PVD-belegg er en av hovedteknologiene for fremstilling av tynnfilmmaterialer
Filmlaget gir produktoverflaten metalltekstur og rik farge, forbedrer slitestyrken og korrosjonsmotstanden og forlenger levetiden.
Sputtering og vakuumfordampning er de to vanligste PVD-beleggsmetodene.
1. Definisjon
Fysisk dampavsetning er en type fysisk dampreaksjonsvekstmetode. Avsetningsprosessen utføres under vakuum eller lavtrykksgassutladningsforhold, det vil si i lavtemperaturplasma.
Materialkilden til belegget er et fast materiale. Etter «fordampning eller sputtering» dannes et nytt fast materialbelegg på overflaten av delen med en helt annen ytelse enn basismaterialet.
2. Grunnleggende prosess for PVD-belegg
1. Utslipp av partikler fra råmaterialer (gjennom fordampning, sublimering, sputtering og dekomponering);
2. Partiklene transporteres til substratet (partiklene kolliderer med hverandre, noe som resulterer i ionisering, rekombinasjon, reaksjon, energiutveksling og endring av bevegelsesretning);
3. Partiklene kondenserer, danner kjerner, vokser og danner en film på substratet.
Publisert: 31. januar 2023