Жұқа қабықшаны тұндыру технологиясы саласында цилиндрлік магнетронды шашырату тиімді және әмбебап әдіске айналды. Бұл инновациялық технология зерттеушілер мен сала мамандарына ерекше дәлдік пен біркелкі жұқа қабықшаларды салуға мүмкіндік береді. Цилиндрлік магнетронды шашырату әртүрлі салаларда кеңінен қолданылады және жұқа қабықшаны тұндыру процесінде революция жасайды.
Цилиндрлік магнетронды шашырату, сонымен қатар цилиндрлік магнетронды шашырату жабыны ретінде белгілі, цилиндрлік магнетронды катодтарды пайдаланатын физикалық бу тұндыру технологиясы болып табылады. Оның жұмыс принципі иондар мақсатты материалға қарай жылдамдатылатын және оның атомдарын шығаратын плазманы құруды қамтиды. Содан кейін бұл атомдар жұқа пленка жасау үшін субстратқа қойылады.
Цилиндрлік магнетронды шашыратудың негізгі артықшылықтарының бірі тамаша пленка сапасын сақтай отырып, жоғары тұндыру жылдамдығына қол жеткізу мүмкіндігі болып табылады. Әдетте жоғары тұндыру жылдамдығымен пленка сапасының төмендеуіне әкелетін дәстүрлі шашырату әдістерінен айырмашылығы, цилиндрлік магнетронды шашырату пленка тұтастығы мен құрамын тұндыру процесінде сақтауды қамтамасыз етеді.
Сонымен қатар, магнетрондық катодтың цилиндрлік дизайны плазма мен магнит өрісін біркелкі бөлуге мүмкіндік береді, осылайша пленка біркелкілігін арттырады. Бұл біркелкілік бүкіл субстрат бетінде дәйекті пленка қасиеттерін қажет ететін қолданбалар үшін өте маңызды. Оптика, электроника және күн энергиясы сияқты салалар цилиндрлік магнетронды шашыратудың жетілдірілген мүмкіндіктерінен үлкен пайда тапты.
Цилиндрлік магнетронды шашыратуды пайдалану дәстүрлі қолданбалардан асып түседі. Зерттеушілер мен инженерлер осы технологияны нанотехнология және биомедицина сияқты алдыңғы қатарлы салаларда пайдаланудың жаңа жолдарын үнемі зерттеп отырады. Газдың құрамы, қысымы және қуаты сияқты тұндыру параметрлерін дәл бақылау мүмкіндігі нақты қолданбаларға сәйкес бейімделген қасиеттері бар теңшелген пленкаларды жасауға мүмкіндік береді.
Реактивті газдарды енгізу цилиндрлік магнетронды шашырату мүмкіндіктерін одан әрі кеңейтеді. Азот немесе оттегі сияқты реактивті газдарды енгізу арқылы композиттерді тұндыруға немесе бірегей қасиеттері бар жұқа қабықшалы композиттерді алуға болады. Бұл жақсартылған тозуға төзімділік, жоғары қаттылық немесе жоғары коррозияға төзімділік сияқты кеңейтілген функционалдығы бар озық материалдарды зерттеудің жаңа жолдарын ашады.
Сонымен қатар, цилиндрлік магнетронды шашырату процесін оңай масштабтауға болады, бұл оны ауқымды өнеркәсіптік қолданбалар үшін қолайлы етеді. Бұл ауқымдылық оның тиімділігі мен әмбебаптығымен үйлеседі, бұл технологияны өндіріс процестері кезінде жұқа қабықшаларды орналастыруды талап ететін салаларда қолданудың артуына әкелді.
Кез келген озық технология сияқты, цилиндрлік магнетронды шашырату мүмкіндіктерін жақсарту үшін жүргізіліп жатқан ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар жалғасуда. Зерттеушілер технологияның тұндыру тиімділігі мен жалпы өнімділігін одан әрі жақсарту үшін процесс параметрлерін нақтылау, мақсатты материалдарды оңтайландыру және балама катод конструкцияларын зерттеу үшін жұмыс істеуде.
– Бұл мақаланы шығарғанвакуумды қаптау машинасының өндірушісіГуандун Чжэнхуа
Хабарлама уақыты: 26 қазан 2023 ж