Thiết kế nguồn bay hơi và ứng dụng của vấn đề

Trong quá trình bay hơi chân không và ion hóa chân không, vật liệu màng sẽ được giữ ở nhiệt độ cao 1000 ~ 2000°C, do đó thiết bị bay hơi chân không được gọi là nguồn bay hơi. Nguồn bay hơi có nhiều loại, nguồn bay hơi dạng sợi tóc tỏi và vật liệu màng có nguyên lý hoạt động khác nhau. Tuy nhiên, xét về đặc điểm ứng dụng, trong thiết kế hoặc ứng dụng, cần lưu ý các khía cạnh sau:

① Nguồn bay hơi phải đáp ứng được tốc độ bay hơi vật liệu màng lớn và có thể lưu trữ đủ lượng vật liệu màng;

② Nguồn bay hơi cần có tuổi thọ tốt hơn và dài hơn;

③ Nguồn bay hơi nên được sử dụng trong phạm vi rộng để bay hơi cả kim loại hoặc hợp kim (như Al, Ti, Fe, Co, Cr) cũng như các hợp chất (ví dụ: SiO, SiO2, Zns, v.v.);

④ Nguồn bay hơi nên hướng đến sự đơn giản về cấu trúc, dễ chế tạo, dễ sử dụng và bảo trì, đồng thời có chi phí vận hành thấp.

–Bài viết này được phát hành bởiNhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa