នៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិជ្ជានៃការដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង ការខ្ទាស់មេដែករាងស៊ីឡាំងបានក្លាយទៅជាវិធីសាស្ត្រដ៏មានប្រសិទ្ធភាព និងអាចប្រើប្រាស់បាន។ បច្ចេកវិទ្យាច្នៃប្រឌិតថ្មីនេះផ្តល់ឱ្យអ្នកស្រាវជ្រាវ និងអ្នកជំនាញក្នុងឧស្សាហកម្មនូវវិធីមួយដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងជាមួយនឹងភាពជាក់លាក់ និងឯកសណ្ឋានពិសេស។ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំងត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងឧស្សាហកម្មផ្សេងៗ ហើយកំពុងធ្វើបដិវត្តដំណើរការនៃស្រទាប់ស្តើង។
Sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំង ត្រូវបានគេស្គាល់ផងដែរថាជា cylindrical magnetron sputtering coating គឺជាបច្ចេកវិទ្យានៃការបំភាយចំហាយទឹកដែលប្រើប្រាស់ cathodes magnetron រាងស៊ីឡាំង។ គោលការណ៍ការងាររបស់វាពាក់ព័ន្ធនឹងការបង្កើតប្លាស្មា ដែលអ៊ីយ៉ុងត្រូវបានពន្លឿនឆ្ពោះទៅរកវត្ថុធាតុគោលដៅ ហើយបណ្តេញអាតូមរបស់វា។ បន្ទាប់មកអាតូមទាំងនេះត្រូវបានដាក់នៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងមួយ។
គុណសម្បត្តិចម្បងមួយនៃការ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំងគឺសមត្ថភាពក្នុងការសម្រេចបាននូវអត្រាការប្រាក់ខ្ពស់ខណៈពេលដែលរក្សាបាននូវគុណភាពខ្សែភាពយន្តដ៏ល្អ។ មិនដូចបច្ចេកទេស sputtering បែបប្រពៃណី ដែលជារឿយៗបណ្តាលឱ្យមានការថយចុះគុណភាពនៃខ្សែភាពយន្តក្នុងអត្រាការទម្លាក់ខ្ពស់ ការ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំងធានាថាភាពសុចរិត និងសមាសភាពនៃខ្សែភាពយន្តត្រូវបានរក្សាពេញមួយដំណើរការ។
លើសពីនេះ ការរចនារាងស៊ីឡាំងនៃ cathode magnetron អនុញ្ញាតឱ្យមានការចែកចាយប្លាស្មា និងដែនម៉ាញេទិកឯកសណ្ឋានបន្ថែមទៀត ដោយហេតុនេះបង្កើនភាពឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្ត។ ឯកសណ្ឋាននេះគឺមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីដែលទាមទារលក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តជាប់គ្នានៅទូទាំងផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោមទាំងមូល។ ឧស្សាហកម្មដូចជាអុបទិក អេឡិចត្រូនិក និងថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យបានទទួលអត្ថប្រយោជន៍យ៉ាងច្រើនពីសមត្ថភាពកម្រិតខ្ពស់នៃការ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំង។
ការប្រើប្រាស់មេដែករាងស៊ីឡាំងពង្រីកលើសពីកម្មវិធីប្រពៃណី។ អ្នកស្រាវជ្រាវ និងវិស្វករកំពុងស្វែងរកជានិច្ចនូវវិធីថ្មីៗដើម្បីទាញយកបច្ចេកវិទ្យានេះនៅក្នុងវិស័យទំនើបៗដូចជា ណាណូបច្ចេកវិទ្យា និងជីវវេជ្ជសាស្ត្រ។ សមត្ថភាពក្នុងការគ្រប់គ្រងយ៉ាងជាក់លាក់នូវប៉ារ៉ាម៉ែត្រនៃការដាក់ប្រាក់ ដូចជាសមាសធាតុឧស្ម័ន សម្ពាធ និងថាមពល អនុញ្ញាតឱ្យបង្កើតខ្សែភាពយន្តតាមតម្រូវការជាមួយនឹងលក្ខណៈសម្បត្តិដែលសមស្របនឹងកម្មវិធីជាក់លាក់។
ការណែនាំនៃឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មនឹងពង្រីកបន្ថែមនូវសមត្ថភាពនៃការ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំង។ តាមរយៈការណែនាំឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្មដូចជា អាសូត ឬអុកស៊ីហ៊្សែន សមាសធាតុអាចត្រូវបានដាក់ ឬសមាសធាតុហ្វីលស្តើងដែលមានលក្ខណៈសម្បត្តិពិសេសអាចផលិតបាន។ នេះបើកផ្លូវថ្មីដើម្បីស្វែងរកសម្ភារៈកម្រិតខ្ពស់ជាមួយនឹងមុខងារប្រសើរឡើង ដូចជាការពង្រឹងភាពធន់ទ្រាំពាក់ ការបង្កើនភាពរឹង ឬភាពធន់នឹងការច្រេះ។
ជាងនេះទៅទៀត ដំណើរការ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំងអាចពង្រីកបានយ៉ាងងាយស្រួល ដែលធ្វើឱ្យវាស័ក្តិសមសម្រាប់កម្មវិធីឧស្សាហកម្មខ្នាតធំ។ លទ្ធភាពធ្វើមាត្រដ្ឋាននេះ រួមផ្សំជាមួយនឹងប្រសិទ្ធភាព និងភាពអាចបត់បែនបានរបស់វា បាននាំឱ្យមានការបង្កើនការទទួលយកបច្ចេកវិទ្យានេះដោយឧស្សាហកម្មដែលតម្រូវឱ្យដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការផលិត។
ដូចទៅនឹងបច្ចេកវិជ្ជាទំនើបណាមួយដែរ កិច្ចខិតខំប្រឹងប្រែងស្រាវជ្រាវ និងអភិវឌ្ឍន៍ដែលកំពុងបន្ត បន្តពង្រឹងសមត្ថភាពនៃការ sputtering magnetron រាងស៊ីឡាំង។ អ្នកស្រាវជ្រាវកំពុងធ្វើការដើម្បីកែលម្អប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ បង្កើនប្រសិទ្ធភាពសម្ភារៈគោលដៅ និងស្វែងរកការរចនា cathode ជំនួស ដើម្បីកែលម្អបន្ថែមទៀតនូវប្រសិទ្ធភាពនៃការទម្លាក់ចោល និងការអនុវត្តរួមរបស់បច្ចេកវិទ្យា។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៦ ខែតុលា ឆ្នាំ ២០២៣