I. Apžvalga
Didelio plokštuminio optinio dengimo įtaisas yra įtaisas, skirtas tolygiai nusodinti ploną plėvelę ant plokštuminio optinio elemento paviršiaus. Šios plėvelės dažnai naudojamos optinių komponentų, tokių kaip atspindys, pralaidumas, apsauga nuo atspindžio, filtras, veidrodis ir kitos funkcijos, našumui pagerinti. Įranga daugiausia naudojama optikos, lazerių, ekranų, ryšių, aviacijos ir kosmoso bei kitose pramonės šakose.
Antra, pagrindinis optinės dangos principas
Optinė danga – tai technika, kuria keičiamos optinio elemento (pvz., lęšio, filtro, prizmės, optinio pluošto, ekrano ir kt.) optinės savybės, ant jo paviršiaus nusodinant vieną ar kelis medžiagos sluoksnius (dažniausiai metalo, keramikos arba oksido). Šie plėvelės sluoksniai gali būti atspindinti plėvelė, pralaidinė plėvelė, antirefleksinė plėvelė ir kt. Įprasti dengimo metodai yra fizikinis garų nusodinimas (PVD), cheminis garų nusodinimas (CVD), dulkių nusodinimas, garinimo padengimas ir kt.
Trečia, įrangos sudėtis
Didelė plokštuminė optinio dengimo įranga paprastai apima šias pagrindines dalis:
Dengimo kamera: tai pagrindinė dengimo proceso dalis ir paprastai yra vakuuminė kamera. Dengimas atliekamas kontroliuojant vakuumą ir atmosferą. Norint pagerinti dengimo kokybę ir kontroliuoti plėvelės storį, būtina tiksliai kontroliuoti dengimo kameros aplinką.
Garavimo šaltinis arba purškimo šaltinis:
Garavimo šaltinis: Nusodinama medžiaga kaitinama iki garų būsenos, paprastai garinant elektronų pluoštu arba terminiu garinimu, o po to vakuume nusodinama ant optinio elemento.
Purškimo šaltinis: smūgiuojant į taikinį didelės energijos jonais, taikinio atomai arba molekulės yra išpurškiami, kurie galiausiai nusėda ant optinio paviršiaus ir sudaro plėvelę.
Sukamoji sistema: dengimo proceso metu optinį elementą reikia sukti, kad plėvelė būtų tolygiai paskirstyta jo paviršiuje. Sukamoji sistema užtikrina vienodą plėvelės storį viso dengimo proceso metu.
Vakuuminė sistema: vakuuminė sistema naudojama žemo slėgio aplinkai užtikrinti, paprastai per siurblio sistemą, skirtą dengimo kamerai išsiurbti, užtikrinant, kad dengimo proceso netrikdytų ore esančios priemaišos, todėl gaunama aukštos kokybės plėvelė.
Matavimo ir valdymo sistemos: įskaitant jutiklius plėvelės storiui stebėti (pvz., QCM jutiklius), temperatūros reguliavimą, galios reguliavimą ir kt., siekiant tiksliai valdyti dengimo procesą.
Aušinimo sistema: Dengimo proceso metu susidaranti šiluma gali paveikti plėvelės kokybę ir optinio elemento vientisumą, todėl norint palaikyti stabilią temperatūros aplinką, reikalinga efektyvi aušinimo sistema.
4. Taikymo sritis
Optinių komponentų gamyba: Dengimo įranga plačiai naudojama optinių komponentų, tokių kaip optiniai lęšiai, mikroskopai, teleskopai ir fotoaparatų lęšiai, gamyboje. Naudojant įvairių tipų dangas, optiniai elementai gali būti optimizuoti atspindžių slopinimui, apsaugai nuo atspindžių, veidrodiniam atspindžiui, filtravimui ir kt., siekiant pagerinti vaizdo kokybę, ryškumą ir kontrastą.
Ekrano technologija: Skystųjų kristalų ekranų (LCD), organinių šviesos diodų (OLED) ir kitų ekranų gamybos procese naudojama dangų technologija, siekiant pagerinti ekrano efektą, sustiprinti spalvas, kontrastą ir atspindžių atspindžio savybes.
Lazerinė įranga: Lazerių ir lazerinių optinių komponentų (pvz., lazerinių lęšių, veidrodžių ir kt.) gamybos procese naudojama dengimo technologija, skirta lazerio atspindžio ir perdavimo charakteristikoms reguliuoti, siekiant užtikrinti lazerio energijos išvestį ir perdavimo kokybę.
Saulės fotovoltinė energija: Saulės baterijų gamyboje optinė danga naudojama fotoelektrinės konversijos efektyvumui pagerinti. Pavyzdžiui, fotovoltinių medžiagų paviršiaus padengimas antirefleksinės plėvelės sluoksniu gali sumažinti šviesos nuostolius ir taip pagerinti saulės elementų veikimą.
Aviacija ir kosmosas: Aviacijos ir kosmoso srityje optiniai lęšiai, optiniai jutikliai, teleskopai ir kita įranga turi būti padengti, kad būtų padidintas jų atsparumas spinduliuotei, atsparumas aukštai temperatūrai ir atspindžio slopinimo efektas, siekiant užtikrinti normalų įrangos veikimą atšiauriomis sąlygomis.
Jutikliai ir prietaisai: naudojami tiksliųjų prietaisų, infraraudonųjų spindulių jutiklių, optinių jutiklių ir kitos įrangos gamyboje, o danga gali pagerinti jų veikimą. Pavyzdžiui, infraraudonųjų spindulių jutikliams dažnai reikalinga speciali plėvelinė danga, kad jie galėtų efektyviai filtruoti ir praleisti tam tikro ilgio šviesą.
V. Technologiniai iššūkiai ir vystymosi tendencijos
Plėvelės kokybės kontrolė: Didelėse plokštuminės optinės dangos įrenginiuose plėvelės vienodumo ir konsistencijos užtikrinimas yra techninė problema. Nedideli temperatūros svyravimai, dujų sudėties pokyčiai arba slėgio svyravimai dengimo proceso metu gali turėti įtakos plėvelės kokybei.
Daugiasluoksnės dangos technologija: didelio našumo optiniams komponentams dažnai reikalingos daugiasluoksnės plėvelės sistemos, o dengimo įranga turi tiksliai kontroliuoti kiekvienos plėvelės storį ir medžiagų sudėtį, kad būtų pasiektas norimas optinis efektas.
Pažangi ir automatizuota: Tobulėjant technologijoms, būsima dengimo įranga bus išmanesnė ir automatizuota, galės realiuoju laiku stebėti ir reguliuoti įvairius dengimo proceso parametrus, gerinti gamybos efektyvumą ir produkto kokybę.
Aplinkos apsauga ir energijos taupymas: Atsižvelgiant į griežtus aplinkosaugos reikalavimus, optinių dangų įranga turi sumažinti energijos suvartojimą ir kenksmingų medžiagų išmetimą. Tuo pačiu metu, aplinkai nekenksmingesnių dangų medžiagų ir procesų kūrimas taip pat yra svarbi dabartinių tyrimų kryptis.
SOM2550 nuolatinio magnetroninio purškimo optinio dengimo įranga
Įrangos privalumai:
Aukštas automatizavimo laipsnis, didelė pakrovimo talpa, puikus plėvelės našumas
Matomos šviesos pralaidumas siekia iki 99 %
Superkietas AR + AF kietumas iki 9H
Taikymas: daugiausia gamina AR/NCVM+DLC+AF, taip pat išmaniuosius galinio vaizdo veidrodėlius, automobilių ekranų/jutiklinių ekranų stiklus, itin kietus AR fotoaparatų filtrus, IR-CUT ir kitus filtrus, veido atpažinimo ir kitus produktus.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2025 m. sausio 24 d.