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Auslegung von Verdunstungsquellen und Nutzung des Problems

Artikelquelle: Zhenhua Vacuum
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Veröffentlicht: 24.02.2023

Beim Vakuumverdampfen und Vakuumionenverdampfen erreicht das Membranmaterial Temperaturen von 1000 bis 2000 °C, wodurch es in der sogenannten Verdampfungsquelle verdampft wird. Es gibt verschiedene Arten von Verdampfungsquellen, und die Verdampfungsprinzipien der Membranmaterialien variieren. Hinsichtlich der Anwendungseigenschaften sollten bei der Konstruktion und Anwendung jedoch folgende Aspekte besonders beachtet werden:

大图

① Die Verdunstungsquelle sollte eine hohe Verdunstungsrate aufweisen, die der Verdunstung des Membranmaterials gerecht wird, und eine ausreichende Menge an Membranmaterial speichern können;

② Die Verdunstungsquelle sollte eine bessere und längere Lebensdauer haben;

③ Die Verdampfungsquelle sollte für ein breites Spektrum sowohl der Verdampfung von Metallen oder Legierungen (wie Al, Ti, Fe, Co, Cr) als auch von Verbindungen (z. B. SiO, SiO2, Zns usw.) geeignet sein;

④ Die Verdunstungsquelle sollte möglichst einfach aufgebaut, leicht herzustellen, einfach zu bedienen und zu warten sowie kostengünstig im Betrieb sein.

–Dieser Artikel wurde veröffentlicht vonHersteller von VakuumbeschichtungsmaschinenGuangdong Zhenhua


Veröffentlichungsdatum: 23. Februar 2024