En el proceso de evaporación al vacío e ionización al vacío, el material de la membrana se somete a una alta temperatura de 1000 a 2000 °C, lo que provoca su vaporización en el dispositivo, conocido como fuente de evaporación. Existen varios tipos de fuentes de evaporación; la vaporización de los materiales de la membrana se basa en diferentes principios. Sin embargo, en cuanto a sus características de aplicación, en el diseño o la aplicación, se deben considerar principalmente los siguientes aspectos:
① La fuente de evaporación debe satisfacer la evaporación del material de la membrana con una alta tasa de evaporación y puede almacenar una cantidad suficiente de material de membrana;
② La fuente de evaporación debe tener una vida útil mejor y más prolongada;
③ La fuente de evaporación debe utilizarse en una amplia gama de evaporación tanto de metales o aleaciones (como Al, Ti, Fe, Co, Cr) como de compuestos (por ejemplo, SiO, SiO2, Zns, etc.);
④ La fuente de evaporación debe procurar ser de estructura simple, fácil de fabricar, fácil de usar y mantener, y económica de operar.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 23 de febrero de 2024