A. Oke sputtering ọnụego. Ọmụmaatụ, mgbe sputtering SiO2, nkwụnye ego ọnụego nwere ike ruo 200nm/min, na-emekarị ruo 10 ~ 100nm/min. Na ọnụego nke mmepụta ihe nkiri na-adabere kpọmkwem na ike ugboro ugboro. B.Adhesion n'etiti ihe nkiri ahụ na mkpụrụ osisi dị ukwuu karịa oghere vap ...
Ahịrị mmepụta ihe nkiri oriọna ụgbọ ala bụ akụkụ dị mkpa nke ụlọ ọrụ nrụpụta ụgbọ ala. Ahịrị mmepụta ndị a na-ahụ maka mkpuchi na imepụta ihe nkiri oriọna ụgbọ ala, nke na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ịkwalite mma na arụmọrụ nke oriọna ụgbọ ala. Dị ka ihe na-achọsi ike dị elu ...
Igwe mkpuchi mkpuchi na sistemụ mgbapụta nwere ihe ndị a chọrọ: (1) Sistemụ mkpuchi mkpuchi kwesịrị ịnwe oke mgbapụta zuru oke, nke na-ekwesịghị ịgbapụ ngwa ngwa gas ndị sitere na mkpụrụ na ihe ndị na-ekpochapụ na ihe ndị dị na oghere ch ...
Igwe mkpuchi ihe ịchọ mma PVD na-eji usoro a maara dị ka Physical Vapor Deposition (PVD) tinye ihe mkpuchi dị gịrịgịrị ma na-adịgide adịgide na mpempe ọla. Usoro a na-agụnye iji ihe dị elu na-adị ọcha, ihe mgbakwasị ígwè siri ike, nke a na-ekpochapụ na gburugburu ebe na-adịghị. Uzuzu igwe si na ya pụta wee cond...
Otu n'ime uru ndị bụ isi nke obere igwe mkpuchi mkpuchi PVD na-agbanwe agbanwe bụ ntụgharị ha. Emebere igwe ndị a iji nabata ụdị nha na ụdị dị iche iche, na-eme ka ha dị mma maka usoro nrụpụta obere obere ma ọ bụ omenala. Ọzọkwa, kọmpat size ya na mgbanwe confi...
N'ime ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-agbanwe agbanwe, ngwá ọrụ ịkpụcha ọrụ na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịkpụzi ngwaahịa anyị na-eji kwa ụbọchị. Site na igbubi nkenke na ụlọ ọrụ ikuku ruo n'ichepụta mgbagwoju anya na ngalaba ahụike, ọchịchọ maka ngwa ịkpụcha mma dị elu na-aga n'ihu na-arị elu. Iji mezuo ihe a chọrọ, anyị ...
Mgbe ntinye nke atọm akpụkpọ ahụ malitere, bombu ion nwere mmetụta ndị a na nhụta akpụkpọ ahụ/ substrate. (1) Ngwakọta anụ ahụ. N'ihi ntụtụ ion nwere ike dị elu, ịgbasa atom ndị etinyebere na ntụtụ nkwụghachi azụ nke atọm elu na ihe nkukota cascade, na...
Ịgbasa bụ ihe na-eme mgbe ụmụ irighiri ihe dị ike (na-abụkarị ion nke gas dị mma) na-ada n'elu ihe siri ike (n'okpuru ebe a na-akpọ ihe ezubere iche), na-eme ka atom (ma ọ bụ molecules) dị n'elu ihe a na-achọsi ike gbapụ na ya. Grove chọpụtara ihe a na 1842 mgbe ...
Njirimara nke mkpuchi magnetron sputtering (3) obere ume sputtering. N'ihi obere voltaji cathode etinyere na ebumnuche, a na-ejikọta plasma ahụ site na oghere magnetik dị na oghere dị nso na cathode, si otú a na-egbochi ihe ndị na-enye ike dị elu n'akụkụ akụkụ nke ndị mmadụ gbara. Ihe...
E jiri ya tụnyere teknụzụ mkpuchi ndị ọzọ, ihe mkpuchi magnetron sputtering bụ njirimara ndị a: paramita na-arụ ọrụ nwere nnukwu mgbanwe mgbanwe dị iche iche nke mkpuchi mkpuchi ọsọ na ọkpụrụkpụ (ọnọdụ nke mkpuchi mkpuchi) nwere ike ịchịkwa ngwa ngwa, na enweghị imewe ...
Nkà na ụzụ nkwụnye ego ion beam na-enyere aka bụ ntụtụ ion beam na teknụzụ mkpuchi mkpuchi vapor jikọtara ya na teknụzụ nhazi ihe mejupụtara ion elu. N'ime usoro ngbanwe elu nke ihe etinyere ion, ma ihe semiconductor ma ọ bụ ihe injinia, ọ bụ nke ...
N'afọ ndị na-adịbeghị anya, enweela ọganihu dị ịrịba ama na ọganihu n'ọhịa nke teknụzụ mkpuchi ikuku. Nke a ga-ekwe omume naanị n'ihi mbọ ike na-agwụ ike na nnwale na nyocha. N'ime ọtụtụ igwe eji arụ ọrụ n'ubi a, igwe mkpuchi ihe nnwale bụ isi ihe eji eme ihe…
Teknụzụ CVD dabere na mmeghachi omume kemịkal. A na-akpọkarị mmeghachi omume nke mmeghachi omume nke ndị na-emeghachi omume na steeti gas na otu n'ime ngwaahịa ndị ahụ dị na steeti siri ike dị ka mmeghachi omume CVD, ya mere usoro mmeghachi omume kemịkal ya aghaghị imezu ọnọdụ atọ ndị a. (1) N'ime oke ọkụ ọkụ ...
N'ụwa taa na-agba ọsọ ọsọ, enyo aghọwo akụkụ dị mkpa nke ndụ anyị. Ngwa ndị a dị ka ọ dị mfe esitela na mkpa ọ dị ruo na nkwupụta ejiji. Otú ọ dị, ọtụtụ ndị amaghị usoro mgbagwoju anya nke na-abanye na ịmepụta oghere anya anya anya zuru oke. Nke a bụ w...