Нимгэн хальс буулгах технологийн салбарт цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацах нь үр ашигтай, олон талт арга болсон. Энэхүү шинэлэг технологи нь судлаачид болон салбарын мэргэжилтнүүдэд нимгэн хальсыг онцгой нарийвчлалтай, жигд байлгах боломжийг олгодог. Цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацах нь янз бүрийн салбарт өргөн хэрэглэгддэг бөгөөд нимгэн хальсан бүрхүүлийн процесст хувьсгал хийж байна.
Цилиндр магнетрон цацах нь цилиндр хэлбэртэй магнетрон катодыг ашигладаг физик уурын хуримтлуулах технологи юм. Түүний ажиллах зарчим нь ионууд нь зорилтот материал руу хурдасч, атомыг нь гадагшлуулдаг плазм үүсгэх явдал юм. Дараа нь эдгээр атомуудыг субстрат дээр байрлуулж, нимгэн хальс үүсгэдэг.
Цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацалтын гол давуу талуудын нэг нь хальсны чанарыг маш сайн хадгалахын зэрэгцээ өндөр тунадасны хурдыг бий болгох чадвар юм. Уламжлалт шүрших аргуудаас ялгаатай нь ихэвчлэн өндөр хуримтлуулах хурдаар хальсны чанарыг бууруулдаг тул цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацах нь хальсны бүрэн бүтэн байдал, найрлагыг хуримтлуулах процессын туршид хадгалдаг.
Нэмж дурдахад магнетрон катодын цилиндр хэлбэртэй загвар нь плазм болон соронзон орныг жигд хуваарилах боломжийг олгодог бөгөөд ингэснээр хальсны жигд байдлыг сайжруулдаг. Энэхүү жигд байдал нь субстратын бүх гадаргуу дээр тогтсон хальсны шинж чанарыг шаарддаг програмуудад чухал ач холбогдолтой юм. Оптик, электроник, нарны эрчим хүч зэрэг салбарууд цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацах дэвшилтэт чадавхиас ихээхэн ашиг тус хүртэж байна.
Цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацалтыг ашиглах нь уламжлалт хэрэглээнээс давж гардаг. Судлаачид, инженерүүд энэхүү технологийг нанотехнологи, биоанагаах ухаан зэрэг дэвшилтэт салбарт ашиглах шинэ арга замыг байнга судалж байна. Хийн найрлага, даралт, хүч зэрэг хуримтлалын параметрүүдийг нарийн хянах чадвар нь тодорхой хэрэглээнд тохирсон, тохируулсан шинж чанар бүхий захиалгат кино бүтээх боломжийг олгодог.
Реактив хийг нэвтрүүлэх нь цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацах чадварыг улам өргөжүүлж байна. Азот, хүчилтөрөгч гэх мэт реактив хийг нэвтрүүлснээр нийлмэл материалыг хуримтлуулах эсвэл өвөрмөц шинж чанартай нимгэн хальсан нийлмэл материалыг гаргаж авах боломжтой. Энэ нь элэгдэлд тэсвэртэй, хатуулаг эсвэл зэврэлтэнд тэсвэртэй гэх мэт сайжруулсан функц бүхий дэвшилтэт материалыг судлах шинэ боломжийг нээж өгдөг.
Цаашилбал, цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацах процессыг хялбархан томруулж, том хэмжээний үйлдвэрлэлийн хэрэглээнд тохиромжтой болгодог. Энэхүү өргөтгөх чадвар нь үр ашиг, олон талт шинж чанартай хослуулан үйлдвэрлэлийн явцад нимгэн хальс шаарддаг үйлдвэрүүдэд энэ технологийг нэвтрүүлэхэд хүргэсэн.
Аливаа дэвшилтэт технологийн нэгэн адил цилиндр хэлбэртэй магнетрон цацах чадварыг сайжруулахын тулд тасралтгүй судалгаа, хөгжүүлэлтийн хүчин чармайлт гаргасаар байна. Судлаачид технологийн хуримтлалын үр ашиг, ерөнхий гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд процессын параметрүүдийг боловсронгуй болгох, зорилтот материалыг оновчтой болгох, катодын өөр загваруудыг судлахаар ажиллаж байна.
-Энэ нийтлэлийг гаргасанвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2023 оны 10-р сарын 26