I. Gambaran Keseluruhan
Peranti salutan optik planar yang besar ialah peranti untuk meletakkan filem nipis secara seragam pada permukaan elemen optik planar. Filem ini sering digunakan untuk meningkatkan prestasi komponen optik, seperti pantulan, penghantaran, anti pantulan, anti pantulan, penapis, cermin dan fungsi lain. Peralatan ini digunakan terutamanya dalam optik, laser, paparan, komunikasi, aeroangkasa dan industri lain.
Kedua, prinsip asas salutan optik
Salutan optik ialah teknik yang mengubah sifat optik unsur optik (seperti kanta, penapis, prisma, gentian optik, paparan, dll.) dengan mendepositkan satu atau lebih lapisan bahan (biasanya logam, seramik atau oksida) pada permukaannya. Lapisan filem ini boleh menjadi filem reflektif, filem penghantaran, filem anti-refleksi, dan lain-lain. Kaedah salutan biasa ialah pemendapan wap fizikal (PVD), pemendapan wap kimia (CVD), pemendapan sputtering, salutan sejatan dan sebagainya.
Ketiga, komposisi peralatan
Peralatan salutan optik planar besar biasanya termasuk bahagian utama berikut:
Ruang salutan: Ini adalah bahagian teras proses salutan dan biasanya kebuk vakum. Salutan dilakukan dengan mengawal vakum dan atmosfera. Untuk meningkatkan kualiti salutan dan mengawal ketebalan filem, adalah perlu untuk mengawal persekitaran ruang salutan dengan tepat.
Sumber penyejatan atau sumber sputtering:
Sumber penyejatan: Bahan yang akan didepositkan dipanaskan kepada keadaan terwap, biasanya melalui penyejatan rasuk elektron atau penyejatan terma, dan kemudian didepositkan ke elemen optik dalam vakum.
Sumber sputtering: Dengan memberi kesan kepada sasaran dengan ion bertenaga tinggi, atom atau molekul sasaran tersembur keluar, yang akhirnya dimendapkan pada permukaan optik untuk membentuk filem.
Sistem berputar: Elemen optik perlu diputar semasa proses salutan untuk memastikan filem diagihkan sama rata pada permukaannya. Sistem berputar memastikan ketebalan filem yang konsisten sepanjang proses salutan.
Sistem vakum: Sistem vakum digunakan untuk menyediakan persekitaran tekanan rendah, biasanya melalui sistem pam untuk mengosongkan ruang salutan, memastikan proses salutan tidak terganggu oleh kekotoran di udara, menghasilkan filem berkualiti tinggi.
Sistem pengukuran dan kawalan: termasuk penderia untuk memantau ketebalan filem (seperti penderia QCM), kawalan suhu, peraturan kuasa, dsb., untuk mengawal proses salutan dengan tepat.
Sistem penyejukan: Haba yang dijana semasa proses salutan boleh menjejaskan kualiti filem dan integriti elemen optik, jadi sistem penyejukan yang cekap diperlukan untuk mengekalkan persekitaran suhu yang stabil.
4. Medan permohonan
Pengilangan komponen optik: Peralatan salutan digunakan secara meluas dalam pengeluaran komponen optik seperti kanta optik, mikroskop, teleskop dan kanta kamera. Melalui pelbagai jenis salutan, unsur optik boleh dioptimumkan untuk anti pantulan, anti pantulan, pantulan spekular, penapisan, dll., untuk meningkatkan kualiti imej, kecerahan dan kontras.
Teknologi paparan: Dalam proses pengeluaran paparan kristal cecair (LCD), diod pemancar cahaya organik (OLED) dan paparan lain, teknologi salutan digunakan untuk meningkatkan kesan paparan, meningkatkan warna, kontras dan keupayaan anti-pantulan.
Peralatan laser: Dalam proses pembuatan laser dan komponen optik laser (seperti kanta laser, cermin, dll.), teknologi salutan digunakan untuk melaraskan ciri pantulan dan penghantaran laser untuk memastikan output tenaga dan kualiti penghantaran laser.
Fotovoltaik solar: Dalam pengeluaran panel solar, salutan optik digunakan untuk meningkatkan kecekapan penukaran fotoelektrik. Sebagai contoh, menyalut lapisan filem anti-pantulan pada permukaan bahan fotovoltaik boleh mengurangkan kehilangan cahaya, dengan itu meningkatkan prestasi sel suria.
Aeroangkasa: Dalam bidang aeroangkasa, kanta optik, penderia optik, teleskop dan peralatan lain perlu disalut untuk meningkatkan rintangan sinaran, rintangan suhu tinggi dan kesan anti pantulan untuk memastikan operasi normal peralatan dalam persekitaran yang keras.
Penderia dan instrumen: Digunakan untuk instrumen ketepatan, penderia inframerah, penderia optik dan pembuatan peralatan lain, salutan boleh meningkatkan prestasinya. Sebagai contoh, penderia inframerah selalunya memerlukan salutan filem tertentu agar dapat menapis dan melepasi panjang gelombang cahaya tertentu dengan berkesan.
V. Cabaran teknologi dan trend pembangunan
Kawalan kualiti filem: Dalam peralatan salutan optik planar besar, memastikan keseragaman dan konsistensi filem adalah masalah teknikal. Turun naik suhu yang kecil, perubahan komposisi gas atau turun naik tekanan semasa proses salutan boleh menjejaskan kualiti filem.
Teknologi salutan berbilang lapisan: Komponen optik berprestasi tinggi selalunya memerlukan sistem filem berbilang lapisan, dan peralatan salutan mesti dapat mengawal ketebalan dan komposisi bahan setiap filem dengan tepat untuk mencapai kesan optik yang diingini.
Pintar dan automasi: Dengan kemajuan teknologi, peralatan salutan masa hadapan akan menjadi lebih pintar dan automatik, dapat memantau dan melaraskan pelbagai parameter dalam proses salutan dalam masa nyata, meningkatkan kecekapan pengeluaran dan kualiti produk.
Perlindungan alam sekitar dan penjimatan tenaga: Dengan keperluan ketat peraturan alam sekitar, peralatan salutan optik perlu mengurangkan penggunaan tenaga dan mengurangkan pelepasan bahan berbahaya. Pada masa yang sama, pembangunan bahan dan proses salutan yang lebih mesra alam juga merupakan hala tuju penting penyelidikan semasa.
SOM2550 magnetron berterusan sputtering peralatan salutan optik
Kelebihan peralatan:
Tahap automasi yang tinggi, kapasiti pemuatan yang besar, prestasi filem yang sangat baik
Transmisi cahaya yang boleh dilihat adalah sehingga 99%
Kekerasan AR +AF superhard sehingga 9H
Aplikasi: Terutamanya menghasilkan AR/NCVM+DLC+AF, serta cermin pandang belakang pintar, kaca penutup skrin paparan/sentuh, kamera AR ultra-keras, IR-CUT dan penapis lain, pengecaman muka dan produk lain.
–Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumGuangdong Zhenhua
Masa siaran: Jan-24-2025