真空蒸着や真空イオン化のプロセスでは、膜材料は1000～2000℃の高温になるため、その蒸発源は蒸発源と呼ばれます。蒸発源には様々な種類があり、膜材料の蒸発原理も異なります。しかし、その応用特性の観点から、設計や応用においては、主に以下の点を考慮する必要があります。
① 蒸発源は膜材料の蒸発速度が大きく、十分な量の膜材料を貯蔵できるものでなければならない。
②蒸発源の性能が向上し、耐用年数が長くなる。
③ 蒸発源は、金属または合金（Al、Ti、Fe、Co、Crなど）と化合物（SiO、SiO2、Znsなど）の両方の蒸発に幅広く使用できる必要があります。
④蒸発源は、構造が簡単で、製造が容易で、使用と保守が容易で、運転コストが安価になるように努めるべきである。
–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時: 2024年2月23日