na composição do gás ou flutuações de pressão durante o processo de revestimento podem afetar a qualidade do filme.
Tecnologia de revestimento multicamadas: componentes ópticos de alto desempenho geralmente exigem sistemas de filme multicamadas, e o equipamento de revestimento deve ser capaz de controlar com precisão a espessura e a composição do material de cada filme para obter o efeito óptico desejado.
Inteligente e automação: Com o avanço da tecnologia, os futuros equipamentos de revestimento serão mais inteligentes e automatizados, capazes de monitorar e ajustar vários parâmetros no processo de revestimento em tempo real, melhorando a eficiência da produção e a qualidade do produto.
Proteção ambiental e economia de energia: Com os rigorosos requisitos das regulamentações ambientais, os equipamentos de revestimento óptico precisam reduzir o consumo de energia e a emissão de substâncias nocivas. Ao mesmo tempo, o desenvolvimento de materiais e processos de revestimento mais ecológicos também é uma direção importante da pesquisa atual.
Equipamento de revestimento óptico de pulverização catódica contínua de magnetron SOM2550
Vantagens do equipamento:
Alto grau de automação, grande capacidade de carga, excelente desempenho do filme
A transmitância da luz visível é de até 99%
Dureza Superhard AR +AF até 9H
Aplicação: Produz principalmente AR/NCVM+DLC+AF, bem como espelho retrovisor inteligente, vidro de cobertura para tela sensível ao toque/visor de carro, AR ultra-rígido para câmeras, IR-CUT e outros filtros, reconhecimento facial e outros produtos.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua
Horário da publicação: 24/01/2025
