I roto i te mara o te hangarau waipara kiriata angiangi, kua riro i te potakataka magnetron sputtering he tikanga pai, me te pūkenga. Ko tenei hangarau auaha e whakarato ana ki nga kairangahau me nga tohunga umanga ki te whakatakoto i nga kiriata kikokore me te tino tika me te riterite. Kei te whakamahia nuitia te pupuhi magnetron cylindrical i roto i nga momo umanga me te huri i nga mahi whakaheke kiriata angiangi.
Ko te pupuhi magnetron porotakaroa, e mohiotia ana ano ko te paninga whakakikorua magnetron porotakaroa, he hangarau whakaheke kohu tinana e whakamahi ana i nga cathodes magnetron cylindrical. Ko tana maataapono mahi ko te hanga plasma kia tere ai nga katote ki tetahi mea i whaaia, ka peia atu ona ngota. Ka tukuna enei ngota ki runga i te tïpako kia hanga he kiriata angiangi.
Ko tetahi o nga painga nui o te pupuhi magnetron cylindrical ko te kaha ki te whakatutuki i nga reiti whakahekenga teitei me te pupuri i te kounga pai o te kiriata. Kaore i rite ki nga tikanga tuku iho, he maha nga wa ka heke te kounga o te kiriata i runga i nga reiti whakahekenga teitei ake, ko te maataki magnetron cylindrical e whakarite kia mau tonu te tapatahi me te hanganga o te kiriata puta noa i te tukanga tuku.
I tua atu, ko te hoahoa porotakaro o te magnetron cathode ka taea te nui ake o te plasma me te tohatoha mara autō, na reira ka whakarei ake i te rite o te kiriata. He mea nui tenei rite mo nga tono e hiahia ana kia rite nga ahuatanga kiriata puta noa i te mata o te tïpako. Ko nga umanga penei i te optics, te hikohiko me te hiko o te ra kua tino whai hua mai i nga kaha matatau o te pupuhi aukumete porotakaroa.
Ko te whakamahinga o te pupuhi magnetron porotakaroa kei tua atu i nga tono tuku iho. Ko nga Kairangahau me nga miihini kei te tirotiro tonu i nga huarahi hou ki te whakamahi i tenei hangarau i roto i nga waahanga tapahi penei i te nanotechnology me te biomedicine. Ko te kaha ki te whakahaere tika i nga tawhā deposition, penei i te hanganga hau, te pehanga, me te mana, ka taea te hanga i nga kiriata kua whakaritea me nga taonga whakangao e tika ana mo nga tono motuhake.
Ko te whakaurunga o nga hau hohenga ka whakawhanui ake i nga kaha o te puiapoipoipoi o te magnetron cylindrical. Ma te whakauru i nga hau hohenga penei i te hauota, te hauora ranei, ka taea te penapena hiato, ka taea ranei te hanga hiato kiriata angiangi me nga ahuatanga ahurei. Ma tenei ka whakatuwhera i nga huarahi hou ki te torotoro i nga rauemi matatau me nga mahi pai ake, penei i te pai ake o te kakahu, te kaha ake o te pakeke, te aukati waikura pai ake ranei.
I tua atu, ka ngawari te whakahiato i te huringa magnetron sputtering, e pai ana mo nga tono ahumahi nui. Ko tenei whakaraeraetanga, me tona kaha me te whaikorero, kua piki ake te tangohanga o tenei hangarau e nga umanga e hiahia ana kia waiho nga kiriata angiangi i roto i nga mahi whakangao.
Pērā i ngā hangarau matatau, ko te rangahau me te whakawhanaketanga tonu e kaha tonu ana ki te whakakaha ake i te kaha o te pupuhi magnetron cylindrical. Kei te mahi nga Kairangahau ki te whakamahine i nga tawhā tukanga, ki te arotau i nga rawa e whaaia ana me te torotoro i etahi atu hoahoa cathode hei whakapai ake i te pai o te whakatakoto o te hangarau me te mahi katoa.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Oketopa-26-2023