നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ സാങ്കേതികവിദ്യയിൽ, സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കാര്യക്ഷമവും വൈവിധ്യപൂർണ്ണവുമായ ഒരു രീതിയായി മാറിയിരിക്കുന്നു. ഈ നൂതന സാങ്കേതികവിദ്യ ഗവേഷകർക്കും വ്യവസായ പ്രൊഫഷണലുകൾക്കും അസാധാരണമായ കൃത്യതയും ഏകീകൃതതയും ഉള്ള നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കുന്നതിനുള്ള ഒരു മാർഗം നൽകുന്നു. സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് വിവിധ വ്യവസായങ്ങളിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ നേർത്ത ഫിലിം ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയയിൽ വിപ്ലവം സൃഷ്ടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു.
സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ്, സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് എന്നും അറിയപ്പെടുന്നു, ഇത് സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ കാഥോഡുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ഭൗതിക നീരാവി നിക്ഷേപ സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്. ഒരു ലക്ഷ്യ വസ്തുവിലേക്ക് അയോണുകൾ ത്വരിതപ്പെടുത്തി അതിന്റെ ആറ്റങ്ങളെ പുറന്തള്ളുന്ന ഒരു പ്ലാസ്മ സൃഷ്ടിക്കുന്നതാണ് ഇതിന്റെ പ്രവർത്തന തത്വം. ഈ ആറ്റങ്ങളെ പിന്നീട് ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് ഒരു അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിക്കുന്നു.
സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ പ്രധാന ഗുണങ്ങളിലൊന്ന് മികച്ച ഫിലിം ഗുണനിലവാരം നിലനിർത്തിക്കൊണ്ട് ഉയർന്ന ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കുകൾ കൈവരിക്കാനുള്ള കഴിവാണ്. ഉയർന്ന ഡിപ്പോസിഷൻ നിരക്കിൽ പലപ്പോഴും ഫിലിം ഗുണനിലവാരം കുറയുന്നതിന് കാരണമാകുന്ന പരമ്പരാഗത സ്പട്ടറിംഗ് ടെക്നിക്കുകളിൽ നിന്ന് വ്യത്യസ്തമായി, സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് ഡിപ്പോസിഷൻ പ്രക്രിയയിലുടനീളം ഫിലിം സമഗ്രതയും ഘടനയും നിലനിർത്തുന്നുവെന്ന് ഉറപ്പാക്കുന്നു.
കൂടാതെ, മാഗ്നെട്രോൺ കാഥോഡിന്റെ സിലിണ്ടർ രൂപകൽപ്പന പ്ലാസ്മയ്ക്കും കാന്തികക്ഷേത്ര വിതരണത്തിനും കൂടുതൽ ഏകീകൃതത നൽകുന്നു, അതുവഴി ഫിലിം ഏകീകൃതത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നു. മുഴുവൻ അടിവസ്ത്ര ഉപരിതലത്തിലുടനീളം സ്ഥിരമായ ഫിലിം ഗുണങ്ങൾ ആവശ്യമുള്ള ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് ഈ ഏകീകൃതത നിർണായകമാണ്. ഒപ്റ്റിക്സ്, ഇലക്ട്രോണിക്സ്, സൗരോർജ്ജം തുടങ്ങിയ വ്യവസായങ്ങൾ സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ വിപുലമായ കഴിവുകളിൽ നിന്ന് വളരെയധികം പ്രയോജനം നേടിയിട്ടുണ്ട്.
സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ ഉപയോഗം പരമ്പരാഗത ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്കപ്പുറത്തേക്ക് വ്യാപിക്കുന്നു. നാനോ ടെക്നോളജി, ബയോമെഡിസിൻ തുടങ്ങിയ നൂതന മേഖലകളിൽ ഈ സാങ്കേതികവിദ്യ ഉപയോഗപ്പെടുത്തുന്നതിനുള്ള പുതിയ വഴികൾ ഗവേഷകരും എഞ്ചിനീയർമാരും നിരന്തരം പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നു. വാതക ഘടന, മർദ്ദം, ശക്തി തുടങ്ങിയ നിക്ഷേപ പാരാമീറ്ററുകൾ കൃത്യമായി നിയന്ത്രിക്കാനുള്ള കഴിവ്, നിർദ്ദിഷ്ട ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമായ ഗുണങ്ങളുള്ള ഇഷ്ടാനുസൃത ഫിലിമുകൾ സൃഷ്ടിക്കാൻ അനുവദിക്കുന്നു.
റിയാക്ടീവ് വാതകങ്ങളുടെ ആമുഖം സിലിണ്ടർ ആകൃതിയിലുള്ള മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ കഴിവുകൾ കൂടുതൽ വികസിപ്പിക്കുന്നു. നൈട്രജൻ അല്ലെങ്കിൽ ഓക്സിജൻ പോലുള്ള റിയാക്ടീവ് വാതകങ്ങൾ അവതരിപ്പിക്കുന്നതിലൂടെ, സംയുക്തങ്ങൾ നിക്ഷേപിക്കാനോ അതുല്യമായ ഗുണങ്ങളുള്ള നേർത്ത ഫിലിം സംയുക്തങ്ങൾ നിർമ്മിക്കാനോ കഴിയും. മെച്ചപ്പെട്ട വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം, വർദ്ധിച്ച കാഠിന്യം അല്ലെങ്കിൽ മികച്ച നാശന പ്രതിരോധം പോലുള്ള മെച്ചപ്പെട്ട പ്രവർത്തനക്ഷമതയുള്ള നൂതന വസ്തുക്കൾ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യുന്നതിനുള്ള പുതിയ വഴികൾ ഇത് തുറക്കുന്നു.
കൂടാതെ, സിലിണ്ടർ ആകൃതിയിലുള്ള മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് പ്രക്രിയ എളുപ്പത്തിൽ വർദ്ധിപ്പിക്കാൻ കഴിയും, ഇത് വലിയ തോതിലുള്ള വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾക്ക് അനുയോജ്യമാക്കുന്നു. ഈ സ്കേലബിളിറ്റി, അതിന്റെ കാര്യക്ഷമതയും വൈവിധ്യവും സംയോജിപ്പിച്ച്, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയകളിൽ നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കേണ്ട വ്യവസായങ്ങൾ ഈ സാങ്കേതികവിദ്യ കൂടുതലായി സ്വീകരിക്കുന്നതിലേക്ക് നയിച്ചു.
ഏതൊരു നൂതന സാങ്കേതികവിദ്യയെയും പോലെ, സിലിണ്ടർ മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗിന്റെ കഴിവുകൾ വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനായി നടന്നുകൊണ്ടിരിക്കുന്ന ഗവേഷണ വികസന ശ്രമങ്ങൾ തുടരുന്നു. സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ നിക്ഷേപ കാര്യക്ഷമതയും മൊത്തത്തിലുള്ള പ്രകടനവും കൂടുതൽ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനായി പ്രോസസ്സ് പാരാമീറ്ററുകൾ പരിഷ്കരിക്കാനും, ലക്ഷ്യ വസ്തുക്കൾ ഒപ്റ്റിമൈസ് ചെയ്യാനും, ഇതര കാഥോഡ് ഡിസൈനുകൾ പര്യവേക്ഷണം ചെയ്യാനും ഗവേഷകർ പ്രവർത്തിക്കുന്നു.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: ഒക്ടോബർ-26-2023