I. 개요
대형 평면 광학 코팅 장치는 평면 광학 소자 표면에 박막을 균일하게 증착하는 장치입니다. 이 박막은 반사, 투과, 반사 방지, 필터, 거울 등 광학 부품의 성능을 향상시키는 데 자주 사용됩니다. 이 장비는 주로 광학, 레이저, 디스플레이, 통신, 항공우주 및 기타 산업 분야에서 사용됩니다.
둘째, 광학코팅의 기본 원리
광학 코팅은 광학 소자(예: 렌즈, 필터, 프리즘, 광섬유, 디스플레이 등) 표면에 한 겹 이상의 물질(일반적으로 금속, 세라믹 또는 산화물)을 증착하여 광학적 특성을 변화시키는 기술입니다. 이러한 필름 층은 반사 필름, 투과 필름, 반사 방지 필름 등이 될 수 있습니다. 일반적인 코팅 방법으로는 물리 기상 증착(PVD), 화학 기상 증착(CVD), 스퍼터링 증착, 증발 코팅 등이 있습니다.
셋째, 장비 구성
대형 평면 광학 코팅 장비는 일반적으로 다음과 같은 주요 부품으로 구성됩니다.
코팅 챔버: 코팅 공정의 핵심 부분으로, 일반적으로 진공 챔버입니다. 코팅은 진공과 분위기를 조절하여 수행됩니다. 코팅 품질을 향상시키고 필름 두께를 제어하려면 코팅 챔버의 환경을 정밀하게 제어해야 합니다.
증발원 또는 스퍼터링원:
증발원: 증착될 물질은 일반적으로 전자빔 증발이나 열 증발에 의해 증발 상태로 가열된 다음 진공 상태에서 광학 소자에 증착됩니다.
스퍼터링 소스: 고에너지 이온으로 타겟에 충격을 주면 타겟의 원자나 분자가 스퍼터링되어 결국 광학 표면에 증착되어 필름을 형성합니다.
회전 시스템: 코팅 공정 중 광학 소자를 회전시켜 필름이 표면에 고르게 분포되도록 해야 합니다. 회전 시스템은 코팅 공정 전체에서 필름 두께를 일정하게 유지합니다.
진공 시스템: 진공 시스템은 일반적으로 펌프 시스템을 통해 코팅 챔버를 진공 상태로 만들어 낮은 압력 환경을 제공하는 데 사용되며, 이를 통해 공기 중의 불순물로 인해 코팅 공정이 방해받지 않도록 하여 고품질 필름을 생산합니다.
측정 및 제어 시스템: 필름 두께 모니터링 센서(QCM 센서 등), 온도 제어, 전력 조절 등을 포함하여 코팅 공정을 정밀하게 제어합니다.
냉각 시스템: 코팅 과정에서 발생하는 열은 필름 품질과 광학 소자의 무결성에 영향을 미칠 수 있으므로 안정적인 온도 환경을 유지하려면 효율적인 냉각 시스템이 필요합니다.
4. 적용분야
광학 부품 제조: 코팅 장비는 광학 렌즈, 현미경, 망원경, 카메라 렌즈 등 광학 부품 생산에 널리 사용됩니다. 다양한 유형의 코팅을 통해 광학 부품의 반사 방지, 반사 방지, 정반사, 필터링 등을 최적화하여 이미지 품질, 밝기 및 대비를 향상시킬 수 있습니다.
디스플레이 기술: 액정 디스플레이(LCD), 유기 발광 다이오드(OLED) 및 기타 디스플레이의 생산 과정에서 코팅 기술을 사용하여 디스플레이 효과를 개선하고 색상, 대비 및 반사 방지 능력을 향상시킵니다.
레이저 장비: 레이저 및 레이저 광학 부품(레이저 렌즈, 거울 등) 제조 공정에서 코팅 기술을 사용하여 레이저의 반사 및 투과 특성을 조정하여 레이저의 에너지 출력과 투과 품질을 보장합니다.
태양광: 태양광 패널 생산 시 광학 코팅은 광전 변환 효율을 향상시키는 데 사용됩니다. 예를 들어, 태양광 소재 표면에 반사 방지 필름을 코팅하면 빛 손실을 줄여 태양 전지의 성능을 향상시킬 수 있습니다.
항공우주: 항공우주 분야에서는 광학 렌즈, 광학 센서, 망원경 및 기타 장비에 코팅을 하여 방사선 저항성, 고온 저항성 및 반사 방지 효과를 향상시켜 혹독한 환경에서도 장비가 정상적으로 작동하도록 보장해야 합니다.
센서 및 계측기: 정밀 계측기, 적외선 센서, 광 센서 및 기타 장비 제조에 사용되는 코팅은 성능을 향상시킬 수 있습니다. 예를 들어, 적외선 센서는 특정 파장의 빛을 효과적으로 필터링하고 통과시키기 위해 특정 필름 코팅이 필요한 경우가 많습니다.
V. 기술적 과제와 개발 동향
필름 품질 관리: 대형 평면 광학 코팅 장비에서 필름의 균일성과 일관성을 보장하는 것은 기술적인 문제입니다. 코팅 공정 중 작은 온도 변화, 가스 조성 변화 또는 압력 변동도 필름 품질에 영향을 미칠 수 있습니다.
다층 코팅 기술: 고성능 광학 부품에는 종종 다층 필름 시스템이 필요하며, 코팅 장비는 원하는 광학 효과를 달성하기 위해 각 필름의 두께와 재료 구성을 정밀하게 제어할 수 있어야 합니다.
지능화 및 자동화: 기술의 발전으로 미래의 코팅 장비는 더욱 지능화되고 자동화되어 코팅 공정의 다양한 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정하고, 생산 효율성과 제품 품질을 향상시킬 수 있습니다.
환경 보호 및 에너지 절약: 엄격한 환경 규제에 따라 광학 코팅 장비는 에너지 소비를 줄이고 유해 물질 배출을 줄여야 합니다. 동시에, 더욱 친환경적인 코팅 재료 및 공정 개발 또한 현재 연구의 중요한 방향입니다.
SOM2550 연속 마그네트론 스퍼터링 광학 코팅 장비
장비의 장점:
높은 수준의 자동화, 대용량 적재 용량, 우수한 필름 성능
가시광선 투과율은 최대 99%
최대 9H의 초경도 AR + AF 경도
응용 분야: 주로 AR/NCVM+DLC+AF, 지능형 백미러, 자동차 디스플레이/터치스크린 커버 유리, 카메라 초경량 AR, IR-CUT 등 필터, 얼굴 인식 등을 생산합니다.
–이 기사는 다음에서 발행합니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2025년 1월 24일