ในกระบวนการระเหยในสุญญากาศและการแตกตัวเป็นไอออนในสุญญากาศ วัสดุเมมเบรนจะอยู่ในอุณหภูมิสูง 1000 ~ 2000 องศาเซลเซียส ทำให้เกิดการระเหยอย่างรวดเร็วในอุปกรณ์ที่เรียกว่าแหล่งกำเนิดการระเหย แหล่งกำเนิดการระเหยมีหลายประเภท โดยหลักการในการระเหยของวัสดุเมมเบรนนั้นแตกต่างกัน อย่างไรก็ตาม ในแง่ของลักษณะการใช้งาน ในการออกแบบหรือการใช้งาน ควรพิจารณาประเด็นหลักดังต่อไปนี้:
① แหล่งระเหยควรมีอัตราการระเหยสูงและสามารถเก็บวัสดุเมมเบรนได้ในปริมาณที่เพียงพอ
② แหล่งกำเนิดการระเหยควรมีอายุการใช้งานที่ดีและยาวนานกว่า
③ ควรใช้แหล่งระเหยในการระเหยโลหะหรือโลหะผสม (เช่น Al, Ti, Fe, Co, Cr) และสารประกอบต่างๆ (เช่น SiO, SiO2, Zns เป็นต้น) ในวงกว้าง
④ แหล่งกำเนิดการระเหยควรมีโครงสร้างที่เรียบง่าย ผลิตง่าย ใช้งานและบำรุงรักษาง่าย และมีค่าใช้จ่ายในการใช้งานต่ำ
–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสุญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว
วันที่เผยแพร่: 23 กุมภาพันธ์ 2567