N'ihe gbasara teknụzụ ntinye ihe nkiri dị gịrịgịrị, cylindrical magnetron sputtering abụrụla ụzọ dị mma na nke na-agbanwe agbanwe. Nkà na ụzụ ọhụrụ a na-enye ndị nchọpụta na ndị ọkachamara ụlọ ọrụ ụzọ isi tinye ihe nkiri ndị dị mkpa na nkenke na ịdị n'otu. A na-eji sputter cylindrical magnetron eme ihe na ụlọ ọrụ dị iche iche ma na-agbanwe usoro ntinye ihe nkiri dị mkpa.
Sylindrical magnetron sputtering, makwaara dị ka cylindrical magnetron sputtering mkpuchi, bụ anụ ahụ vepo deposition technology na utilizes cylindrical magnetron cathodes. Ụkpụrụ ọrụ ya na-agụnye ịmepụta plasma nke ion na-eme ka ọ dịkwuo ngwa n'ebe ihe ezubere iche dị ma na-achụpụ atom ya. A na-etinyezi atọm ndị a n'elu mkpụrụ iji mepụta ihe nkiri dị mkpa.
Otu n'ime uru ndị dị na cylindrical magnetron sputtering bụ ikike iji nweta ọnụego nkwụnye ego dị elu ma na-edobe ịdị mma nke ihe nkiri. N'adịghị ka usoro mgbasa ozi ọdịnala, nke na-ebutekarị mbelata ogo ihe nkiri na ọnụego nkwụnye ego dị elu, sputtering cylindrical magnetron na-eme ka a hụ na a na-edobe iguzosi ike n'ezi ihe na ihe nkiri n'oge usoro ntinye.
Na mgbakwunye, imewe cylindrical nke magnetron cathode na-enye ohere maka plasma otu na nkesa magnetik, si otú ahụ na-eme ka otu ihe nkiri dịkwuo mma. Ịdị n'otu a dị oke mkpa maka ngwa ndị chọrọ ihe nkiri ihe nkiri na-agbanwe agbanwe n'ofe elu ala dum. Ụlọ ọrụ dịka ngwa anya, eletrọnịkị na ike anyanwụ eritela uru nke ukwuu site na ike dị elu nke cylindrical magnetron sputtering.
Ojiji nke cylindrical magnetron sputtering gafere ngwa ọdịnala. Ndị na-eme nchọpụta na ndị injinia na-enyocha mgbe niile ụzọ ọhụrụ ha ga-esi jiri teknụzụ a na-eme ihe n'ubi dị egwu dị ka nanotechnology na biomedicine. Ikike nke ịchịkwa oke nkwụnye ego, dị ka ihe mejupụtara gas, nrụgide na ike, na-enye ohere ịmepụta ihe nkiri ahaziri ahazi nke nwere njirimara ahaziri adabara maka ngwa ngwa.
Iwebata gas na-emeghachi omume na-agbasawanye ike nke cylindrical magnetron sputtering. Site na iwebata gas na-emegharị ihe dị ka nitrogen ma ọ bụ oxygen, enwere ike idobe ihe ndị mejupụtara ma ọ bụ mepụta ihe nkiri dị mkpa nwere ihe pụrụ iche. Nke a na-emepe ụzọ ọhụrụ iji chọpụta ihe ndị dị elu nwere arụmarụ ọrụ emelitere, dị ka nguzogide iyi ka mma, ike siri ike ma ọ bụ nguzogide corrosion ka elu.
Ọzọkwa, usoro cylindrical magnetron sputtering nwere ike ịbawanye ngwa ngwa, na-eme ka ọ dabara maka ngwa ụlọ ọrụ buru ibu. Nke a scalability, jikọtara ya na arụmọrụ ya na versatility, emewo ka ịba ụba nke teknụzụ a site na ụlọ ọrụ ndị na-achọ ka a na-edobe ihe nkiri dị mkpa n'oge usoro mmepụta ihe.
Dị ka ọ dị na teknụzụ ọ bụla dị elu, nyocha na mbọ mmepe na-aga n'ihu na-abawanye ike nke cylindrical magnetron sputtering. Ndị na-eme nchọpụta na-arụ ọrụ iji nụchaa usoro nhazi, na-ebuli ihe ndị e lekwasịrị anya na inyocha atụmatụ cathode ọzọ iji meziwanye nrụpụta teknụzụ na arụmọrụ zuru oke.
–E wepụtara akụkọ aonye na-emepụta igwe mkpuchi ikukuGuangdong Zhenhua
Oge nzipu: Ọktoba 26-2023