広東振華科技有限公司へようこそ。
シングルバナー

蒸発源の設計と問題の利用

記事出典:振華真空
閲覧数:10
公開日:2023年2月24日

真空蒸着および真空イオン化の過程では、膜材料は1000~2000℃の高温になるため、蒸発源として知られる蒸発装置によって蒸発されます。蒸発源には多くの種類があり、膜材料の蒸発原理は異なります。しかし、その応用特性に関して、設計または応用においては、主に以下の点を考慮する必要があります。

大図

①蒸発源は、膜材料の蒸発速度が速く、十分な量の膜材料を貯蔵できるものでなければならない。

②蒸発源は、より優れた、より長い耐用年数を持つべきである。

③ 蒸発源は、金属や合金(Al、Ti、Fe、Co、Crなど)だけでなく、化合物(SiO、SiO2、Znsなど)の蒸発にも幅広く使用できる必要があります。

④ 蒸発源は、構造がシンプルで、製造が容易で、使用および保守が容易で、運用コストが安価であるように努めるべきである。

–この記事は以下によって公開されています真空コーティング機メーカー広東振華


投稿日時:2024年2月23日