Жука пленканы жайгаштыруу технологиясы тармагында цилиндрдик магнетронду чачуу эффективдүү жана ар тараптуу ыкма болуп калды. Бул инновациялык технология изилдөөчүлөргө жана өнөр жай адистерине өзгөчө тактык жана бирдейлик менен жука пленкаларды сактоонун жолун камсыз кылат. Цилиндрдик магнетронду чачыратуу ар кандай тармактарда кеңири колдонулат жана жука пленканы түшүрүү процессин өзгөртөт.
Цилиндрдик магнетронду чачыратуу, ошондой эле цилиндрдик магнетронду чачыратуу каптоо катары белгилүү, цилиндрдик магнетрондук катоддорду колдонгон физикалык буу коюу технологиясы. Анын иштөө принциби иондор максаттуу материалды көздөй ылдамдатылган жана анын атомдорун кууп чыккан плазманы түзүүнү камтыйт. Бул атомдор андан кийин жука пленканы пайда кылуу үчүн субстраттын үстүнө жайгаштырылат.
Цилиндрдик магнетронду чачуунун негизги артыкчылыктарынын бири пленканын эң сонун сапатын сактоо менен жогорку тунма ылдамдыгына жетүү мүмкүнчүлүгү болуп саналат. Салттуу чачыратуу ыкмаларынан айырмаланып, бул көбүнчө пленканын сапатынын жогору коюу ылдамдыгында төмөндөшүнө алып келет, цилиндрдик магнетрон чачыратуу пленканын бүтүндүгүн жана курамын чөкүү процессинде сакталышын камсыздайт.
Мындан тышкары, магнетрондук катоддун цилиндрдик конструкциясы плазманы жана магнит талаасын бирдей бөлүштүрүүгө мүмкүндүк берет, ошону менен пленканын бирдейлигин күчөтөт. Бул бирдейлик бүт субстрат бетинде ырааттуу пленка касиеттерин талап кылган колдонмолор үчүн абдан маанилүү. Оптика, электроника жана күн энергиясы сыяктуу тармактар цилиндрдик магнетронду чачуунун алдыңкы мүмкүнчүлүктөрүнөн чоң пайда алышкан.
Цилиндрдик магнетронду чачыратуу колдонуу салттуу колдонмолордон тышкары. Изилдөөчүлөр жана инженерлер бул технологияны нанотехнология жана биомедицина сыяктуу алдыңкы тармактарда колдонуунун жаңы жолдорун тынымсыз изилдеп жатышат. Газдын составы, басымы жана кубаттуулугу сыяктуу чөктүрүүнүн параметрлерин так көзөмөлдөө мүмкүнчүлүгү, конкреттүү колдонмолор үчүн ылайыкташтырылган касиеттери менен ыңгайлаштырылган тасмаларды түзүүгө мүмкүндүк берет.
Реактивдүү газдарды киргизүү цилиндрдик магнетронду чачуунун мүмкүнчүлүктөрүн андан ары кеңейтет. Азот же кычкылтек сыяктуу реактивдүү газдарды киргизүү менен композиттерди коюуга же уникалдуу касиеттери бар жука пленкалуу композиттерди алууга болот. Бул жакшыртылган эскирүү туруктуулугу, жогорулатылган катуулук же жогорку коррозияга туруктуулугу сыяктуу жакшыртылган функционалдуу өнүккөн материалдарды изилдөө үчүн жаңы жолдорду ачат.
Андан тышкары, цилиндрдик магнетронду чачыратуу процессин оңой эле чоңойтсо болот, бул аны ири өнөр жайлык колдонмолорго ылайыктуу кылат. Бул масштабдуулук, анын эффективдүүлүгү жана ар тараптуулугу менен бирге, өндүрүш процессинде жука пленкаларды сактоону талап кылган тармактарда бул технологияны көбүрөөк колдонууга алып келди.
Ар кандай өнүккөн технология сыяктуу эле, тынымсыз изилдөө жана өнүктүрүү аракеттери цилиндрдик магнетронду чачыратуу мүмкүнчүлүктөрүн жогорулатууну улантууда. Окумуштуулар процесстин параметрлерин тактоо, максаттуу материалдарды оптималдаштыруу жана технологиянын түшүү эффективдүүлүгүн жана жалпы өндүрүмдүүлүгүн андан ары жакшыртуу үчүн альтернативдик катод конструкцияларын изилдөө үчүн иштеп жатышат.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 26-2023-октябр