I. Oversikt
En stor plan optisk beleggsenhet er en enhet for jevn avsetning av en tynn film på overflaten av et plant optisk element. Disse filmene brukes ofte til å forbedre ytelsen til optiske komponenter, for eksempel refleksjon, transmisjon, antirefleksjon, filter, speil og andre funksjoner. Utstyret brukes hovedsakelig innen optikk, laser, display, kommunikasjon, luftfart og andre industrier.
For det andre, det grunnleggende prinsippet for optisk belegg
Optisk belegg er en teknikk som endrer de optiske egenskapene til et optisk element (som en linse, et filter, et prisme, en optisk fiber, en skjerm osv.) ved å avsette ett eller flere lag med materiale (vanligvis metall, keramikk eller oksid) på overflaten. Disse filmlagene kan være reflekterende film, transmisjonsfilm, antirefleksfilm osv. Vanlige beleggmetoder er fysisk dampavsetning (PVD), kjemisk dampavsetning (CVD), sputteravsetning, fordampningsbelegg og så videre.
For det tredje, utstyrets sammensetning
Stort plant optisk beleggsutstyr inkluderer vanligvis følgende hoveddeler:
Belegningskammer: Dette er kjernedelen av belegningsprosessen og er vanligvis et vakuumkammer. Belegning utføres ved å kontrollere vakuum og atmosfære. For å forbedre belegningskvaliteten og kontrollere filmens tykkelse er det nødvendig å kontrollere miljøet i belegningskammeret nøyaktig.
Fordampningskilde eller sputteringskilde:
Fordampningskilde: Materialet som skal avsettes varmes opp til en fordampet tilstand, vanligvis ved elektronstrålefordampning eller termisk fordampning, og avsettes deretter på det optiske elementet i vakuum.
Sputterkilde: Ved å påvirke målet med høyenergiioner, sputteres atomene eller molekylene i målet ut, som til slutt avsettes på den optiske overflaten for å danne en film.
Roterende system: Det optiske elementet må roteres under belegningsprosessen for å sikre at filmen er jevnt fordelt på overflaten. Det roterende systemet sikrer jevn filmtykkelse gjennom hele belegningsprosessen.
Vakuumsystem: Et vakuumsystem brukes til å skape et lavtrykksmiljø, vanligvis gjennom et pumpesystem for å vakuumbeleggskammeret, noe som sikrer at beleggprosessen ikke forstyrres av urenheter i luften, noe som resulterer i en film av høy kvalitet.
Måle- og kontrollsystemer: inkludert sensorer for overvåking av filmtykkelse (som QCM-sensorer), temperaturkontroll, effektregulering osv., for å kontrollere belegningsprosessen presist.
Kjølesystem: Varmen som genereres under belegningsprosessen kan påvirke filmens kvalitet og integriteten til det optiske elementet, så et effektivt kjølesystem er nødvendig for å opprettholde et stabilt temperaturmiljø.
4. Søknadsfelt
Produksjon av optiske komponenter: Beleggutstyr er mye brukt i produksjonen av optiske komponenter som optiske linser, mikroskoper, teleskoper og kameralinser. Gjennom ulike typer belegg kan optiske elementer optimaliseres for antirefleksjon, speilrefleksjon, filtrering osv. for å forbedre bildekvalitet, lysstyrke og kontrast.
Skjermteknologi: I produksjonsprosessen for flytende krystallskjermer (LCD), organiske lysdioder (OLED) og andre skjermer brukes beleggteknologi for å forbedre skjermeffekten, forbedre farge, kontrast og antirefleksjonsevne.
Laserutstyr: I produksjonsprosessen av lasere og laseroptiske komponenter (som laserlinser, speil osv.) brukes beleggteknologi for å justere laserens refleksjons- og transmisjonsegenskaper for å sikre laserens energiutgang og transmisjonskvalitet.
Solcellepaneler: I produksjonen av solcellepaneler brukes optisk belegg for å forbedre den fotoelektriske konverteringseffektiviteten. For eksempel kan det å belegge et lag med antirefleksjonsfilm på overflaten av solcellematerialer redusere lystapet og dermed forbedre ytelsen til solceller.
Luftfart: Innen luftfartsfeltet må optiske linser, optiske sensorer, teleskoper og annet utstyr belegges for å forbedre strålingsmotstanden, høytemperaturmotstanden og antirefleksjonseffekten for å sikre normal drift av utstyr i tøffe miljøer.
Sensorer og instrumenter: Brukes i presisjonsinstrumenter, infrarøde sensorer, optiske sensorer og annen utstyrsproduksjon, og belegg kan forbedre ytelsen deres. For eksempel krever infrarøde sensorer ofte et spesifikt filmbelegg for å effektivt kunne filtrere og passere gjennom spesifikke bølgelengder av lys.
V. Teknologiske utfordringer og utviklingstrender
Filmkvalitetskontroll: I store planare optiske belegningsutstyr er det et teknisk problem å sikre filmens ensartethet og konsistens. Små temperatursvingninger, endringer i gasssammensetningen eller trykksvingninger under belegningsprosessen kan påvirke filmens kvalitet.
Flerlagsbeleggteknologi: Høytytende optiske komponenter krever ofte flerlagsfilmsystemer, og beleggutstyret må kunne kontrollere tykkelsen og materialsammensetningen til hver film nøyaktig for å oppnå ønsket optisk effekt.
Intelligent og automatisering: Med teknologiens fremskritt vil fremtidens belegningsutstyr bli mer intelligent og automatisert, i stand til å overvåke og justere ulike parametere i belegningsprosessen i sanntid, forbedre produksjonseffektiviteten og produktkvaliteten.
Miljøvern og energisparing: Med de strenge kravene i miljøforskrifter må optisk beleggutstyr redusere energiforbruket og utslippet av skadelige stoffer. Samtidig er utviklingen av mer miljøvennlige beleggmaterialer og -prosesser også en viktig retning for dagens forskning.
SOM2550 kontinuerlig magnetronsputtering optisk beleggsutstyr
Fordeler med utstyr:
Høy automatiseringsgrad, stor lastekapasitet, utmerket filmytelse
Gjennomsiktigheten av synlig lys er opptil 99 %
Superhard AR + AF-hardhet opptil 9H
Bruksområde: Produserer hovedsakelig AR/NCVM+DLC+AF, samt intelligent bakspeil, dekselglass til bilskjerm/berøringsskjerm, ultrahard AR-kamera, IR-CUT og andre filtre, ansiktsgjenkjenning og andre produkter.
– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua
Publisert: 24. januar 2025