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Projeto de fonte de evaporação e utilização do problema

Fonte do artigo: Zhenhua Vacuum
Leitura: 10
Publicado em: 24/02/2023

No processo de evaporação a vácuo e ionização a vácuo, o material da membrana fica a uma temperatura elevada de 1000 a 2000 °C, de modo que sua vaporização ocorre no dispositivo conhecido como fonte de evaporação. Existem vários tipos de fontes de evaporação, e os princípios de vaporização dos materiais da membrana variam. No entanto, em termos de características de aplicação, no projeto ou na aplicação, os principais aspectos a serem considerados devem ser os seguintes:

大图

① A fonte de evaporação deve atender à evaporação do material da membrana com uma alta taxa de evaporação e pode armazenar uma quantidade suficiente de material de membrana;

② A fonte de evaporação deve ter uma vida útil melhor e mais longa;

③ A fonte de evaporação deve ser usada em uma ampla gama de aplicações, tanto na evaporação de metais ou ligas (como Al, Ti, Fe, Co, Cr) quanto de compostos (por exemplo, SiO, SiO2, Zns etc.);

④ A fonte de evaporação deve procurar ter uma estrutura simples, ser fácil de fabricar, fácil de usar e manter, e ter um custo operacional baixo.

–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento a vácuoGuangdongZhenhua


Data da publicação: 23/02/2024