| ប្រភេទ | ឈ្មោះ | គោលការណ៍ | ជួរសម្ពាធការងារ |
| ម៉ាស៊ីនបូមមេកានិក | ម៉ាស៊ីនបូមប្រេងម៉ាស៊ីនតែមួយ | ការបង្ហាប់និងបន្សាបឧស្ម័នដោយម៉ាស៊ីន | 105--១០១ |
| ម៉ាស៊ីនបូមប្រេងម៉ាស៊ីនពីរដង | 105--១០2 | ||
| ម៉ាស៊ីនបូមម៉ូលេគុល | 10១--១០8 | ||
| ម៉ាស៊ីនបូមឫស | 103--១០2 | ||
| ស្នប់ចាក់ចំហាយ | ស្នប់ចាក់ប្រេង | យកឧស្ម័នចេញជាមួយនឹងសន្ទុះនៃយន្តហោះចំហុយ | 10១--១០7 |
| ម៉ាស៊ីនបូមចែកចាយប្រេង | 10១--១០6 | ||
| ស្នប់សាយភាយបារត | 10១--១០5 | ||
| ម៉ាស៊ីនបូមស្ងួត | ម៉ាស៊ីនបូមទឹកអ៊ីយ៉ុង | ការស្រូប និងការដកយកឧស្ម័នចេញដោយខ្សែភាពយន្តស្រូប ដែលបង្កើតឡើងដោយ sublimation ឬ sputtering | 10១--១០8 |
| ម៉ាស៊ីនបូមធូលីទីតានីញ៉ូម | 10១--១០9 | ||
| ស្នប់ស្រូបយក | ការដកឧស្ម័នចេញដោយការស្រូបយករាងកាយលើផ្ទៃដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប | 106--១០2 | |
| ម៉ាស៊ីនបូម condensate | 102--១០11 | ||
| ស្នប់ adsorption condensate | 102--១០10 |
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ០៨-វិច្ឆិកា-២០២២