Kouch PVD se youn nan prensipal teknoloji pou prepare materyèl fim mens.
Kouch fim nan bay sifas pwodwi a yon teksti metal ak yon koulè rich, amelyore rezistans kont mete ak korozyon, epi pwolonje lavi sèvis li.
Sputtering ak evaporasyon vakyòm se de metòd kouch PVD ki pi komen yo.
1. Definisyon
Depozisyon fizik vapè se yon kalite metòd kwasans reyaksyon vapè fizik. Pwosesis depozisyon an fèt anba kondisyon vid oswa egzeyat gaz presyon ba, sa vle di, nan plasma tanperati ba.
Sous materyèl kouch la se materyèl solid. Apre "evaporasyon oswa pulverizasyon", yon nouvo kouch materyèl solid ki konplètman diferan de pèfòmans materyèl debaz la pwodui sou sifas pyès la.
2. Pwosesis debaz pou kouch PVD
1. Emisyon patikil ki soti nan matyè premyè (atravè evaporasyon, siblimasyon, pulverizasyon ak dekonpozisyon);
2. Patikil yo transpòte nan substra a (patikil yo fè kolizyon youn ak lòt, sa ki lakòz iyonizasyon, rekonbinasyon, reyaksyon, echanj enèji ak chanjman direksyon mouvman);
3. Patikil yo kondanse, yo fòme nikleyè, yo grandi epi yo fòme yon fim sou substra a.
Dat piblikasyon: 31 janvye 2023